DC plazma jeneratörleri
TRUMPF Hüttinger doğru akım palslı plazma jeneratörleri, sayısız reaktif işlemde kullanım için idealdir. Palslı doğru akım, basit doğru akımlı jeneratörlerden farklı olarak, yarı iletken olan ve iletken olmayan malzemeler (örn. oksit) üzerinde de işleme yapma olanağı sunar. Pals jeneratörlerinin en sık kullanıldığı uygulama alanları, sert malzeme kaplama ve yarı iletken üretimindeki dağlama ve kaplama işlemleridir.
TruPlasma DC 4000 Serisi (G2)
TruPlasma DC 4000 Serisi (G2), TRUMPF Hüttinger makinalardaki mükemmel ark kullanımını doğru akım pals teknolojisinin avantajları ile bir araya getirir. Bu sayede daha az bozulma ve daha yüksek birikme oranı ile çok daha iyi kaplama sonuçlarına ulaşırsınız. Sonuç olarak mükemmel yüzeyler ve yüksek bir üretim performansı elde edersiniz.
TruPlasma DC 4000 Serisi
TruPlasma DC 4000 Serisi jeneratörler, zorlu plazma işlemleri için ilk tercihtir. Geniş yük uyarlama aralığı sayesinde eksiksiz bir performans sergiler. Bu özelliğiyle, ileri teknolojili püskürtme uygulamaları ve ayrıca standart veya palslı doğru akım plazma uygulamaları için uygundur. Palslı olmayan jeneratörlerde olduğu gibi bu jeneratörlerde de üstün bir ark yönetimi mevcuttur.
TruPlasma Highpulse 4000 Serisi
TruPlasma Highpulse 4000 Serisi jeneratörler, HIPIMS uygulamaları için ilk tercihtir ve özellikle korozyona ve aşınmaya karşı dayanıklı sert malzeme kaplamalarının elde edilmesini sağlar. TruPlasma Highpulse 4000 Serisi jeneratörler, polarize substratlarla kombine olarak yarı iletken uygulamalarında da kullanılabilir, örn. Yüzeylerde dağlama, ön işlem uygulama ve çukur doldurma (Trench-Filling).
TruPlasma Bias 4000 Serisi
TruPlasma Bias 4000 Serisi, en modern palslı ve doğru akım ön gerilimli jeneratörlerin yer aldığı bir ürün grubudur. 100 kHz seviyesine kadar çıkabilen pals frekansları ve sürekli ön gerilim çıkışı elde edilebilir.
Serideki tüm cihazlarda iki çalışma modu mevcuttur: Substrat dağlama prosesleri için 1200 Volt yüksek gerilim modu ve örn. yarı iletken teknolojisi veya sert malzeme kaplama çalışmalarında kullanılan öngerilim destekli kaplama prosesleri için 300 Volt düşük gerilim modu.