ಸೂಪರ್ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ ತಂತ್ರವು ಎಕ್ಸ್-ವೈ ಸಮತಲದಲ್ಲಿ ಇಪ್ಪತ್ತು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ಗಳ ಪ್ರಮಾಣದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಮತ್ತು ಹತ್ತರಿಂದ ಹದಿನೈದು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ಗಳ ಪ್ರಮಾಣದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಝೆಡ್ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.
സൂപ്പർ റെസല്യൂഷൻ മൈക്രോസ് കോപ്പി ടെക്നിക്കുകൾക്ക് X-Y തലത്തിൽ 20 നാനോമീറ്റർ ഓർഡർ റെസല്യൂഷനുമുണ്ട്, കൂടാതെ Z ദിശയിൽ 10 മുതൽ 15 നാനോമീറ്റർ വരെയും.