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バッファード オキサイド エッチ液
バッファード・オキサイド・エッチ液（Buffered oxide etch，BOE）は、バッファードフッ酸またはBHF（Buffered Hydrogen Fluoride）とも呼ばれ、半導体微細加工に用いられる湿式エッチング液である。
主に二酸化ケイ素（SiO2)や窒化ケイ素（Si3N4）の薄膜をエッチングする際に使用される。