Описываются программы, обеспечивающие хранение и анализ данных в системе автоматизации измерений СВЧ монолитных интегральных схем (МИС) INDESYS-MS. Спроектированная база данных служит для систематизации процесса хранения результатов измерений. Программа MS Database реализует взаимодействие системы INDESYS-MS с базой данных. Программа Statistics позволяет на основе сохранённых результатов измерений проводить статистический анализ с использованием таких инструментов, как гистограмма, контрольная карта Шухарта и визуализация пространственного распределения контролируемых параметров МИС по подложке.
монолитные интегральные схемы, измерения, программное обеспечение, база данных, статистический анализ