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深紫外LED可以广泛应用于杀毒、消菌、印刷和通信等领域。最近，中国科学院半导体研究所照明研发中心与北京大学纳米化学研究中心、北京石墨烯研究院刘忠范团队合作，开发出了石墨烯/蓝宝石新型外延衬底，并提出了等离子体预处理改性石墨烯，促进AlN薄膜生长实现深紫外LED的新策略。同时，魏同波与刘忠范团队合作提出了石墨烯/NPSS纳米图形衬底外延AlN的生长模型，使深紫外光源有望成为石墨烯产业化的一个突破口。
中科院半导体所等在石墨烯上外延深紫外LED研究中取得新进展