तो, इस तकनीक में एक फोटो मास्क से एक प्रकाश संवेदनशील रसायन के लिए, एक ज्यामितीय पैटर्न को स्थानांतरित करने के लिए प्रकाश का उपयोग किया जाता है, इस रसायन को फोटोरिस्ट कहा जाता है।
ಈ ತಂತ್ರದಲ್ಲಿ ಬೆಳಕಿನ ಮಾಸ್ಕ್ ದಿಂದ ಜಿಯೋಮೆಟ್ರಿಕ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಬೆಳಕಿನ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಾಸಾಯನಿಕಕ್ಕೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಈ ರಾಸಾಯನಿಕವನ್ನು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.