أ-1- معدات ومواد للحفر بالبلازما، وترسيب الأبخرة الكيميائية، والطباعة الكيميائية، والطباعة الكيميائية بالستائر والستائر، ومقاومات الضوء.
Geräte und Werkstoffe für Plasmaätzverfahren, chemische Bedampfungsverfahren (CVD-Verfahren), Lithographie, Maskenlithographie, Masken und Fotolacke.