Рассмотрены три метода расчета весовых коэффициентов: основанный на опыте технологов и конструкторов СБИС, предложенный авторами и двухуровневый метод, в котором коэффициенты отличаются только для одно- и двумерных тестовых структур. Проведено сравнение результатов калибровки и верификации литографических моделей слоя поликремния по экспериментальным данным для трех рассмотренных методов расчета весовых коэффициентов.
моделирование процесса литографии, модель vt-5, калибровка, весовые коэффициенты