और यह एक छोटे द्रव्यमान के विस्थापन पर आधारित है जिसे आईसी की सिलिकॉन सतह में उकेरा जाता है, और छोटे बीम द्वारा निलंबित किया जाता है।
आणि हे आयसी च्या सिलिकॉन सरफेस वर चिकटलेल्या आणि स्मॉल बीमद्वारे सस्पेंडेड केलेल्या स्मॉल मास डिस्प्लेसमेंट वर आधारित आहे.