এবং এটি নির্ভর করে একটি ছোট ভরের অবস্থানগত পরিবর্তনের উপর, যেটি সিলিকন উপরিস্তরের উপর খোদাই করা আছে, এবং ছোট কড়িকাঠ দ্বারা ঝোলানো আছে |
અને આ નાના માસના ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પર આધારિત છે જે આઇસીની સિલિકોન સપાટી પર બંધાયેલ છે, અને નાના બીમ દ્વારા સસ્પેન્ડ કરવામાં આવે છે.