Yüzey iyonizasyonu veya temas iyonizasyonu olarak da bilinen termal iyonizasyon, atomların sıcak bir yüzeyden desorbe edildiği ve bu süreçte iyonize edildiği fiziksel bir işlemdir.

Termal iyonizasyon, kütle spektrometrisi ve iyon demetleri oluşturmak için basit iyon kaynakları yapmak amacı ile kullanılır. Termal iyonizasyon, birçok jeolojik/nükleer uygulamada kullanılmasının yanı sıra atom ağırlıklarının belirlenmesinde yaygın olarak kullanıldı.

Fizik 

İyonlaşma olasılığı, filaman sıcaklığının, filaman substratının iş fonksiyonunun ve elementin iyonlaşma enerjisinin bir fonksiyonudur.

Bu durum, Saha-Langmuir denkleminde özetlenmiştir:

 

 = iyon sayısı yoğunluğunun nötr sayısı yoğunluğuna oranı

 = iyonik (g_ +) ve nötr (g_0) durumların istatistiksel ağırlıklarının (dejenerasyon) oranı

 = elektron yükü

 = yüzeyin iş fonksiyonu

 = dezorbe edilmiş elementin iyonlaşma enerjisi

 = Boltzmann sabiti

 = yüzey sıcaklığı

Ayrıca bakınız 

 Langmuir-Taylor dedektörü
 Irving Langmuir
 Meghnad Saha

Kaynakça 

Atom fiziği
Elektrik