トンネル音響顕微鏡
探針を試料に極めて近接させて圧電変位素子で走査する走査型プローブ顕微鏡の一種で探針と試料間の相互作用領域は極めて限定されていて間隙変化を高感度、高精度で検出する。試料には圧電素子が固着されていてZ軸駆動用の圧電素子によって振動(70kHz程度)する探針が近接すると相互作用によって生じた音波が試料表面へと伝播してその振動を試料に固着された圧電素子によって電気信号として検出する。検出された電気信号は探針振動周波数を透過するバンドパスフィルターを通じて整流され、この信号の強度と参照値との差信号がZ軸の制御に使用されることで探針と試料間の間隙を一定に維持した状態で走査して表面の凸凹を画像化する。