الطريقة الكيميائية أكثر انتشارًا  باستخدام عملية الأكلوروسيلن  وهي عملية ناضجة  والتكنولوجيا شبه الموصلة تستخدمها. 
the chemical method is more widespread by using the chlorosilan process which is a mature process and the semiconductor technology uses it.  