और यह एक छोटे द्रव्यमान के विस्थापन पर आधारित है जिसे आईसी की सिलिकॉन सतह में उकेरा जाता है, और छोटे बीम द्वारा निलंबित किया जाता है।
ಹಾಗು ಇದು ಒಂದು ಕಡಿಮೆ ರಾಶಿಯ ಐಸಿಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈ ನ ಮೇಲೆ ಎಚ್ ಮಾಡಿರುವ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಥಾನಪಲ್ಲಟದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಆಗಿದೆ, ಹಾಗು ಇದನ್ನು ಸಣ್ಣ ಭೀಮ್ ಗಳ ಮೂಲಕ ಸಸ್ಪೆಂಡ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ.