અને આ નાના માસના ડિસ્પ્લેસમેન્ટ પર આધારિત છે જે આઇસીની સિલિકોન સપાટી પર બંધાયેલ છે, અને નાના બીમ દ્વારા સસ્પેન્ડ કરવામાં આવે છે.
आणि हे आयसी च्या सिलिकॉन सरफेस वर चिकटलेल्या आणि स्मॉल बीमद्वारे सस्पेंडेड केलेल्या स्मॉल मास डिस्प्लेसमेंट वर आधारित आहे.