Tetramethylammoniumhydroxid
# Tetramethylammoniumhydroxid

Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) ist eine quartäre Ammoniumverbindung mit der Konstitutionsformel $[N(CH_3)_4]OH,$ ionisch $[N(CH_3)_4]^+OH^−.$

## Eigenschaften

### Chemische Eigenschaften

TMAH ist eine starke Base. Beim Erhitzen von TMAH erfolgt Zersetzung in Trimethylamin und Methanol.

## Verwendung

* In der Halbleiterfertigung beim anisotropen Nassätzen von Silicium
* Als Lösungsmittel beim Entwickeln von sauren Fotolacken
* Zur Verhinderung des Zusammenballens der Nanopartikel in einem Ferrofluid
* Als Derivatisierungsreagenz (Bildung von Methyl-Derivaten) in der chemischen Analytik
* Als Templat bei der Herstellung von synthetischen Zeolithen

## Sicherheitshinweise

TMAH führt zu starker Reizung bis hin zu Verätzung der Augen, der Atemwege, der Lunge sowie der Haut.

Das Tetramethylammonium-Kation (TMA) kann Nerven und Muskeln schädigen, was innerhalb von kürzester Zeit zu Atemlähmungen und schließlich zum Tod führen kann.

