അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. ഇത് ഐസിയുടെ സിലിക്കൺ ഉപരിതലത്തിൽ പതിച്ച ചെറിയ പിണ്ഡത്തിന്റെ സ്ഥാനചലനത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്, ചെറിയ ബീമുകളാൽ സസ്പെൻഡ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു.
మరియు ఇది ఐసి యొక్క సిలికాన్ సర్ఫస్ లోకి చెక్కబడిన ఒక చిన్న ద్రవ్యరాశి యొక్క స్థానభ్రంశం మీద ఆధారపడి ఉంటుంది మరియు చిన్న బీమ్స్ చే సస్పెండ్ చేయబడుతుంది.