Pour une MST, une bonne résolution est considérée comme une résolution latérale de 0,1 nm et une résolution de profondeur de 0,01 nm.
Pour la STM, une bonne résolution latérale est de 0,1 nm -LRB- la précision avec laquelle il peut voir à la surface -RRB- et résolution de profondeur de 0.01 nm -LRB- avec quelle précision elle peut voir sous la surface -RRB-.