અને આ નાના માસના ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પર આધારિત છે જે આઇસીની સિલિકોન સપાટી પર બંધાયેલ છે, અને નાના બીમ દ્વારા સસ્પેન્ડ કરવામાં આવે છે.
അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. ഇത് ഐസിയുടെ സിലിക്കൺ ഉപരിതലത്തിൽ പതിച്ച ചെറിയ പിണ്ഡത്തിന്റെ സ്ഥാനചലനത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്, ചെറിയ ബീമുകളാൽ സസ്പെൻഡ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു.