वर आधारित आहेत. आणि हे आयसी च्या सिलिकॉन सरफेस वर चिकटलेल्या आणि स्मॉल बीमद्वारे सस्पेंडेड केलेल्या स्मॉल मास डिस्प्लेसमेंट वर आधारित आहे.
അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. ഇത് ഐസിയുടെ സിലിക്കൺ ഉപരിതലത്തിൽ പതിച്ച ചെറിയ പിണ്ഡത്തിന്റെ സ്ഥാനചലനത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്, ചെറിയ ബീമുകളാൽ സസ്പെൻഡ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു.