Horace Benedict de Saussure, ilk saç gerilim higrometresini 1783’te tasarladı, ancak Leonardo da Vinci, 1400’lerin sonlarında higrometrenin bir versiyonunu icat etti. Francesco Folli ilk pratik higrometreyi 1664’te tasarladı ve John Frederic Daniell ilk çiy noktası higrometresini 1820’de yaptı.
Guillaume Amontons, 1687’de üç sıvı barometreye benzeyen bir tür higrometre icat etti.
James Hutton, 1700’lerin sonunda ilk psikrometreyi geliştirdi.
Johann Heinrich Lambert ilk olarak 1774 yılında “higrometre” adını icat etti.
Evrensel mafsal, denge yayı ve prototip bir solunum cihazının üretken mucidi Robert Hooke, higrometreler ve barometrelerde iyileştirmeler yaptı.
Yukarıdaki görüntü, “Kimya Üzerine Bir Metin Kitabı” ndan bir higrometreyi göstermektedir. 1861’de John William Draper tarafından yayınlandı. John Frederic Daniell (1790-1845) tarafından hazırlanan bu higrometre, çiğ noktasını belirlemek için tasarlanmıştı. Bu higrometrenin görüntüsü ve açıklaması 52. sayfada bulunabilir.