-এর ওপর ভিত্তি করে| এবং এটি নির্ভর করে একটি ছোট ভরের অবস্থানগত পরিবর্তনের উপর, যেটি সিলিকন উপরিস্তরের উপর খোদাই করা আছে, এবং ছোট কড়িকাঠ দ্বারা ঝোলানো আছে |
അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. ഇത് ഐസിയുടെ സിലിക്കൺ ഉപരിതലത്തിൽ പതിച്ച ചെറിയ പിണ്ഡത്തിന്റെ സ്ഥാനചലനത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്, ചെറിയ ബീമുകളാൽ സസ്പെൻഡ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു.