أ-2- المعدات المصممة خصيصا لترسيخ الأيونات والانتشار المعزز بالأيونات أو بالضوء، التي تتمتع بأي من الخصائص التالية:
Gerät, das speziell für die Ionenimplantation bzw. für die mit Ionen oder Photonen verstärkte Diffusion entwickelt wurde und eine der folgenden Eigenschaften aufweist: