title: Masque à décalage de phase
text: # Masque à décalage de phase
  
  En lithographie, un masque à décalage de phase ou PSM (Phase Shift Mask en anglais) est un masque photographique qui module en phase la lumière incidente de façon à réaliser une interférence, ce qui lui permet d'offrir une meilleure résolution qu'un masque binaire. Il existe des masques à décalage de phase atténués (attenuated PSM), alternés (alternating PSM) et sans chrome (chromeless PSM).
  
  