सुपर रिज़ॉल्यूशन माइक्रोस्कोपी तकनीकों में X-Y विमान में ऑर्डर 20 नैनोमीटर का संकल्प है,, और z दिशा में 10 से 15 नैनोमीटर है।
ಸೂಪರ್ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ ತಂತ್ರವು ಎಕ್ಸ್-ವೈ ಸಮತಲದಲ್ಲಿ ಇಪ್ಪತ್ತು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ಗಳ ಪ್ರಮಾಣದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಮತ್ತು ಹತ್ತರಿಂದ ಹದಿನೈದು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ಗಳ ಪ್ರಮಾಣದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಝೆಡ್ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.