走査型マイクロ波顕微鏡
原子間力顕微鏡の手法ではカンチレバーの先端の探針からマイクロ波を局所領域に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得る。キャリア濃度が高いほどマイクロ波の反射率が大きくなるため、キャリア濃度分布に相関した像を得られ、得られる信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高い。キャリア濃度の高い領域では、空間分解能は10nm程度まで得られるものの、キャリア濃度の低い領域では、数百nmに低下する。