सुपर रिज़ॉल्यूशन माइक्रोस्कोपी तकनीकों में X-Y विमान में ऑर्डर 20 नैनोमीटर का संकल्प है,, और z दिशा में 10 से 15 नैनोमीटर है।
സൂപ്പർ റെസല്യൂഷൻ മൈക്രോസ് കോപ്പി ടെക്നിക്കുകൾക്ക് X-Y തലത്തിൽ 20 നാനോമീറ്റർ ഓർഡർ റെസല്യൂഷനുമുണ്ട്, കൂടാതെ Z ദിശയിൽ 10 മുതൽ 15 നാനോമീറ്റർ വരെയും.