あるレーザ変位計を基板の測定に使用すると値が安定しません。その原因を教えてください。
一般に、レーザ変位計で基板を測定する場合、レーザー光が基板の内部まで沈み込むことで乱反射が発生します。それにより、測定値が安定しないことがあります。キーエンスのマルチカラーレーザ同軸変位計 cl-3000シリーズであれば、複数の波長のレーザー光を投光し、対象物の表面でピントがあった光の波長帯域のみを算出して測定することができます。それにより、基板のような光が沈み込みやすいワークにおいても安定した測定値を高い精度で取得することができます。