Hexachlordisilan
# Hexachlordisilan

Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

## Gewinnung und Darstellung

Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane $Si_nCl_{2n+2}$ mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.

    $\mathrm {CaSi_{2}+4\ Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}+CaCl_{2}}$

Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.

    $\mathrm {2\ SiCl_{2}+Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}}$
    $\mathrm {2\ Si+3\ Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}}$

## Eigenschaften

Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.

## Verwendung

Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden.

