ジャン・ヘルニ
プレーナー プロセスは、1959年5月に最初の特許を出願したジャン・ヘルニによって発明された。プレーナープロセスは、 ロバート・ノイスによるシリコン集積回路の発明において重要であった。ノイスは ヘルニの研究に基づいて集積回路の概念を構築し、ヘルニの基本構造の上部に金属層を追加して、同じシリコン片上にあるトランジスタ、コンデンサ、抵抗器などのさまざまなコンポーネントを接続する方法を考案した。プレーナープロセスは、集積回路の製造方法をこれまでよりも大きく発展させた。