और यह एक छोटे द्रव्यमान के विस्थापन पर आधारित है जिसे आईसी की सिलिकॉन सतह में उकेरा जाता है, और छोटे बीम द्वारा निलंबित किया जाता है।
അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. ഇത് ഐസിയുടെ സിലിക്കൺ ഉപരിതലത്തിൽ പതിച്ച ചെറിയ പിണ്ഡത്തിന്റെ സ്ഥാനചലനത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്, ചെറിയ ബീമുകളാൽ സസ്പെൻഡ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു.