中반도체 숨통 죄는 美…네덜란드에 ASML 구형장비도 제한 압박
최첨단 이어 구형 장비까지 수출 제한 요구 네덜란드 ASML의 심자외선 DUV 장비인 트윈스캔 NXT 2050i 사진 ASML 홈페이지 미국 정부가 네덜란드에 세계적 반도체 제조장비 업체 ASML의 장비에 대한 중국 판매 추가 제한을 요구했다고 외신이 전했다. 미국 경제전문 매체 블룸버그는 5일 현지시간 소식통을 인용해 돈 그레이브스 미국 상무부 부장관이 올해 5월 말부터 지난달 초까지 네덜란드를 방문했을 당시 ASML이 만드는 구형 심자외선 DUV·deep ultraviolet 노광장비의 중국 판매 금지를 요청했다고 보도했다. 앞서 네덜란드 정부는 미국의 압박으로 ASML이 세계에서 유일하게 생산하는 최첨단 극자외선 EUV·Extreme ultraviolet 노광장비의 중국 수출 승인을 내주지 않고 있는데 이런 조치를 구형 노광장비까지 확대해달라고 주문한 것이다. 그레이브스 부장관은 당시 네덜란드 에인트호번에 있는 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크 최고경영자 CEO 와도 만났다고 블룸버그는 덧붙였다. 미국은 일본에게도 니콘 DUV 노광장비의 중국 판매 금지를 요구한 것으로 전해졌다. 이 장비는 파운드리 반도체 위탁생산 의 5나노미터 ㎚·1나노는 10억분의 1m 이하 공정 등 반도체 공정에서 주로 사용된다. EUV 같은 최첨단 기술은 아니지만 자동차나 스마트폰 PC 로봇 등에 들어가는 반도체를 만드는 데 사용된다. 특히 메모리반도체에서는 90% 이상이 DUV 공정을 채택하고 있어 수출이 제한될 경우 중국이 입을 피해는 막심할 것으로 전망된다. 최근 수년간 중국이 첨단 공정 경쟁 대신 구식 공정 개발로 눈길을 돌리면서 중국 업체들은 DUV 장비를 적극 매입 그 여파로 국내 반도체 업체들까지 DUV 장비 공급난을 겪는 상황이다. 네덜란드 정부는 ASML의 대중 수출 추가 제한이 중국과의 무역 관계에 타격을 줄 수 있다고 보고 아직까지 미국의 제안에 동의하진 않은 것으로 전해졌다. 중국은 독일 벨기에에 이어 네덜란드의 세 번째 규모 무역 파트너국이다. 앞서 네덜란드 정부는 이미 ASML의 EUV 장비 중국 수출 허가를 내어주지 않고 있다. 블룸버그는 미국의 이러한 움직임은 중국의 반도체 굴기 시도를 저지하는 차원에서 중국에 첨단 시스템 판매 중단을 확대하기 위한 것 이라면서 만약 네덜란드 정부가 동의한다면 SMIC부터 화훙반도체까지 중국 반도체 업체들에 심각한 타격이 될 것 이라고 분석했다. 민간 싱크탱크 대만경제연구원 TIER 존슨 왕 애널리스트는 리소그라피 장비는 중국 입장에서 가장 대체하기 어려운 장비 라면서 해외의 DUV 리소그라피 장비 없이는 중국 반도체 산업 전진이 중단될 수 있다 고 평가했다. ASML 측은 이러한 논의는 새로운 것이 아니며 그 어떤 결정도 나지 않았다 면서 루머에 특별히 대응하지 않을 것 이라는 입장을 내놨다. 다만 베닝크 CEO는 올 초 중국에 대한 DUV 장비 판매 금지에 반대한다는 입장을 내놓은 바 있다.
미 그레이브스 미국 상무부 부장관이 올해 5월 말부터 지난달 초까지 네덜란드에 방문해 세계적 반도체 제조장비 업체 ASML이 세계에서 유일하게 생산하는 구형 심자외선 DUV·deep ultraviolet 노광장비의 중국 수출 승인을 내주지 않고 있는데 이런 조치를 구형 노광장비까지 확대해달라고 주문하며 ASML의 장비에 대한 중국 판매 추가 제한을 요구했다고 외신이 전했다.