블룸버그 美 ASML 장비 中 판매 차단 추진
미국 EUV 이어 DUV 공급 차단 시도…중국 반도체 생산 타격 불가피 디지털데일리 정혜원 기자 미국이 중국 반도체 산업 규제 강도를 높이려 애쓰고 있다. 6일 현지시간 블룸버그는 미국 정부가 네덜란드 정부에 반도체 장비를 중국에 판매하지 못하도록 압박하고 있다고 보도했다. 네덜란드 기업인 ASML은 반도체 노광장비 시장을 거의 독점하고 있다. 블룸버그에 따르면 미국 정부가 ASML의 심자외선 DUV 노광장비를 중국에 판매하지 못하도록 네덜란드 정부에 로비를 진행하고 있다. DUV는 최첨단 장비인 극자외선 EUV 노광장비와 비교하면 뒤처진 기술에 해당하지만 여전히 가전과 자동차 로봇 등에 탑재되는 반도체 칩 제조에 광범위하게 쓰인다. 아직 네덜란드 정부는 미국 정부의 요구에 응하지 않고 있다. 네덜란드는 이미 유럽연합 EU 방침에 따라 EUV 중국 수출을 막고 있다. ASML이 중국으로 수출하지 못한 EUV 규모는 1억6400만달러 약 2000억원 수준이다. 하지만 네덜란드가 DUV 장비 수출까지 막는 추가 규제를 적용하면 중국과 무역 관계가 악화될 수 있다. 중국은 네덜란드의 3위 교역상대국이다. 블룸버그는 미국 정부가 DUV 중국 수출을 막으면 중국의 반도체 생산은 상당한 타격을 받게 된다고 지적했다. 미국이 판매를 중단시키려는 장비는 DUV 기술 중 가장 발전한 형태인 액침 노광장비로 알려졌다. 미국 정부가 해당 분야에서 ASML의 경쟁사인 일본 기업 니콘에도 중국에 판매를 중단할 것을 압박하고 있다고 블룸버그는 덧붙였다. 미국 상무부와 네덜란드 외무부는 블룸버그에 논평을 거부했다. ASML은 새로운 이야기가 아니다 라며 어떤 결정도 내려지지 않았고 우리는 루머에 대해 추측하거나 논평하고 싶지 않다 고 전했다.
미 정부가 네덜란드 정부에 ASML의 심자외선 DUV 노광장비를 중국에 판매하지 못하도록 압박하고 있으나 네덜란드가 EUV 장비 수출까지 막는 추가 규제를 적용하면 중국과 무역 관계가 악화되어 상당한 타격을 받게 된다고 지적했다.