Target-sample distance was set at 5 cm and deposition time was adjusted to obtain ~1 μm thickness for multilayers with 20 nm bilayer period.
Todos los recubrimientos se depositaron con una distancia blanco  sustrato de 5 cm. El tiempo de depósito fue ajustado para que el espesor fuera de ~ 1μm en producir multicapas con un periodo de 20 nm.