The corrosion products and cross-sectional morphology of coatings grown on silicon were studied using a FEI-KUANTA 200 scanning electron microscope SEM operating at 30 kV. Chemical studies before and after chemical attack were performed using the same equipment operating at 20 kV in EDS mode.
La morfología de los productos de corrosión y la sección transversal de los recubrimientos cerámicos sobre sustratos de silicio se observó a través de SEM, con un equipo FEI Quanta 200 en alto vacío y a un voltaje de 30 kV, mientras que el estudio químico se realizó antes y después del ataque químico con el mismo equipo en modo EDS con un voltaje de 20 kV.