{{Vedi|méms|mems}}
== {{-it-}} ==
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{{Pn|w}}
# {{Term|fisica|it}} {{Term|elettronica|it}} {{Term|tecnologia|it}} {{Term|ingegneria|it}} '''M'''icro'''E'''lectro'''M'''echanical '''S'''ystem: [[dispositivo]] di [[controllo]] [[altamente]] [[miniaturizzato]] che integra in un [[solo]] [[frammento]] di [[silicio]] le [[proprietà]] [[elettriche]] dei [[semiconduttori]] con quelle [[optomeccaniche]] di [[altri]] [[materiali]]

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:*{{en}}: MEMS
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*[http://www.treccani.it/enciclopedia/mems_(Lessico-del-XXI-Secolo)/]

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