走査型非線形誘電率顕微鏡
誘電体の非線形現象は非常に小さいので、それを検出する為に10F～10Fの極微小な静電容量変化を検出できる感度を持っており、最も高分解能な強誘電分極の計測法とされる。構造は帰還部に探針がセットされた自励発振型のLC共振器(約1.2GHz)と接地された高周波の帰還回路用の金属環で構成され、試料のある金属ステージ側から低周波の交番電界(約5～100kHz)を印加した時の試料の非線形誘電効果によるCsの変化で発振周波数を変調(FM波)する共振周波数の変化から非線形誘電率を計測する。外部からの交流電界(周波数ω)の印加と試料の非線形性により、探針の直下の静電容量は交流的に時間変化するのでFM波はFM復調器をへてロックインアンプへ送られ、印加電圧と同じ周波数成分を検出すればそれぞれのεがそれぞれ他の非線形応答から分離して測定できる。フラッシュメモリに蓄えられた電荷の分布計測にも成功しており、電子素子の評価・開発に貢献が期待されている。