અને આ નાના માસના ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પર આધારિત છે જે આઇસીની સિલિકોન સપાટી પર બંધાયેલ છે, અને નાના બીમ દ્વારા સસ્પેન્ડ કરવામાં આવે છે.
और यह एक छोटे द्रव्यमान के विस्थापन पर आधारित है जिसे आईसी की सिलिकॉन सतह में उकेरा जाता है, और छोटे बीम द्वारा निलंबित किया जाता है।