531120 5 rec. 531130 5 firms 4877 486 3566 551 139 4742 531130 5 estab. 7268 486 3580 598 231 4895 531130 5 empl. 20184 0 7289 3335 1654 12278 531130 5 ann. pay. 386837 10019 102961 51491 37215 201686 531130 5 rec. 531190 5 firms 10913 1282 7544 1390 399 10615 531190 5 estab. 11629 1285 7562 1470 502 10819 531190 5 empl. 39106 0 14602 8574 4702 27878 531190 5 ann. pay. 793057 33775 248102 160180 100135 542192 531190 5 rec. 531210 5 firms 57708 10521 37591 5620 2214 55946 531210 5 estab. 63519 10557 37701 5932 2924 57114 531210 5 empl. 241101 0 67242 35528 28186 130956 531210 5 ann. pay. 8691590 371460 1741684 961174 866468 3940786 531210 5 rec. 531311 5 firms 18787 2382 9272 2816 1802 16272 531311 5 estab. 23739 2399 9279 2850 1873 16401 531311 5 empl. 260927 0 18042 18276 23848 60166 531311 5 ann. pay. 6577394 133587 417081 443802 583314 1577784 531311 5 rec. 531312 5 firms 8651 936 4290 1371 868 7465 531312 5 estab. 10036 937 4300 1388 926 7551 531312 5 empl. 116312 0 8518 8931 11503 28952 531312 5 ann. pay. 4297602 44465 280631 316022 443563 1084681 531312 5 rec. 531320 5 firms 11839 1780 8055 1337 452 11624 531320 5 estab. 12048 1781 8064 1366 495 11706 531320 5 empl. 38622 0 15175 8483 5724 29382 531320 5 ann. pay. 1347762 43357 419455 299973 223989 986774 531320 5 rec. 531390 5 firms 9458 2601 4901 965 493 8960 531390 5 estab. 10120 2609 4911 981 550 9051 531390 5 empl. 50326 0 8985 6091 6382 21458 531390 5 ann. pay. 2473182 122719 343059 238055 311100 1014933 531390 5 rec. 532111 5 firms 2224 244 1011 367 252 1874 532111 5 estab. 4213 245 1015 381 314 1955 532111 5 empl. 111980 0 2227 2420 3247 7894 532111 5 ann. pay. 2519651 7657 41841 45134 64252 158884 532111 5 rec. 532112 5 firms 789 103 381 98 73 655 532112 5 estab. 854 103 381 98 78 660 532112 5 empl. 8028 0 766 627 892 2285 532112 5 ann. pay. 327992 3165 21734 22585 31912 79396 532112 5 rec. 532120 5 firms 2131 259 1103 277 175 1814 532120 5 estab. 5768 259 1105 278 191 1833 532120 5 empl. 51133 0 2230 1771 2240 6241 532120 5 ann. pay. 1602214 18450 60245 49734 63972 192401 532120 5 rec. 532210 5 firms 1168 168 441 236 132 977 532210 5 estab. 2918 168 443 243 168 1022 532210 5 empl. 18296 0 974 1534 1652 4160 532210 5 ann. pay. 466126 6440 23057 39015 42231 110743 532210 5 rec. 532220 5 firms 1537 220 761 268 135 1384 532220 5 estab. 2746 220 762 283 191 1456 532220 5 empl. 14589 0 1615 1739 1695 5049 532220 5 ann. pay. 226045 3361 21243 22250 24895 71749 532220 5 rec. 532230 5 firms 12340 1156 6116 2921 1346 11539 532230 5 estab. 21700 1164 6140 3016 1667 11987 532230 5 empl. 157859 0 13974 18948 17228 50150 532230 5 ann. pay. 1438267 25042 116694 138015 142560 422311 532230 5 rec. 532291 5 firms 783 90 280 163 100 633 532291 5 estab. 1688 90 280 169 105 644 532291 5 empl. 14492 0 671 1047 1339 3057 532291 5 ann. pay. 427650 4860 17481 26897 36353 85591 532291 5 rec. 532292 5 firms 1622 558 621 214 125 1518 532292 5 estab. 1730 561 623 217 142 1543 532292 5 empl. 8693 0 1248 1432 1676 4356 532292 5 ann. pay. 132309 11471 29946 20487 23824 85728 532292 5 rec. 532299 5 firms 2277 333 812 426 351 1922 532299 5 estab. 3166 333 814 435 403 1985 532299 5 empl. 27628 0 1762 2825 4619 9206 532299 5 ann. pay. 688793 10186 38372 60504 107410 216472 532299 5 rec. 532310 5 firms 3870 352 1577 966 574 3469 532310 5 estab. 6246 352 1584 984 650 3570 532310 5 empl. 40034 0 3675 6304 7155 17134 532310 5 ann. pay. 1039769 10857 86513 142505 174866 414741 532310 5 rec. 532411 5 firms 769 122 349 113 73 657 532411 5 estab. 831 122 350 118 77 667 532411 5 empl. 6958 0 701 747 897 2345 532411 5 ann. pay. 342817 10939 23379 28051 29120 91489 532411 5 rec. 532412 5 firms 2629 358 991 479 364 2192 532412 5 estab. 3985 358 992 485 397 2232 532412 5 empl. 44694 0 2133 3185 4727 10045 532412 5 ann. pay. 1627381 18054 68066 102988 154109 343217 532412 5 rec. 532420 5 firms 1052 156 470 161 104 891 532420 5 estab. 1415 158 471 170 114 913 532420 5 empl. 14178 0 920 1044 1349 3313 532420 5 ann. pay. 867861 7127 37641 51865 55273 151906 532420 5 rec. 532490 5 firms 4281 621 1737 617 527 3502 532490 5 estab. 5849 624 1742 630 584 3580 532490 5 empl. 74043 0 3592 4008 6989 14589 532490 5 ann. pay. 2640977 27971 112451 117497 250679 508598 532490 5 rec. 533110 5 firms 1991 300 899 248 168 1615 533110 5 estab. 2124 300 900 259 179 1638 533110 5 empl. 22591 0 1726 1630 2089 5445 533110 5 ann. pay. 1147607 23316 77722 68517 96194 265749 533110 5 rec. 541110 5 firms 163485 14770 108033 22910 10443 156156 541110 5 estab. 169399 14778 108122 23185 11145 157230 541110 5 empl. 988948 0 206153 147767 138402 492322 541110 5 ann. pay. 51535054 860675 6726194 5727195 6623780 19937844 541110 5 rec. 541191 5 firms 5273 480 2464 1156 634 4734 541191 5 estab. 6626 480 2469 1172 753 4874 541191 5 empl. 50623 0 5512 7604 8167 21283 541191 5 ann. pay. 1756966 17262 143722 228959 263423 653366 541191 5 rec. 541199 5 firms 1737 320 995 219 106 1640 541199 5 estab. 1813 320 996 223 115 1654 541199 5 empl. 9802 0 1861 1441 1386 4688 541199 5 ann. pay. 308959 9885 43991 39014 43705 136595 541199 5 rec. 541211 5 firms 51841 5434 30202 9806 4187 49629 541211 5 estab. 54291 5440 30218 9890 4509 50057 541211 5 empl. 394071 0 62787 63238 54839 180864 541211 5 ann. pay. 16785071 178470 1626492 1964697 2111976 5881635 541211 5 rec. 541213 5 firms 11292 947 7040 1769 942 10698 541213 5 estab. 12830 947 7046 1779 999 10771 541213 5 empl. 152212 0 13814 11393 12433 37640 541213 5 ann. pay. 864650 9686 136561 93708 80817 320772 541213 5 rec. 541214 5 firms 2315 309 744 289 237 1579 541214 5 estab. 3114 309 744 289 238 1580 541214 5 empl. 381982 0 1511 1896 3174 6581 541214 5 ann. pay. 8962666 91992 56152 58864 111675 318683 541214 5 rec. 541219 5 firms 28412 3842 18973 3477 1199 27491 541219 5 estab. 28848 3846 18978 3483 1222 27529 541219 5 empl. 132382 0 35867 22061 15421 73349 541219 5 ann. pay. 3648129 77343 611907 470302 387422 1546974 541219 5 rec. 541310 5 firms 20569 2467 10577 4042 2014 19100 541310 5 estab. 21188 2468 10584 4063 2097 19212 541310 5 empl. 157670 0 22368 26421 26496 75285 541310 5 ann. pay. 7550260 93006 751521 1039662 1188463 3072652 541310 5 rec. 541320 5 firms 7584 1865 3500 1208 631 7204 541320 5 estab. 7626 1865 3502 1212 636 7215 541320 5 empl. 39510 0 7101 7844 8358 23303 541320 5 ann. pay. 1115885 51761 193559 196225 236376 677921 541320 5 rec. 541330 5 firms 46182 6336 21519 7324 5256 40435 541330 5 estab. 53424 6339 21540 7367 5386 40632 541330 5 empl. 795629 0 42046 48665 70676 161387 541330 5 ann. pay. 40097774 320759 1705945 2061606 3243616 7331926 541330 5 rec. 541340 5 firms 2119 400 1251 245 136 2032 541340 5 estab. 2133 400 1251 245 138 2034 541340 5 empl. 9410 0 2332 1564 1722 5618 541340 5 ann. pay. 352730 10589 58903 47546 61518 178556 541340 5 rec. 541350 5 firms 3077 588 1973 287 135 2983 541350 5 estab. 3133 589 1973 290 138 2990 541350 5 empl. 12223 0 3469 1866 1744 7079 541350 5 ann. pay. 337544 16585 87358 52043 51435 207421 541350 5 rec. 541360 5 firms 624 108 313 93 49 563 541360 5 estab. 668 108 313 96 51 568 541360 5 empl. 11798 0 583 616 646 1845 541360 5 ann. pay. 486638 4791 17737 23262 33077 78867 541360 5 rec. 541370 5 firms 8764 757 4704 1880 955 8296 541370 5 estab. 8957 757 4705 1892 983 8337 541370 5 empl. 55231 0 10386 12288 12391 35065 541370 5 ann. pay. 1649852 21354 224717 317540 369758 933369 541370 5 rec. 541380 5 firms 4224 391 1488 790 578 3247 541380 5 estab. 5615 391 1491 798 603 3283 541380 5 empl. 89998 0 3397 5242 7696 16335 541380 5 ann. pay. 3234837 18971 102637 164753 252670 539031 541380 5 rec. 541410 5 firms 10132 1844 6241 1260 514 9859 541410 5 estab. 10195 1845 6242 1268 525 9880 541410 5 empl. 36714 0 12083 8073 6664 26820 541410 5 ann. pay. 1263331 58656 318356 227473 244198 848683 541410 5 rec. 541420 5 firms 1453 288 729 184 113 1314 541420 5 estab. 1489 288 731 185 115 1319 541420 5 empl. 14366 0 1373 1227 1475 4075 541420 5 ann. pay. 676874 17348 52522 51492 60185 181547 541420 5 rec. 541430 5 firms 14952 2378 8914 2140 977 14409 541430 5 estab. 15063 2378 8919 2147 994 14438 541430 5 empl. 68785 0 17308 13779 12781 43868 541430 5 ann. pay. 2792839 76133 549114 512093 544088 1681428 541430 5 rec. 541490 5 firms 1069 287 562 121 58 1028 541490 5 estab. 1070 287 562 121 58 1028 541490 5 empl. 4815 0 1015 787 791 2593 541490 5 ann. pay. 164640 10967 35257 22297 29580 98101 541490 5 rec. 541511 5 firms 32911 7368 17028 3417 2115 29928 541511 5 estab. 35787 7371 17044 3456 2186 30057 541511 5 empl. 395099 0 29622 22268 28422 80312 541511 5 ann. pay. 25223546 569030 1565563 1213849 1686588 5035030 541511 5 rec. 541512 5 firms 31682 6903 16790 3447 2033 29173 541512 5 estab. 34270 6904 16800 3468 2091 29263 541512 5 empl. 354951 0 29459 22588 27166 79213 541512 5 ann. pay. 22465181 414909 1536178 1088137 1471043 4510267 541512 5 rec. 541513 5 firms 814 131 285 100 75 591 541513 5 estab. 1470 131 285 102 76 594 541513 5 empl. 63989 0 548 645 1008 2201 541513 5 ann. pay. 3653479 8494 28359 26135 65855 128843 541513 5 rec. 541519 5 firms 13729 5085 6776 1019 431 13311 541519 5 estab. 14008 5088 6776 1021 436 13321 541519 5 empl. 59416 0 11486 6432 5644 23562 541519 5 ann. pay. 3413420 253150 550492 277241 304267 1385150 541519 5 rec. 541611 5 firms 28141 6618 15779 2541 1332 26270 541611 5 estab. 29386 6630 15794 2567 1394 26385 541611 5 empl. 248082 0 27680 16276 17740 61696 541611 5 ann. pay. 15917455 438976 1429277 912901 996143 3777297 541611 5 rec. 541612 5 firms 14770 2929 7830 2009 1029 13797 541612 5 estab. 15834 2929 7843 2025 1079 13876 541612 5 empl. 121930 0 15050 13097 13635 41782 541612 5 ann. pay. 6543329 164738 822750 726651 826669 2540808 541612 5 rec. 541613 5 firms 13311 3211 7780 1176 565 12732 541613 5 estab. 13527 3211 7789 1187 588 12775 541613 5 empl. 73199 0 13549 7587 7377 28513 541613 5 ann. pay. 3833163 158200 672343 372540 399708 1602791 541613 5 rec. 541614 5 firms 3167 681 1657 316 195 2849 541614 5 estab. 3485 681 1661 320 206 2868 541614 5 empl. 29909 0 2966 2051 2626 7643 541614 5 ann. pay. 1512158 35050 134780 108455 119569 397854 541614 5 rec. 541618 5 firms 3337 986 1716 317 167 3186 541618 5 estab. 3459 986 1716 322 178 3202 541618 5 empl. 14470 0 2982 2027 2202 7211 541618 5 ann. pay. 630532 41330 118210 77007 96482 333029 541618 5 rec. 541620 5 firms 6285 890 3257 1014 631 5792 541620 5 estab. 6913 891 3261 1023 658 5833 541620 5 empl. 48627 0 6482 6576 8320 21378 541620 5 ann. pay. 2040495 31189 222987 242239 318773 815188 541620 5 rec. 541690 5 firms 14745 3840 8536 1240 561 14177 541690 5 estab. 15127 3840 8541 1261 592 14234 541690 5 empl. 65274 0 14638 7895 7424 29957 541690 5 ann. pay. 3364375 162168 619274 353072 354366 1488880 541690 5 rec. 541710 5 firms 8049 1179 3142 1239 892 6452 541710 5 estab. 9652 1182 3142 1248 917 6489 541710 5 empl. 275141 0 6480 8193 11971 26644 541710 5 ann. pay. 15282308 103633 299809 402307 620512 1426261 541710 5 rec. 541720 5 firms 1856 228 838 288 188 1542 541720 5 estab. 2037 228 840 294 194 1556 541720 5 empl. 34710 0 1703 1828 2499 6030 541720 5 ann. pay. 1520776 16509 62760 74795 114794 268858 541720 5 rec. 541810 5 firms 12824 1935 6257 2224 1281 11697 541810 5 estab. 13635 1935 6259 2229 1293 11716 541810 5 empl. 147108 0 12467 14626 17121 44214 541810 5 ann. pay. 8472136 103719 461061 603882 803843 1972505 541810 5 rec. 541820 5 firms 6253 817 3740 920 432 5909 541820 5 estab. 6580 818 3745 930 460 5953 541820 5 empl. 42377 0 7299 5956 5823 19078 541820 5 ann. pay. 2369622 31884 327510 286240 304263 949897 541820 5 rec. 541830 5 firms 766 98 389 126 65 678 541830 5 estab. 890 98 390 127 67 682 541830 5 empl. 8957 0 793 817 843 2453 541830 5 ann. pay. 491977 5740 38536 50515 53321 148112 541830 5 rec. 541840 5 firms 2112 270 1033 358 227 1888 541840 5 estab. 2731 270 1036 363 253 1922 541840 5 empl. 30625 0 2075 2363 3037 7475 541840 5 ann. pay. 1277940 16982 98317 91953 108125 315377 541840 5 rec. 541850 5 firms 1862 248 966 279 188 1681 541850 5 estab. 2222 248 967 283 195 1693 541850 5 empl. 41804 0 1877 1840 2485 6202 541850 5 ann. pay. 949302 11964 57454 62683 90492 222593 541850 5 rec. 541860 5 firms 3566 453 1304 563 477 2797 541860 5 estab. 3770 453 1305 565 483 2806 541860 5 empl. 85988 0 2790 3704 6411 12905 541860 5 ann. pay. 2742321 22864 90487 110818 191931 416100 541860 5 rec. 541870 5 firms 500 79 241 62 50 432 541870 5 estab. 573 79 241 62 50 432 541870 5 empl. 9363 0 495 402 676 1573 541870 5 ann. pay. 222800 1982 13913 11813 16429 44137 541870 5 rec. 541890 5 firms 9175 1218 5368 1448 608 8642 541890 5 estab. 9510 1218 5368 1454 634 8674 541890 5 empl. 64447 0 11023 9273 7892 28188 541890 5 ann. pay. 1893459 42094 283612 259693 248249 833648 541890 5 rec. 541910 5 firms 3408 479 1354 445 345 2623 541910 5 estab. 4247 479 1356 448 357 2640 541910 5 empl. 118328 0 2630 2951 4711 10292 541910 5 ann. pay. 3448761 32056 138301 127152 184185 481694 541910 5 rec. 541921 5 firms 8913 1303 5797 1124 409 8633 541921 5 estab. 14077 1305 5808 1146 442 8701 541921 5 empl. 62811 0 11071 7148 5359 23578 541921 5 ann. pay. 1003963 24157 183857 116630 90881 415525 541921 5 rec. 541922 5 firms 4151 559 2783 478 162 3982 541922 5 estab. 4251 559 2784 486 165 3994 541922 5 empl. 18144 0 5298 2985 2128 10411 541922 5 ann. pay. 594702 17187 172049 103756 72288 365280 541922 5 rec. 541930 5 firms 1046 189 603 125 66 983 541930 5 estab. 1049 189 604 125 67 985 541930 5 empl. 5936 0 1129 819 894 2842 541930 5 ann. pay. 184499 6034 27975 22619 27099 83727 541930 5 rec. 541940 5 firms 23573 1331 7683 7574 5360 21948 541940 5 estab. 23970 1331 7684 7576 5365 21956 541940 5 empl. 195708 0 19054 51460 70621 141135 541940 5 ann. pay. 3977829 51405 334200 917315 1432849 2735769 541940 5 rec. 541990 5 firms 7744 3213 3354 638 294 7499 541990 5 estab. 8050 3213 3354 638 302 7507 541990 5 empl. 29803 0 6019 4086 3739 13844 541990 5 ann. pay. 1062341 116553 176241 109354 104340 506488 541990 5 rec. 551111 5 firms 1188 145 280 50 68 543 551111 5 estab. 1421 145 280 50 68 543 551111 5 empl. 28382 0 453 305 607 1365 551111 5 ann. pay. 1735149 24206 29360 13973 26454 93993 551111 5 rec. 551112 5 firms 7760 1207 2774 427 296 4704 551112 5 estab. 8422 1208 2780 435 301 4724 551112 5 empl. 124756 0 4553 2618 3097 10268 551112 5 ann. pay. 10112447 258284 207118 161147 213236 839785 551112 5 rec. 551114 5 firms 18425 66 170 299 720 1255 551114 5 estab. 33838 69 171 307 737 1284 551114 5 empl. 2550661 0 270 911 3257 4438 551114 5 ann. pay. 163801061 8391 15343 46845 135982 206561 551114 5 rec. 561110 5 firms 23118 3861 9533 3354 2217 18965 561110 5 estab. 26238 3869 9544 3364 2253 19030 561110 5 empl. 383987 0 19031 21984 29123 70138 561110 5 ann. pay. 14810790 399577 978890 977169 1262366 3618002 561110 5 rec. 561210 5 firms 1252 114 214 136 170 634 561210 5 estab. 2523 114 214 143 180 651 561210 5 empl. 109662 0 480 911 2249 3640 561210 5 ann. pay. 3520919 27065 22685 45573 91985 187308 561210 5 rec. 561310 5 firms 6841 1440 2422 896 621 5379 561310 5 estab. 7447 1447 2428 898 644 5417 561310 5 empl. 183243 0 4901 5908 8344 19153 561310 5 ann. pay. 3917012 175982 202251 236275 296611 911119 561310 5 rec. 561320 5 firms 11151 1403 2075 941 884 5303 561320 5 estab. 25114 1406 2083 946 919 5354 561320 5 empl. 2549701 0 4277 6297 12228 22802 561320 5 ann. pay. 46968885 287159 156709 199767 350315 993950 561320 5 rec. 561330 5 firms 4115 501 720 391 462 2074 561330 5 estab. 4964 502 720 393 467 2082 561330 5 empl. 881175 0 1458 2634 6383 10475 561330 5 ann. pay. 20378962 136048 67883 87874 204860 496665 561330 5 rec. 561410 5 firms 4520 760 2716 493 266 4235 561410 5 estab. 4794 760 2717 499 272 4248 561410 5 empl. 34853 0 4746 3169 3525 11440 561410 5 ann. pay. 787837 15458 89966 66472 76954 248850 561410 5 rec. 561421 5 firms 2859 382 833 488 625 2328 561421 5 estab. 3358 382 833 489 634 2338 561421 5 empl. 62604 0 1798 3368 8591 13757 561421 5 ann. pay. 1445214 18843 37895 52735 121628 231101 561421 5 rec. 561422 5 firms 2449 415 720 275 271 1681 561422 5 estab. 3299 415 721 279 273 1688 561422 5 empl. 252241 0 1427 1816 3788 7031 561422 5 ann. pay. 3850485 19112 41796 39805 61027 161740 561422 5 rec. 561431 5 firms 4633 725 2787 778 214 4504 561431 5 estab. 4689 725 2789 782 239 4535 561431 5 empl. 21074 0 6238 4882 2698 13818 561431 5 ann. pay. 315835 22483 85263 58949 38142 204837 561431 5 rec. 561439 5 firms 4125 416 1783 887 532 3618 561439 5 estab. 6078 419 1784 891 553 3647 561439 5 empl. 89354 0 4035 5832 6906 16773 561439 5 ann. pay. 2227092 15570 82244 122073 160385 380272 561439 5 rec. 561440 5 firms 4696 434 1692 934 721 3781 561440 5 estab. 5272 438 1692 938 741 3809 561440 5 empl. 88882 0 3783 6288 9671 19742 561440 5 ann. pay. 2334510 25320 83438 143042 245683 497483 561440 5 rec. 561450 5 firms 1102 101 405 213 178 897 561450 5 estab. 1509 101 407 217 181 906 561450 5 empl. 35613 0 898 1402 2408 4708 561450 5 ann. pay. 1340700 7014 21967 33305 63287 125573 561450 5 rec. 561491 5 firms 1091 226 470 214 124 1034 561491 5 estab. 1136 227 471 215 130 1043 561491 5 empl. 6676 0 978 1412 1633 4023 561491 5 ann. pay. 193883 6120 23595 31995 56674 118384 561491 5 rec. 561492 5 firms 3564 703 2137 400 193 3433 561492 5 estab. 3642 703 2141 411 206 3461 561492 5 empl. 14336 0 3791 2545 2540 8876 561492 5 ann. pay. 423880 17402 95134 68006 75860 256402 561492 5 rec. 561499 5 firms 1250 336 396 136 127 995 561499 5 estab. 1451 336 400 137 129 1002 561499 5 empl. 36714 0 808 883 1692 3383 561499 5 ann. pay. 871809 12584 23637 25976 40381 102578 561499 5 rec. 561510 5 firms 21896 1957 12345 4981 1602 20885 561510 5 estab. 28782 1960 12360 5069 1896 21285 561510 5 empl. 185391 0 28886 31542 20678 81106 561510 5 ann. pay. 4774773 54688 512993 591077 458915 1617673 561510 5 rec. 561520 5 firms 3220 417 1504 591 347 2859 561520 5 estab. 3514 417 1508 595 360 2880 561520 5 empl. 39555 0 3241 3888 4570 11699 561520 5 ann. pay. 1159275 39783 84213 104662 123709 352367 561520 5 rec. 561591 5 firms 947 110 483 155 81 829 561591 5 estab. 1029 110 483 156 86 835 561591 5 empl. 11108 0 1033 1009 1058 3100 561591 5 ann. pay. 251967 3403 22790 22232 25140 73565 561591 5 rec. 561599 5 firms 1809 236 838 272 164 1510 561599 5 estab. 2754 236 840 273 182 1531 561599 5 empl. 61476 0 1780 1749 2227 5756 561599 5 ann. pay. 1830687 13739 47694 49417 58442 169292 561599 5 rec. 561611 5 firms 5001 711 2535 742 469 4457 561611 5 estab. 5115 711 2535 746 478 4470 561611 5 empl. 49829 0 5012 4884 6298 16194 561611 5 ann. pay. 950620 27404 108302 105493 126898 368097 561611 5 rec. 561612 5 firms 4876 594 1085 600 701 2980 561612 5 estab. 6546 595 1086 600 707 2988 561612 5 empl. 482477 0 2339 4066 9665 16070 561612 5 ann. pay. 6686095 33165 40303 51620 117399 242487 561612 5 rec. 561613 5 firms 243 47 72 23 22 164 561613 5 estab. 845 47 72 23 22 164 561613 5 empl. 33618 0 171 164 311 646 561613 5 ann. pay. 760461 1444 4907 2862 4113 13326 561613 5 rec. 561621 5 firms 3792 424 1641 687 492 3244 561621 5 estab. 5259 426 1643 690 503 3262 561621 5 empl. 113826 0 3411 4569 6574 14554 561621 5 ann. pay. 3086009 22187 76038 111947 170000 380172 561621 5 rec. 561622 5 firms 3750 363 2358 737 214 3672 561622 5 estab. 3833 363 2361 747 234 3705 561622 5 empl. 14869 0 5052 4748 2738 12538 561622 5 ann. pay. 372161 5512 101054 116587 76475 299628 561622 5 rec. 561710 5 firms 9409 1057 5137 1755 961 8910 561710 5 estab. 11170 1057 5139 1757 1012 8965 561710 5 empl. 83008 0 10573 11526 12764 34863 561710 5 ann. pay. 2134454 20333 204694 249034 312090 786151 561710 5 rec. 561720 5 firms 52887 8178 23928 9004 5938 47048 561720 5 estab. 55648 8182 23931 9014 5954 47081 561720 5 empl. 878966 0 49130 59530 79596 188256 561720 5 ann. pay. 11060638 185690 613678 665124 884114 2348606 561720 5 rec. 561730 5 firms 64584 17606 30775 9207 4282 61870 561730 5 estab. 65377 17606 30776 9208 4284 61874 561730 5 empl. 363906 0 62361 59778 56323 178462 561730 5 ann. pay. 8082010 374365 1285297 1141380 1176099 3977141 561730 5 rec. 561740 5 firms 9174 1422 5195 1508 670 8795 561740 5 estab. 9342 1429 5196 1515 680 8820 561740 5 empl. 45415 0 10289 9755 8829 28873 561740 5 ann. pay. 801762 25748 151974 152339 146503 476564 561740 5 rec. 561790 5 firms 5873 1238 3103 848 444 5633 561790 5 estab. 5919 1238 3105 851 450 5644 561790 5 empl. 26788 0 5936 5491 5882 17309 561790 5 ann. pay. 650295 38180 129065 113500 142185 422930 561790 5 rec. 561910 5 firms 2337 316 884 327 251 1778 561910 5 estab. 2424 316 884 327 260 1787 561910 5 empl. 58126 0 1824 2195 3521 7540 561910 5 ann. pay. 1256537 12450 47354 53441 74343 187588 561910 5 rec. 561920 5 firms 3915 688 1765 603 382 3438 561920 5 estab. 4186 690 1769 606 391 3456 561920 5 empl. 70594 0 3587 3990 5129 12706 561920 5 ann. pay. 1816926 30451 126369 136875 178313 472008 561920 5 rec. 561990 5 firms 19344 3274 9900 2843 1673 17690 561990 5 estab. 20917 3275 9906 2862 1723 17766 561990 5 empl. 218566 0 19657 18519 21989 60165 561990 5 ann. pay. 5114035 154927 576289 486063 600945 1818224 561990 5 rec. 562111 5 firms 5935 527 2532 1228 875 5162 562111 5 estab. 7103 527 2532 1231 888 5178 562111 5 empl. 136133 0 5508 8171 11841 25520 562111 5 ann. pay. 4232765 19104 112830 185147 306059 623140 562111 5 rec. 562112 5 firms 327 27 135 40 55 257 562112 5 estab. 413 27 135 40 55 257 562112 5 empl. 8714 0 287 269 678 1234 562112 5 ann. pay. 347269 753 7342 9392 24792 42279 562112 5 rec. 562119 5 firms 813 111 424 118 66 719 562119 5 estab. 852 111 424 120 66 721 562119 5 empl. 6715 0 853 788 859 2500 562119 5 ann. pay. 199761 2833 17576 17919 27157 65485 562119 5 rec. 562211 5 firms 378 53 99 55 41 248 562211 5 estab. 520 53 99 55 51 258 562211 5 empl. 16976 0 219 364 577 1160 562211 5 ann. pay. 729774 4610 7026 9841 18950 40427 562211 5 rec. 562212 5 firms 1013 154 369 188 124 835 562212 5 estab. 1521 154 369 188 124 835 562212 5 empl. 28204 0 851 1243 1675 3769 562212 5 ann. pay. 935375 9364 21786 31925 42316 105391 562212 5 rec. 562213 5 firms 90 12 30 14 12 68 562213 5 estab. 119 12 30 14 12 68 562213 5 empl. 3307 [ a] 59 95 151 [ e] 562213 5 ann. pay. 148757 ( D) 1525 2365 4877 ( D) 562213 5 rec. 562219 5 firms 227 28 96 35 21 180 562219 5 estab. 299 28 96 35 23 182 562219 5 empl. 4269 [ a] 211 233 256 [ f] 562219 5 ann. pay. 153385 ( D) 5495 7085 7910 ( D) 562219 5 rec. 562910 5 firms 1586 183 440 213 245 1081 562910 5 estab. 1850 185 445 213 249 1092 562910 5 empl. 46328 0 934 1429 3372 5735 562910 5 ann. pay. 1700879 8862 31258 45529 113432 199081 562910 5 rec. 562920 5 firms 771 117 290 124 93 624 562920 5 estab. 874 117 290 126 96 629 562920 5 empl. 12485 0 632 846 1229 2707 562920 5 ann. pay. 347014 6289 12998 22762 29902 71951 562920 5 rec. 562991 5 firms 3050 358 1657 605 268 2888 562991 5 estab. 3205 358 1657 606 273 2894 562991 5 empl. 21489 0 3432 3916 3558 10906 562991 5 ann. pay. 632539 8162 75926 98015 94290 276393 562991 5 rec. 562998 5 firms 177 27 65 22 19 133 562998 5 estab. 204 27 65 22 20 134 562998 5 empl. 2780 0 129 150 263 542 562998 5 ann. pay. 103373 507 2542 6070 8450 17569 562998 5 rec. 611110 5 firms 16416 760 2116 1790 2865 7531 611110 5 estab. 18604 761 2117 1791 2881 7550 611110 5 empl. 659427 0 5121 12263 40932 58316 611110 5 ann. pay. 12974811 59984 82795 164831 636442 944052 611110 5 rec. 611210 5 firms 549 23 70 40 53 186 611210 5 estab. 818 23 70 40 53 186 611210 5 empl. 74788 0 156 280 732 1168 611210 5 ann. pay. 1854343 2360 3610 8248 19746 33964 611210 5 rec. 611310 5 firms 2366 81 415 174 165 835 611310 5 estab. 2946 81 415 174 175 845 611310 5 empl. 1260468 0 859 1133 2303 4295 611310 5 ann. pay. 30127844 16204 23528 26899 55317 121948 611310 5 rec. 611410 5 firms 478 50 152 65 59 326 611410 5 estab. 570 50 152 65 59 326 611410 5 empl. 10608 0 313 423 809 1545 611410 5 ann. pay. 230650 2293 6664 9705 16919 35581 611410 5 rec. 611420 5 firms 2589 428 1167 432 241 2268 611420 5 estab. 2896 428 1167 438 252 2285 611420 5 empl. 29603 0 2322 2817 3327 8466 611420 5 ann. pay. 1113783 20716 71445 82465 118377 293003 611420 5 rec. 611430 5 firms 3176 655 1727 399 202 2983 611430 5 estab. 3299 655 1730 406 212 3003 611430 5 empl. 18926 0 3232 2577 2680 8489 611430 5 ann. pay. 692042 23921 127530 95078 97433 343962 611430 5 rec. 611511 5 firms 1417 122 617 341 225 1305 611511 5 estab. 1694 122 618 350 267 1357 611511 5 empl. 9806 0 1430 2248 2831 6509 611511 5 ann. pay. 161253 2103 19483 34997 43647 100230 611511 5 rec. 611512 5 firms 825 149 334 129 112 724 611512 5 estab. 921 151 334 134 115 734 611512 5 empl. 10839 0 642 837 1525 3004 611512 5 ann. pay. 311179 3411 14397 14441 22040 54289 611512 5 rec. 611513 5 firms 1026 80 468 216 155 919 611513 5 estab. 1163 80 470 223 173 946 611513 5 empl. 9119 0 1019 1395 2071 4485 611513 5 ann. pay. 187037 1939 24294 22217 32818 81268 611513 5 rec. 611519 5 firms 2695 348 1122 435 332 2237 611519 5 estab. 3078 348 1124 436 346 2254 611519 5 empl. 39313 0 2339 2854 4440 9633 611519 5 ann. pay. 1008142 11974 52243 61094 108918 234229 611519 5 rec. 611610 5 firms 7285 846 3735 1623 752 6956 611610 5 estab. 7448 848 3744 1643 792 7027 611610 5 empl. 42432 0 7796 10633 9679 28108 611610 5 ann. pay. 455384 14672 82818 94333 95745 287568 611610 5 rec. 611620 5 firms 6374 1480 2852 1020 602 5954 611620 5 estab. 6527 1480 2859 1026 613 5978 611620 5 empl. 33576 0 5661 6652 8085 20398 611620 5 ann. pay. 453160 34016 90463 83129 81633 289241 611620 5 rec. 611630 5 firms 754 106 278 122 118 624 611630 5 estab. 902 106 279 122 121 628 611630 5 empl. 11525 0 590 834 1647 3071 611630 5 ann. pay. 163767 1949 8669 10107 17880 38605 611630 5 rec. 611691 5 firms 2367 351 961 406 347 2065 611691 5 estab. 2895 351 962 407 354 2074 611691 5 empl. 26618 0 1910 2716 4743 9369 611691 5 ann. pay. 407357 11815 28360 29459 48596 118230 611691 5 rec. 611692 5 firms 1722 243 888 329 167 1627 611692 5 estab. 1837 244 888 332 173 1637 611692 5 empl. 10182 0 1846 2163 2140 6149 611692 5 ann. pay. 148366 5798 24650 26542 26445 83435 611692 5 rec. 611699 5 firms 4754 711 2251 750 472 4184 611699 5 estab. 5130 713 2251 754 501 4219 611699 5 empl. 42741 0 4531 4902 6299 15732 611699 5 ann. pay. 956772 22953 101637 103627 129045 357262 611699 5 rec. 611710 5 firms 3937 836 2071 450 284 3641 611710 5 estab. 4174 836 2073 453 299 3661 611710 5 empl. 33846 0 3851 2945 3758 10554 611710 5 ann. pay. 1041475 29653 120626 83840 115144 349263 611710 5 rec. 621111 5 firms 163366 13665 76469 39644 19924 149702 621111 5 estab. 184997 13741 76724 40430 21574 152469 621111 5 empl. 1582567 0 174939 257652 264510 697101 621111 5 ann. pay. 88788617 1559217 10935433 13008680 15303274 40806604 621111 5 rec. 621112 5 firms 9828 1078 6909 1093 437 9517 621112 5 estab. 10170 1080 6927 1112 479 9598 621112 5 empl. 36796 0 12271 6931 5696 24898 621112 5 ann. pay. 1614713 67588 601406 259461 211214 1139669 621112 5 rec. 621210 5 firms 111325 5335 46860 42100 14614 108909 621210 5 estab. 115060 5351 46966 42534 15588 110439 621210 5 empl. 665498 0 120796 277184 183477 581457 621210 5 ann. pay. 19885297 286091 3029447 7813260 5897501 17026299 621210 5 rec. 621310 5 firms 30505 2906 21610 4922 920 30358 621310 5 estab. 30884 2911 21634 4981 1030 30556 621310 5 empl. 92993 0 46087 30367 11523 87977 621310 5 ann. pay. 2003852 59498 842525 677228 295100 1874351 621310 5 rec. 621320 5 firms 16163 964 9141 4203 1440 15748 621320 5 estab. 17606 968 9191 4358 1821 16338 621320 5 empl. 82368 0 21599 27027 18212 66838 621320 5 ann. pay. 1917446 32864 426035 566949 458508 1484356 621320 5 rec. 621330 5 firms 11318 1345 8357 898 375 10975 621330 5 estab. 11738 1347 8369 912 397 11025 621330 5 empl. 41004 0 13779 5741 4824 24344 621330 5 ann. pay. 1059341 33391 345258 135829 120619 635097 621330 5 rec. 621340 5 firms 11862 1453 5313 2364 1529 10659 621340 5 estab. 14455 1458 5329 2421 1721 10929 621340 5 empl. 144201 0 10921 15567 20023 46511 621340 5 ann. pay. 4412727 55718 289680 416022 569997 1331417 621340 5 rec. 621391 5 firms 8135 479 5455 1716 399 8049 621391 5 estab. 8566 482 5498 1818 560 8358 621391 5 empl. 30357 0 12455 10751 4984 28190 621391 5 ann. pay. 810115 15165 264937 291572 167421 739095 621391 5 rec. 621399 5 firms 6423 1172 3848 743 347 6110 621399 5 estab. 6688 1173 3848 750 361 6132 621399 5 empl. 30183 0 6796 4795 4458 16049 621399 5 ann. pay. 866369 40998 196266 151212 129462 517938 621399 5 rec. 621410 5 firms 1020 60 403 138 123 724 621410 5 estab. 1845 60 403 139 155 757 621410 5 empl. 18966 0 825 933 1664 3422 621410 5 ann. pay. 440604 5813 14985 16775 34759 72332 621410 5 rec. 621420 5 firms 3709 311 1175 451 381 2318 621420 5 estab. 6414 311 1175 460 410 2356 621420 5 empl. 132460 0 2277 3045 5184 10506 621420 5 ann. pay. 3346652 26037 52983 69560 125203 273783 621420 5 rec. 621491 5 firms 160 30 27 10 8 75 621491 5 estab. 818 35 27 10 8 80 621491 5 empl. 54305 0 53 71 93 217 621491 5 ann. pay. 2176215 10699 1105 2996 7385 22185 621491 5 rec. 621492 5 firms 448 32 50 47 87 216 621492 5 estab. 2321 32 50 47 87 216 621492 5 empl. 45913 0 108 328 1199 1635 621492 5 ann. pay. 1388572 8546 5084 12875 35688 62193 621492 5 rec. 621493 5 firms 1834 191 383 316 366 1256 621493 5 estab. 2561 195 385 318 375 1273 621493 5 empl. 47823 0 812 2155 4945 7912 621493 5 ann. pay. 1760709 36844 52825 119399 244261 453329 621493 5 rec. 621498 5 firms 4332 307 1080 572 510 2469 621498 5 estab. 8417 312 1083 581 561 2537 621498 5 empl. 241978 0 2349 3852 6746 12947 621498 5 ann. pay. 8689463 22819 78585 116360 195920 413684 621498 5 rec. 621511 5 firms 2791 260 975 538 372 2145 621511 5 estab. 5271 263 975 548 392 2178 621511 5 empl. 111339 0 2152 3622 4975 10749 621511 5 ann. pay. 3554268 28186 92039 158318 209165 487708 621511 5 rec. 621512 5 firms 3261 330 1301 627 424 2682 621512 5 estab. 4400 335 1308 639 459 2741 621512 5 empl. 44989 0 2814 4124 5633 12571 621512 5 ann. pay. 2095359 40709 152840 218165 288140 699854 621512 5 rec. 621610 5 firms 12310 1176 2472 1229 1582 6459 621610 5 estab. 19439 1176 2474 1231 1593 6474 621610 5 empl. 901525 0 5129 8325 22393 35847 621610 5 ann. pay. 15245666 157698 119640 164224 416113 857675 621610 5 rec. 621910 5 firms 2773 224 622 361 552 1759 621910 5 estab. 3524 224 624 361 556 1765 621910 5 empl. 107312 0 1342 2490 7852 11684 621910 5 ann. pay. 2173076 10538 26059 36541 108816 181954 621910 5 rec. 621991 5 firms 581 56 148 52 69 325 621991 5 estab. 1347 56 149 52 78 335 621991 5 empl. 46637 0 320 321 970 1611 621991 5 ann. pay. 1383658 3485 9553 9968 31229 54235 621991 5 rec. 621999 5 firms 1341 214 589 199 123 1125 621999 5 estab. 1875 214 590 200 130 1134 621999 5 empl. 23148 0 1221 1306 1580 4107 621999 5 ann. pay. 697256 9697 34486 34384 40398 118965 621999 5 rec. 622110 5 firms 3677 69 36 18 13 136 622110 5 estab. 5648 74 36 18 13 141 622110 5 empl. 4610069 0 67 107 182 356 622110 5 ann. pay. 147661362 428059 3602 7095 5594 444350 622110 5 rec. 622210 5 firms 538 12 12 3 5 32 622210 5 estab. 848 12 13 3 5 33 622210 5 empl. 247775 [ a] 35 [ b] [ b] 122 622210 5 ann. pay. 8131790 ( D) 4973 ( D) ( D) 16194 622210 5 rec. 622310 5 firms 306 28 12 3 3 46 622310 5 estab. 468 28 12 3 3 46 622310 5 empl. 153493 [ a] 24 [ b] [ b] 82 622310 5 ann. pay. 5075960 ( D) 1051 ( D) ( D) 45998 622310 5 rec. 623110 5 firms 8383 518 554 238 274 1584 623110 5 estab. 16065 520 554 239 284 1597 623110 5 empl. 1557105 0 1164 1558 3798 6520 623110 5 ann. pay. 28522345 152516 29057 30168 71454 283195 623110 5 rec. 623210 5 firms 4538 255 931 497 557 2240 623210 5 estab. 14773 270 936 511 579 2296 623210 5 empl. 277751 0 2049 3375 7635 13059 623210 5 ann. pay. 4493222 28030 29323 48314 110528 216195 623210 5 rec. 623220 5 firms 3539 261 748 451 491 1951 623220 5 estab. 5922 262 749 459 499 1969 623220 5 empl. 104042 0 1668 3020 6744 11432 623220 5 ann. pay. 1974036 9731 22463 42561 104135 178890 623220 5 rec. 623311 5 firms 2246 129 253 149 185 716 623311 5 estab. 3056 132 253 149 185 719 623311 5 empl. 243488 0 564 1010 2606 4180 623311 5 ann. pay. 4182242 17046 9535 16076 32497 75154 623311 5 rec. 623312 5 firms 11708 1611 3969 1948 1640 9168 623312 5 estab. 13735 1617 3972 1954 1684 9227 623312 5 empl. 191228 0 8664 12978 22335 43977 623312 5 ann. pay. 2722458 66096 102952 143958 258871 571877 623312 5 rec. 623990 5 firms 3684 293 743 447 533 2016 623990 5 estab. 6191 293 746 449 550 2038 623990 5 empl. 137590 0 1596 3019 7415 12030 623990 5 ann. pay. 2725256 12057 22705 43874 115945 194581 623990 5 rec. 624110 5 firms 7277 569 2638 1071 884 5162 624110 5 estab. 9361 574 2640 1083 942 5239 624110 5 empl. 139302 0 5741 7096 11905 24742 624110 5 ann. pay. 2790621 25497 114607 143144 226635 509883 624110 5 rec. 624120 5 firms 9674 653 3080 1450 1242 6425 624120 5 estab. 13289 655 3085 1457 1289 6486 624120 5 empl. 279754 0 6402 9570 16623 32595 624120 5 ann. pay. 4063488 16626 97473 141363 253508 508970 624120 5 rec. 624190 5 firms 15093 967 6862 2219 1616 11664 624190 5 estab. 20647 968 6873 2227 1728 11796 624190 5 empl. 285195 0 13492 14602 21864 49958 624190 5 ann. pay. 5349779 33096 248355 277900 424767 984118 624190 5 rec. 624210 5 firms 2300 71 1109 410 239 1829 624210 5 estab. 3119 72 1114 414 246 1846 624210 5 empl. 24341 0 2325 2669 3187 8181 624210 5 ann. pay. 368870 1379 28455 37018 52176 119028 624210 5 rec. 624221 5 firms 2271 56 432 404 509 1401 624221 5 estab. 2653 56 432 404 516 1408 624221 5 empl. 43124 0 1040 2802 7058 10900 624221 5 ann. pay. 770005 959 19173 45861 111854 177847 624221 5 rec. 624229 5 firms 2223 171 984 373 227 1755 624229 5 estab. 2458 171 984 378 234 1767 624229 5 empl. 22945 0 2066 2478 3062 7606 624229 5 ann. pay. 486041 4744 47499 57895 75423 185561 624229 5 rec. 624230 5 firms 1722 69 872 326 193 1460 624230 5 estab. 1983 69 872 327 202 1470 624230 5 empl. 18566 0 1828 2122 2518 6468 624230 5 ann. pay. 354864 1788 28054 32972 40242 103056 624230 5 rec. 624310 5 firms 5446 293 1348 664 586 2891 624310 5 estab. 8106 295 1359 692 626 2972 624310 5 empl. 296154 0 2790 4377 7983 15150 624310 5 ann. pay. 3982781 12735 70369 110286 182268 375658 624310 5 rec. 624410 5 firms 51656 5076 18736 10249 9676 43737 624410 5 estab. 62963 5086 18745 10285 9958 44074 624410 5 empl. 644111 0 39672 69473 131554 240699 624410 5 ann. pay. 7513283 103804 371240 681958 1395397 2552399 624410 5 rec. 711110 5 firms 3451 584 1487 470 325 2866 711110 5 estab. 3505 584 1488 470 328 2870 711110 5 empl. 59229 0 2961 3102 4374 10437 711110 5 ann. pay. 1289480 53723 94137 69378 78406 295644 711110 5 rec. 711120 5 firms 576 79 251 77 67 474 711120 5 estab. 581 79 251 78 68 476 711120 5 empl. 9553 0 510 517 889 1916 711120 5 ann. pay. 177805 5359 10937 5731 12880 34907 711120 5 rec. 711130 5 firms 4720 1058 2311 648 375 4392 711130 5 estab. 4732 1058 2311 650 377 4396 711130 5 empl. 40833 0 4530 4182 4954 13666 711130 5 ann. pay. 1228814 128827 156289 108529 177434 571079 711130 5 rec. 711190 5 firms 914 246 414 97 69 826 711190 5 estab. 971 246 414 97 72 829 711190 5 empl. 8530 0 759 652 941 2352 711190 5 ann. pay. 233270 20413 45352 13079 33560 112404 711190 5 rec. 711211 5 firms 601 110 118 59 67 354 711211 5 estab. 633 110 119 59 67 355 711211 5 empl. 32700 0 248 412 938 1598 711211 5 ann. pay. 5717642 27925 14691 15542 33670 91828 711211 5 rec. 711212 5 firms 846 281 233 102 55 671 711212 5 estab. 918 281 236 105 56 678 711212 5 empl. 42890 0 478 654 688 1820 711212 5 ann. pay. 818498 11671 17618 13938 14709 57936 711212 5 rec. 711219 5 firms 2735 571 1388 359 234 2552 711219 5 estab. 2771 571 1391 362 238 2562 711219 5 empl. 15485 0 2698 2363 3073 8134 711219 5 ann. pay. 523518 41359 116428 51841 82392 292020 711219 5 rec. 711310 5 firms 908 165 348 120 89 722 711310 5 estab. 976 166 348 121 92 727 711310 5 empl. 34481 0 685 798 1248 2731 711310 5 ann. pay. 570181 7586 18053 19027 25560 70226 711310 5 rec. 711320 5 firms 3082 754 1500 382 222 2858 711320 5 estab. 3127 755 1500 385 223 2863 711320 5 empl. 23410 0 2891 2487 2956 8334 711320 5 ann. pay. 795335 47702 152546 77354 109755 387357 711320 5 rec. 711410 5 firms 2729 509 1586 394 134 2623 711410 5 estab. 2788 509 1587 397 145 2638 711410 5 empl. 14253 0 3135 2494 1712 7341 711410 5 ann. pay. 954736 44996 170433 130063 84468 429960 711410 5 rec. 711510 5 firms 11746 3701 6729 756 331 11517 711510 5 estab. 11768 3701 6734 756 334 11525 711510 5 empl. 30718 0 10616 4858 4341 19815 711510 5 ann. pay. 3494555 688162 1865872 373980 164492 3092506 711510 5 rec. 712110 5 firms 3714 312 1783 614 400 3109 712110 5 estab. 3903 312 1785 618 421 3136 712110 5 empl. 66057 0 3694 3995 5444 13133 712110 5 ann. pay. 1441234 5374 61915 67702 93662 228653 712110 5 rec. 712120 5 firms 865 84 517 104 71 776 712120 5 estab. 903 84 518 105 74 781 712120 5 empl. 8410 0 972 658 940 2570 712120 5 ann. pay. 132442 752 14289 9920 12755 37716 712120 5 rec. 712130 5 firms 382 36 103 55 57 251 712130 5 estab. 395 36 103 55 57 251 712130 5 empl. 17472 0 227 369 792 1388 712130 5 ann. pay. 412160 886 3735 7247 16611 28479 712130 5 rec. 712190 5 firms 355 61 125 64 45 295 712190 5 estab. 481 61 125 64 47 297 712190 5 empl. 4573 0 241 414 606 1261 712190 5 ann. pay. 100492 1020 5291 6894 11730 24935 712190 5 rec. 713110 5 firms 846 256 190 106 86 638 713110 5 estab. 931 256 190 106 86 638 713110 5 empl. 114786 0 385 716 1144 2245 713110 5 ann. pay. 1879963 12686 17626 22909 35840 89061 713110 5 rec. 713120 5 firms 1561 299 514 299 206 1318 713120 5 estab. 2581 299 516 299 219 1333 713120 5 empl. 27817 0 1099 2019 2683 5801 713120 5 ann. pay. 276588 9365 20092 23408 26557 79422 713120 5 rec. 713210 5 firms 520 76 75 69 40 260 713210 5 estab. 595 76 75 69 40 260 713210 5 empl. 119820 0 145 447 525 1117 713210 5 ann. pay. 2611157 8596 11378 11710 9707 41391 713210 5 rec. 713290 5 firms 1665 194 501 348 288 1331 713290 5 estab. 1931 194 503 355 290 1342 713290 5 empl. 47101 0 1117 2368 3814 7299 713290 5 ann. pay. 862022 6031 17948 34759 40196 98934 713290 5 rec. 713910 5 firms 10986 1305 2745 1782 1607 7439 713910 5 estab. 11755 1305 2745 1786 1620 7456 713910 5 empl. 270260 0 6266 11989 22029 40284 713910 5 ann. pay. 5562133 70318 210220 281212 446843 1008593 713910 5 rec. 713920 5 firms 367 32 54 42 40 168 713920 5 estab. 400 32 54 42 40 168 713920 5 empl. 55738 0 110 274 556 940 713920 5 ann. pay. 420948 675 1760 3038 3238 8711 713920 5 rec. 713930 5 firms 4136 676 2008 771 417 3872 713930 5 estab. 4227 678 2008 772 427 3885 713930 5 empl. 23167 0 4295 5043 5366 14704 713930 5 ann. pay. 564470 18299 105200 116901 127087 367487 713930 5 rec. 713940 5 firms 20141 4310 6223 2955 2611 16099 713940 5 estab. 21942 4322 6228 2965 2639 16154 713940 5 empl. 343556 0 13132 19907 35440 68479 713940 5 ann. pay. 3673968 117775 192888 207601 338533 856797 713940 5 rec. 713950 5 firms 4691 289 1082 847 1168 3386 713950 5 estab. 5400 291 1083 849 1173 3396 713950 5 empl. 86523 0 2555 5842 16168 24565 713950 5 ann. pay. 822107 8665 27483 48416 140935 225499 713950 5 rec. 713990 5 firms 14151 3704 5982 2163 1313 13162 713990 5 estab. 14656 3707 5987 2174 1343 13211 713990 5 empl. 86474 0 12266 14223 17121 43610 713990 5 ann. pay. 1483276 107212 219676 215251 245998 788137 713990 5 rec. 721110 5 firms 35385 4839 10419 5220 6196 26674 721110 5 estab. 44286 4843 10439 5267 6327 26876 721110 5 empl. 1343314 0 21934 35366 85548 142848 721110 5 ann. pay. 21906277 367087 300504 402049 939499 2009139 721110 5 rec. 721120 5 firms 201 14 12 6 11 43 721120 5 estab. 295 14 12 6 11 43 721120 5 empl. 291489 0 26 45 146 217 721120 5 ann. pay. 6928844 21138 1042 408 5208 27796 721120 5 rec. 721191 5 firms 3045 584 1444 502 313 2843 721191 5 estab. 3068 584 1446 502 318 2850 721191 5 empl. 17001 0 2856 3274 4056 10186 721191 5 ann. pay. 208256 13135 31914 34689 44430 124168 721191 5 rec. 721199 5 firms 840 276 373 101 58 808 721199 5 estab. 859 276 373 101 59 809 721199 5 empl. 4102 0 720 651 739 2110 721199 5 ann. pay. 65243 7673 10066 8270 11483 37492 721199 5 rec. 721211 5 firms 3809 1078 1761 547 252 3638 721211 5 estab. 3989 1078 1763 549 260 3650 721211 5 empl. 17171 0 3630 3542 3152 10324 721211 5 ann. pay. 315542 22078 66834 55992 49960 194864 721211 5 rec. 721214 5 firms 3206 877 1185 426 275 2763 721214 5 estab. 3441 877 1189 430 300 2796 721214 5 empl. 18959 0 2329 2683 3003 8015 721214 5 ann. pay. 436788 25754 80452 72879 62924 242009 721214 5 rec. 721310 5 firms 3314 218 2153 546 271 3188 721310 5 estab. 3393 218 2153 554 279 3204 721310 5 empl. 15992 0 4094 3550 3426 11070 721310 5 ann. pay. 177064 3948 44437 33409 30273 112067 721310 5 rec. 722110 5 firms 166666 23078 38247 32211 32112 125648 722110 5 estab. 193140 23141 38277 32270 32313 126001 722110 5 empl. 3703453 0 93627 218349 442205 754181 722110 5 ann. pay. 40642096 1056657 993656 1982432 4152089 8184834 722110 5 rec. 722211 5 firms 106960 13119 33278 20331 17686 84414 722211 5 estab. 172766 13375 33333 20475 18381 85564 722211 5 empl. 2896895 0 77732 136631 240217 454580 722211 5 ann. pay. 26071622 440103 810011 1205367 2035062 4490543 722211 5 rec. 722212 5 firms 3497 417 1303 716 457 2893 722212 5 estab. 4789 418 1303 720 465 2906 722212 5 empl. 85864 0 3026 4663 6082 13771 722212 5 ann. pay. 991890 10985 29646 46105 62494 149230 722212 5 rec. 722213 5 firms 29100 5840 9017 6335 4919 26111 722213 5 estab. 36088 5858 9045 6377 5244 26524 722213 5 empl. 295075 0 20729 42780 65452 128961 722213 5 ann. pay. 2807716 130956 200582 335785 525529 1192852 722213 5 rec. 722310 5 firms 2590 479 801 405 305 1990 722310 5 estab. 15905 480 814 410 342 2046 722310 5 empl. 358851 0 1814 2718 4103 8635 722310 5 ann. pay. 4793388 12615 21272 30301 43183 107371 722310 5 rec. 722320 5 firms 7244 1562 2425 1229 883 6099 722320 5 estab. 7350 1563 2425 1230 887 6105 722320 5 empl. 84724 0 5234 8194 11826 25254 722320 5 ann. pay. 1058085 41213 72784 92468 133894 340359 722320 5 rec. 722330 5 firms 2399 702 1111 283 155 2251 722330 5 estab. 2531 711 1112 283 163 2269 722330 5 empl. 13540 0 2107 1819 2036 5962 722330 5 ann. pay. 220733 11798 30595 21945 24504 88842 722330 5 rec. 722410 5 firms 52230 5679 27967 10693 4677 49016 722410 5 estab. 52665 5681 27975 10727 4763 49146 722410 5 empl. 320230 0 63580 68825 61524 193929 722410 5 ann. pay. 2971730 132825 575070 566907 522123 1796925 722410 5 rec. 811111 5 firms 76137 7866 48529 14353 4058 74806 811111 5 estab. 78818 7867 48539 14418 4214 75038 811111 5 empl. 296447 0 104603 90688 50502 245793 811111 5 ann. pay. 6974937 164541 2047065 2077783 1262837 5552226 811111 5 rec. 811112 5 firms 4024 280 2297 1013 285 3875 811112 5 estab. 5058 285 2301 1060 428 4074 811112 5 empl. 21922 0 5493 6404 3487 15384 811112 5 ann. pay. 527687 6162 110950 147412 85957 350481 811112 5 rec. 811113 5 firms 6653 588 3564 1935 458 6545 811113 5 estab. 6824 588 3567 1957 510 6622 811113 5 empl. 29656 0 8603 12430 5614 26647 811113 5 ann. pay. 760332 15385 186087 319606 154117 675195 811113 5 rec. 811118 5 firms 8657 553 5192 1900 666 8311 811118 5 estab. 9611 563 5203 1928 771 8465 811118 5 empl. 44703 0 11452 12137 8590 32179 811118 5 ann. pay. 1067670 11236 226612 278937 222514 739299 811118 5 rec. 811121 5 firms 35031 2982 17512 8285 4572 33351 811121 5 estab. 35823 2986 17514 8307 4644 33451 811121 5 empl. 206837 0 38447 54875 59614 152936 811121 5 ann. pay. 5559416 91585 770930 1340360 1690388 3893263 811121 5 rec. 811122 5 firms 3734 397 2051 757 300 3505 811122 5 estab. 6181 397 2051 770 363 3581 811122 5 empl. 30342 0 4483 4859 3761 13103 811122 5 ann. pay. 877535 9322 94365 113784 104075 321546 811122 5 rec. 811191 5 firms 4522 568 1401 1288 770 4027 811191 5 estab. 7701 591 1403 1298 849 4141 811191 5 empl. 59732 0 3281 8697 9909 21887 811191 5 ann. pay. 881869 22330 50137 132088 148755 353310 811191 5 rec. 811192 5 firms 12804 1915 5812 2011 1348 11086 811192 5 estab. 13875 1929 5834 2080 1508 11351 811192 5 empl. 120905 0 12151 13156 17958 43265 811192 5 ann. pay. 1350616 44397 151544 149874 206112 551927 811192 5 rec. 811198 5 firms 2626 351 1546 438 175 2510 811198 5 estab. 3010 351 1546 441 192 2530 811198 5 empl. 18178 0 3186 2820 2239 8245 811198 5 ann. pay. 375603 7717 55711 56130 50838 170396 811198 5 rec. 811211 5 firms 4623 310 3162 712 278 4462 811211 5 estab. 4828 310 3170 726 310 4516 811211 5 empl. 23761 0 6203 4545 3523 14271 811211 5 ann. pay. 571292 5431 96745 90678 78453 271307 811211 5 rec. 811212 5 firms 6188 708 3135 1083 624 5550 811212 5 estab. 7674 709 3141 1091 656 5597 811212 5 empl. 75628 0 6541 7143 8083 21767 811212 5 ann. pay. 2912835 40024 151350 190329 257966 639669 811212 5 rec. 811213 5 firms 1533 114 713 294 212 1333 811213 5 estab. 1800 114 715 302 237 1368 811213 5 empl. 16475 0 1503 1955 2823 6281 811213 5 ann. pay. 507691 2452 34061 51727 86776 175016 811213 5 rec. 811219 5 firms 2648 340 1428 427 233 2428 811219 5 estab. 2912 341 1430 430 252 2453 811219 5 empl. 22490 0 2940 2783 3051 8774 811219 5 ann. pay. 828204 9581 81420 88158 111151 290310 811219 5 rec. 811310 5 firms 24137 2588 12493 4556 2554 22191 811310 5 estab. 25626 2588 12498 4574 2622 22282 811310 5 empl. 191016 0 25790 29824 33499 89113 811310 5 ann. pay. 6261573 83859 572413 768567 1011296 2436135 811310 5 rec. 811411 5 firms 3467 433 2308 501 151 3393 811411 5 estab. 3635 436 2310 501 155 3402 811411 5 empl. 13096 0 4456 3174 1866 9496 811411 5 ann. pay. 288044 9025 73849 64620 45665 193159 811411 5 rec. 811412 5 firms 5416 585 3444 822 363 5214 811412 5 estab. 6308 585 3445 825 375 5230 811412 5 empl. 56139 0 6623 5291 4658 16572 811412 5 ann. pay. 1546093 13499 122312 116001 123683 375495 811412 5 rec. 811420 5 firms 6428 702 4368 962 297 6329 811420 5 estab. 6441 702 4369 962 299 6332 811420 5 empl. [ j] 0 8550 6136 3752 18438 811420 5 ann. pay. ( D) 11648 133130 110705 80529 336012 811420 5 rec. 811430 5 firms 1882 188 1481 142 46 1857 811430 5 estab. 2027 189 1488 148 76 1901 811430 5 empl. [ i] 0 2603 856 579 4038 811430 5 ann. pay. ( D) 1843 32416 12296 9067 55622 811430 5 rec. 811490 5 firms 10266 1484 6433 1339 581 9837 811490 5 estab. 10588 1487 6440 1352 601 9880 811490 5 empl. 48825 0 12565 8548 7444 28557 811490 5 ann. pay. 1040061 28688 206637 160509 169725 565559 811490 5 rec. 812111 5 firms 3955 299 3030 435 118 3882 812111 5 estab. 4161 299 3034 444 134 3911 812111 5 empl. 13564 0 5588 2652 1479 9719 812111 5 ann. pay. 202513 3543 79538 37745 22561 143387 812111 5 rec. 812112 5 firms 64664 6348 37710 12469 5710 62237 812112 5 estab. 73718 6396 37737 12559 6029 62721 812112 5 empl. 379337 0 78313 81135 74574 234022 812112 5 ann. pay. 5409690 120543 870420 1029316 1111016 3131295 812112 5 rec. 812113 5 firms 5994 1162 3757 771 236 5926 812113 5 estab. 6194 1162 3760 776 244 5942 812113 5 empl. 18679 0 7399 4871 2973 15243 812113 5 ann. pay. 224391 15294 69083 50047 36010 170434 812113 5 rec. 812191 5 firms 1674 338 886 244 98 1566 812191 5 estab. 3107 340 897 266 118 1621 812191 5 empl. 26232 0 1790 1561 1294 4645 812191 5 ann. pay. 307999 5598 22589 22178 20238 70603 812191 5 rec. 812199 5 firms 8069 1465 4262 1533 557 7817 812199 5 estab. 8510 1470 4267 1565 647 7949 812199 5 empl. 35786 0 8619 9828 7216 25663 812199 5 ann. pay. 439418 26850 94009 85328 74747 280934 812199 5 rec. 812210 5 firms 11519 558 5313 3419 1626 10916 812210 5 estab. 16215 559 5453 3890 2197 12099 812210 5 empl. 105776 0 12644 22526 20740 55910 812210 5 ann. pay. 2499299 14186 326565 569840 517368 1427959 812210 5 rec. 812220 5 firms 5407 970 3048 726 360 5104 812220 5 estab. 6878 970 3050 732 397 5149 812220 5 empl. 60906 0 5998 4562 4583 15143 812220 5 ann. pay. 1205700 20502 86464 93100 115007 315073 812220 5 rec. 812310 5 firms 12264 1292 7513 2109 877 11791 812310 5 estab. 13992 1295 7564 2216 1182 12257 812310 5 empl. 56567 0 15872 13401 10687 39960 812310 5 ann. pay. 709894 18341 148650 126150 117690 410831 812310 5 rec. 812320 5 firms 24174 2133 10982 5257 3474 21846 812320 5 estab. 27674 2145 11001 5334 3816 22296 812320 5 empl. 203388 0 24234 34588 46107 104929 812320 5 ann. pay. 2683906 59776 285408 394726 560132 1300042 812320 5 rec. 812331 5 firms 952 67 256 136 146 605 812331 5 estab. 1266 69 256 136 146 607 812331 5 empl. 53644 0 542 916 2008 3466 812331 5 ann. pay. 1078445 5759 7212 13467 31896 58334 812331 5 rec. 812332 5 firms 757 40 156 102 95 393 812332 5 estab. 1598 40 156 102 96 394 812332 5 empl. 79183 0 396 681 1279 2356 812332 5 ann. pay. 1892648 6065 5419 9445 23609 44538 812332 5 rec. 812910 5 firms 6742 1024 4244 1042 332 6642 812910 5 estab. 6769 1024 4244 1042 332 6642 812910 5 empl. 23449 0 8499 6646 4234 19379 812910 5 ann. pay. 314354 10847 100984 80034 53095 244960 812910 5 rec. 812921 5 firms 2331 174 943 479 350 1946 812921 5 estab. 3383 174 945 483 365 1967 812921 5 empl. 57140 0 2104 3112 4647 9863 812921 5 ann. pay. 1352798 19626 38246 60222 103747 221841 812921 5 rec. 812922 5 firms 2271 210 1279 473 208 2170 812922 5 estab. 3066 210 1283 499 274 2266 812922 5 empl. 15102 0 2866 2994 2586 8446 812922 5 ann. pay. 228990 3617 38789 43968 36472 122846 812922 5 rec. 812930 5 firms 2070 190 831 420 209 1650 812930 5 estab. 9613 205 844 454 293 1796 812930 5 empl. 78538 0 1873 2779 2709 7361 812930 5 ann. pay. 1081268 9949 31226 48089 39476 128740 812930 5 rec. 812990 5 firms 8007 2620 3627 974 430 7651 812990 5 estab. 8308 2622 3633 981 448 7684 812990 5 empl. 40560 0 7073 6267 5718 19058 812990 5 ann. pay. 899951 66453 140850 113941 102314 423558 812990 5 rec. 813110 5 firms 161205 5581 85392 37075 17754 145802 813110 5 estab. 161332 5581 85393 37076 17759 145809 813110 5 empl. 1469479 0 192115 240091 236535 668741 813110 5 ann. pay. 18855527 87838 2007913 2584394 2794289 7474434 813110 5 rec. 813211 5 firms 5703 508 3795 660 325 5288 813211 5 estab. 5898 508 3795 666 344 5313 813211 5 empl. 40237 0 6888 4192 4232 15312 813211 5 ann. pay. 1490037 37374 215272 155622 160200 568468 813211 5 rec. 813212 5 firms 2235 164 927 389 277 1757 813212 5 estab. 3492 164 927 398 317 1806 813212 5 empl. 44149 0 1933 2599 3736 8268 813212 5 ann. pay. 1265706 18502 49799 77157 108517 253975 813212 5 rec. 813219 5 firms 2684 180 1466 412 260 2318 813219 5 estab. 2959 180 1466 416 265 2327 813219 5 empl. 29272 0 2931 2736 3512 9179 813219 5 ann. pay. 884810 5188 69302 76622 103663 254775 813219 5 rec. 813311 5 firms 1526 135 718 287 179 1319 813311 5 estab. 1843 135 718 291 191 1335 813311 5 empl. 18151 0 1513 1915 2370 5798 813311 5 ann. pay. 494410 3396 36020 46117 60083 145616 813311 5 rec. 813312 5 firms 3274 271 1574 634 437 2916 813312 5 estab. 3880 271 1575 635 456 2937 813312 5 empl. 31988 0 3333 4221 5800 13354 813312 5 ann. pay. 721629 7344 62685 78273 114777 263079 813312 5 rec. 813319 5 firms 4075 365 2073 689 416 3543 813319 5 estab. 4675 365 2075 700 441 3581 813319 5 empl. 39400 0 4248 4404 5545 14197 813319 5 ann. pay. 1004232 10416 103180 111879 146822 372297 813319 5 rec. 813410 5 firms 30183 1988 15650 6292 3480 27410 813410 5 estab. 32063 1988 15655 6325 3651 27619 813410 5 empl. 314725 0 31244 41313 45677 118234 813410 5 ann. pay. 3890204 30852 344984 411718 493086 1280640 813410 5 rec. 813910 5 firms 16076 656 10641 2602 1088 14987 813910 5 estab. 16641 660 10645 2623 1160 15088 813910 5 empl. 116928 0 22023 16746 14256 53025 813910 5 ann. pay. 4477273 28839 571805 528425 537278 1666347 813910 5 rec. 813920 5 firms 7621 470 4496 1277 673 6916 813920 5 estab. 7928 470 4498 1290 698 6956 813920 5 empl. 69482 0 9196 8293 8788 26277 813920 5 ann. pay. 2703465 49958 264042 274879 315047 903926 813920 5 rec. 813930 5 firms 17952 803 8587 4397 2624 16411 813930 5 estab. 18697 811 8594 4414 2679 16498 813930 5 empl. 167206 0 18609 29158 34532 82299 813930 5 ann. pay. 3558338 16417 331710 411389 555662 1315178 813930 5 rec. 813940 5 firms 2429 557 1404 261 121 2343 813940 5 estab. 2435 557 1404 262 122 2345 813940 5 empl. 9954 0 2628 1659 1608 5895 813940 5 ann. pay. 297652 21297 68798 52104 44089 186288 813940 5 rec. 813990 5 firms 24033 2439 14701 3384 2128 22652 813990 5 estab. 24333 2439 14701 3388 2138 22666 813990 5 empl. 136787 0 26692 22579 28345 77616 813990 5 ann. pay. 3021439 43220 487901 480308 623420 1634849 813990 5 rec. 98_ E20_ 99 98_ E100_ 499 98_ EL500 98_ E500+ 99 TOTAL 99_ E0 99_ E1_ 4 99_ E5_ 9 99_ E10_ 19 494357 80075 5562799 16378 5607743 709074 2680087 1012954 605693 674503 307294 6030325 911497 7008444 711990 2685788 1027212 643106 19377614 15411390 55064409 53053322 110705661 0 5606302 6652370 8129615 531231157 446353485 1512769153 1796636380 3554692909 34264682 143112925 166598812 217571005 1333 226 26506 113 26259 4405 12957 4762 2460 1424 345 26732 560 26926 4410 12961 4768 2472 46074 27696 163747 23402 192155 0 26320 31115 32090 1102727 581302 3841690 812615 4812649 143077 579362 709879 782861 2315 495 19486 345 18828 1998 9068 2861 2062 2924 1231 21120 3539 23699 1999 9115 2943 2229 86207 63861 219197 278652 456645 0 18064 18683 27328 3057149 2754914 8016704 13925212 20975962 134384 522321 595841 946979 870 267 6371 232 6663 467 3337 1009 495 1393 1039 7733 8162 16578 471 3340 1014 541 38127 45337 103510 578717 667062 0 7333 6412 6443 1554292 2098264 4253071 33844156 39354990 172656 145359 171999 240267 49595 5423 685373 877 691490 100214 337077 123163 71264 50254 6752 687539 5479 698541 100221 337096 123189 71367 1838353 881538 5119939 679003 6201626 0 707276 805416 952853 65268790 34863894 169596252 28950771 219087088 3937686 18267316 21941451 29767230 66342 16537 313699 4838 311902 23215 96474 57378 49427 70286 26364 327871 38572 360244 23256 96532 57458 49696 2746971 2959622 7014800 9931342 16659930 0 218573 383927 674763 83491454 94511498 214087867 393254540 625536131 2310059 5339105 9851624 19297770 41398 7921 360149 3305 358564 35593 160579 65262 44876 58200 24738 398930 55057 450030 35726 161029 66460 48307 1494655 961569 3849853 2035377 5972022 0 339734 430197 600062 53715118 36755618 139376232 94548221 249997598 1971083 11694828 14859841 21715686 60418 8484 736491 2399 730303 76927 341133 154108 86704 102827 52163 838627 275224 1111260 77595 342496 157818 97044 2227794 1215103 6389839 7851673 14476628 0 753552 1012670 1139663 53637808 29919297 136021538 124328178 281946316 2566124 12417052 17642944 22174067 14598 2794 153605 1110 155170 21938 75248 23405 15836 17979 8304 163454 22910 187339 21965 75324 23576 16433 559665 439671 1506900 1955724 3627057 0 146234 153810 213369 14700366 12667577 40065921 68531560 116682214 846683 3359480 3702251 5424988 8373 1908 74330 969 77052 13053 31572 12096 8954 10425 5553 80626 40009 126510 13148 31642 12220 9276 320813 318542 903193 2238831 3234530 0 64422 79793 120692 12078594 14525588 36886613 109938076 170282356 1661773 2805283 2648689 4284898 15107 3564 220365 1640 223535 24174 130505 32247 15952 33308 25801 265947 146469 418337 24306 130850 33462 19075 604343 603366 1880635 3889704 5965174 0 265973 206752 212337 26771742 27504705 81243527 208765316 313245188 1590129 8192811 8300188 9965781 10446 2267 241196 1301 242838 33067 147651 32727 15384 18698 10352 261861 30589 298080 33229 148132 33838 17773 364808 255218 1308058 504670 1873792 0 280721 209935 200503 9887517 7453832 34700014 15188028 54095260 1283102 6568244 5086995 5300248 32770 5240 639458 2163 654464 95185 369819 95545 51261 42080 14570 661395 26597 704779 95387 370136 96315 53285 1210239 840861 4011432 2040933 6432422 0 710573 622465 680510 59211329 42538851 179576659 98099909 311238501 5328055 25468046 23292034 29179029 5785 7577 19857 6562 26873 1394 3742 841 1149 6056 8616 21223 22458 46528 1398 3758 856 1162 66261 221967 304299 2399500 2788276 0 5783 4262 7538 2982466 10857683 14980488 160668169 192378035 422066 259826 291846 435004 25657 7564 299989 2874 299367 46051 140009 48133 28724 29445 13576 310993 40141 350401 46196 140098 48418 29550 1020200 1353409 3348283 4426750 8366523 0 288323 315065 383646 22940319 26258965 73212231 90495178 183100191 2435222 6946196 7232525 9171209 10587 2606 57542 926 59611 7030 21650 8872 7291 12102 4998 61810 3092 66492 7097 21679 8954 7509 441153 452343 1092787 1231030 2431718 0 44343 58873 99857 8369404 9801711 21937245 30350120 56871035 316878 946478 1020663 1769246 45710 12990 524253 3414 524303 41283 232349 123301 64407 67729 49949 590492 59189 649846 41682 233084 125111 68724 1814647 2464278 6453555 7304840 13865014 0 520884 809813 854099 51080309 55021003 182896989 212581389 409223160 2996690 18991240 26896572 29570616 11827 2040 95786 531 96044 18851 38501 13723 10373 12846 3344 98417 4453 102786 18884 38544 13790 10539 471466 331198 1108204 475632 1640030 0 76615 91340 140896 8140139 9303707 26763528 9283266 39415855 1502707 3670983 1948730 2471708 70690 7850 416714 1556 411644 53156 130568 78391 68630 84964 32453 458206 86359 539576 53566 130813 78912 70415 2661970 1376139 5808152 3658508 9638007 0 301418 525548 938122 27788591 15143278 62030360 47564914 116924965 2044388 3477722 5052451 9119092 37883 4029 658052 1206 656875 53106 364554 131923 63084 50076 15044 686915 32453 717892 53307 365134 133331 66519 1343677 556476 4350257 688460 5151464 0 772156 856702 831257 24978506 12316490 80056170 15956690 101953241 1243961 12683478 14977318 15742982 1095 1605 3051 2282 5462 15 59 88 187 1169 2102 3631 10185 14589 17 60 94 193 11453 43196 55775 860574 959257 0 [ b] 222 689 407060 1475308 1925671 39550072 44814940 2682 ( D) 10147 27774 318 0 56803 0 98011 58130 33965 4685 997 318 0 56803 0 98011 58130 33965 4685 997 8738 0 71994 0 106329 0 [ l] 29370 12898 67477 0 1300383 0 2757234 1355277 ( D) 364824 183570 599 42 13977 43 13479 1656 6492 3058 1595 619 48 14008 247 13694 1656 6494 3062 1598 18127 2413 76062 8115 83833 0 14008 20034 20679 498513 88106 1882147 366331 2256428 47856 301220 441612 509067 69 13 2448 9 2532 899 1269 181 84 71 14 2452 13 2541 899 1269 182 84 [ g] [ g] [ i] [ g] 9986 0 2039 1168 1077 ( D) ( D) ( D) ( D) 332553 29471 54644 33323 28164 667 172 10086 67 10258 1850 5196 1523 783 734 283 10272 300 10691 1855 5198 1524 790 [ k] [ j] [ l] [ j] 98336 0 10273 9913 10334 ( D) ( D) ( D) ( D) 2223668 65750 223498 234944 245630 365 83 6622 101 6345 679 3803 904 458 482 234 6948 979 7556 679 3814 916 498 12773 11504 45215 51824 90012 0 7350 5854 5959 651692 676301 2068496 3247809 5377469 29378 216267 213914 260708 988 275 4728 197 4830 502 1388 792 739 1229 680 5397 1912 7280 502 1392 794 756 35749 30518 85720 139589 215949 0 3037 5264 10017 1277591 1268293 3204404 6808536 9625175 49146 100259 165781 339807 985 157 8191 108 7771 817 3877 1171 873 1213 317 8775 648 8863 818 3909 1233 975 37685 21839 88262 87239 150684 0 7677 7565 11352 1127866 810320 2743804 3868867 5973318 55860 205795 216146 346464 870 267 6371 232 6663 467 3337 1009 495 1393 1039 7733 8162 16578 471 3340 1014 541 38127 45337 103510 578717 667062 0 7333 6412 6443 1554292 2098264 4253071 33844156 39354990 172656 145359 171999 240267 10712 1240 214921 380 214670 34130 114638 35051 17560 10835 1623 215478 1415 216355 34131 114644 35057 17593 386185 185978 1242543 191795 1538079 0 235898 226615 233165 14082061 7780539 41685386 8592746 55883792 1279630 6344834 6292287 7428453 6696 1105 38788 274 38515 4154 13038 7048 5953 6776 1312 39098 993 39556 4154 13040 7053 5966 261575 177738 597122 206822 848373 0 28559 47163 81143 10757552 7556553 24659183 8687319 35807866 311518 1072626 1743961 3276545 32252 3198 431868 403 438685 61930 209403 81070 47767 32643 3817 432963 3071 442630 61936 209412 81079 47808 1190593 517822 3280274 280386 3815174 0 442819 531638 638545 40429177 19526802 103251683 11670706 127395430 2346538 10849856 13905203 19062232 4089 1279 22613 590 22332 2036 6868 4142 3452 4468 1963 23745 4016 26734 2039 6873 4152 3495 163083 219967 479565 984874 1464354 0 15931 27565 46557 3861894 6184392 11744027 28465111 41857959 187648 249977 437798 838198 444 144 2128 102 2281 276 681 354 296 457 192 2192 537 2789 276 681 354 298 17607 22647 48024 124868 172349 0 1545 2346 3991 465349 771027 1426761 5450724 6991562 40081 33699 53656 96190 782 386 3640 211 3767 284 1057 614 490 817 511 3804 890 4587 284 1057 615 498 35219 71532 119830 265625 362286 0 2373 4073 6490 972102 1903598 3277600 6944039 9694368 39643 61678 110093 182380 1009 288 6557 140 6753 474 2539 1287 914 1064 377 6715 381 7152 475 2540 1290 922 40839 45677 112489 104866 221971 0 5548 8562 12516 881982 996561 2416155 2664507 5313455 28877 98381 169964 268925 4079 895 16148 243 15815 2557 3907 2419 2344 4166 1174 16524 929 16721 2557 3913 2427 2348 170029 161498 394676 276565 574908 0 8694 16318 32400 2746282 3042409 6906781 5459282 11205644 189477 175778 259722 515708 319 106 1621 62 1695 190 586 261 181 326 136 1658 143 1807 191 586 261 181 13857 19690 39344 39981 73966 0 1346 1736 2416 286411 428575 825453 947611 1737933 15578 23194 30737 51865 3582 838 15581 251 15612 1243 4162 2701 2883 3749 1326 16246 1410 17473 1243 4162 2703 2896 144839 132460 344671 235663 595176 0 9370 18241 39449 3425220 3412200 8268069 7172127 16372899 119241 187074 360104 861682 1358 518 3554 251 3740 168 499 433 552 1423 795 3897 2030 5883 170 499 433 552 61391 87056 160580 407311 559020 0 1182 2975 7718 1912740 3198342 5484778 17200953 23226723 95091 37290 80156 226072 5853 1060 39871 350 38780 2238 15135 8671 5648 6128 1512 40644 1489 40671 2240 15145 8680 5683 233054 167573 575256 269808 833649 0 35058 57385 76098 7745939 5849605 18091990 9380765 27940066 171208 783201 1408829 2185766 258 130 1045 132 1144 57 245 181 152 338 335 1336 885 2226 57 245 182 156 9221 10626 23734 87266 109104 0 551 1215 1983 414996 467145 1102434 4894765 6058224 4974 24315 60966 89736 2060 783 9043 617 9557 625 2454 1606 1441 2254 1321 9785 3812 13534 629 2455 1607 1452 83015 113192 232732 667974 886354 0 5623 10787 19602 3132708 4544966 9025657 35097870 44738273 108739 185183 362276 712293 4079 1415 12901 704 13364 684 2601 1842 2094 4245 2093 13752 3000 16646 689 2601 1844 2099 177942 237167 463418 566967 1046935 0 5971 12492 29041 4952832 6709182 13041148 18522178 33350608 88129 169663 346100 822445 2709 620 11531 352 11693 765 3262 2065 1961 3363 1896 13505 2969 16541 766 3267 2073 1990 104598 94073 247840 260432 510316 0 7400 13937 26934 3340988 3087843 7821512 9769389 18272582 59210 188713 351807 817586 1218 597 3981 438 4781 536 845 590 598 1263 765 4198 1299 5900 536 847 591 599 54503 102973 170634 444543 597623 0 1918 3955 8337 1721455 3515934 5650969 19176510 24765637 91256 59532 110403 242580 13338 2645 58366 948 57910 3095 16625 11162 10607 13774 3721 59905 3561 62242 3099 16629 11164 10625 534906 396479 1195143 621080 1788484 0 38167 75304 144900 17650051 13301747 38923950 22006099 61603757 215406 1000330 2153736 4587413 6777 1856 27184 903 27381 1420 7054 4900 4808 7012 2369 27944 2885 30177 1426 7058 4903 4819 275417 281847 674456 769996 1398226 0 16294 33056 65950 10343333 10880330 25278337 31254481 55874118 161733 501222 1056075 2330703 3716 1386 14647 833 15109 1189 3781 2285 2183 3825 1734 15118 2514 17279 1190 3786 2289 2188 159421 241676 455945 1224911 1615177 0 8557 15225 29924 6028831 9634362 17881423 61803884 83841985 266355 322032 563263 1175207 1460 572 5567 410 5941 406 1427 913 825 1508 697 5748 1405 7104 407 1428 913 831 60870 87690 169739 432661 586421 0 3256 6180 11330 1990241 2741172 5488539 14741020 20599635 47052 99137 191502 372312 2618 1029 10507 623 10916 809 2746 1681 1526 2706 1256 10826 2376 13042 815 2748 1682 1530 113271 188961 340849 1570497 1906216 0 6184 11216 20850 3425014 5962440 10513017 73865719 90608982 116294 165970 293527 602900 3210 734 19449 223 19325 1513 7023 3706 2838 3316 931 19776 847 20266 1515 7028 3712 2850 133824 126214 340123 263738 623153 0 15621 24645 38439 3501767 3294601 8680777 7401514 17127833 94017 326790 535957 957890 3952 946 30079 419 30168 2650 12982 5575 3668 4084 1260 30553 1194 31470 2652 12984 5583 3684 160065 150624 425752 311716 734242 0 27984 36714 49838 4691319 4585067 12238490 11035992 24353888 170050 645946 914953 1359919 25650 4729 230109 2171 229758 22227 102597 43107 29532 37370 16306 256962 34137 290053 22314 102913 43961 31891 919478 564475 2396350 1070358 3527913 0 219471 284580 395463 35282753 22805780 91302996 55596997 158783498 1266667 7730806 10208368 14981375 16009 3399 130580 1565 129713 13366 57992 22169 15391 20830 8432 141968 20920 159977 13412 58116 22499 16416 575177 397094 1453503 965019 2444109 0 120263 145617 204599 18432365 13949838 48073236 38951224 91214100 704416 3964022 4651473 6734311 16955 2491 95747 238 95222 8463 37059 17863 12245 21414 6695 105791 17628 123855 8516 37149 18164 13214 716916 370434 1457989 299259 1803665 0 82073 117681 163702 24539010 14003614 47400032 8152358 60217423 593863 1697014 2671228 4281499 3263 421 48105 184 48010 4479 22272 11078 6142 6495 2875 55129 9316 64258 4508 22349 11354 7039 104854 45992 354352 155386 525342 0 50142 72689 80027 2753766 1227107 8376731 2901738 12407723 133386 989963 1567033 1966370 1750 201 32256 133 32113 3904 15646 7000 3434 3139 998 35206 10029 45167 3937 15704 7165 3907 54654 18380 198176 163731 384264 0 34957 45648 44205 1654571 636382 5136017 3439196 9573004 151099 700382 1009950 1147220 8153 1063 68148 313 67675 5074 25662 16079 11183 13215 5211 78591 14198 92293 5094 25703 16318 12103 275269 115669 710354 420846 1183696 0 59360 106930 147994 7681871 3368812 18425571 9351323 30179769 164372 1271207 2418904 3697584 9787 1648 111294 477 113724 15293 53973 20830 11887 12659 5812 119396 28391 151506 15358 54112 21116 12517 365144 250872 1025723 1918098 3014663 0 117404 136593 156706 4697572 3558154 13215494 30041457 45919947 379454 1465918 1593160 1852194 2945 271 43790 338 43583 3826 18422 11271 6465 5803 2089 50089 32660 82392 3972 18542 11670 7475 92593 27998 327621 612627 938245 0 42784 74652 84347 1822741 595291 6531117 9595228 17760222 168572 877555 1526842 1714445 5609 998 70186 225 68002 5399 27641 17382 10865 13461 13075 91620 32317 121095 5506 27776 17759 11962 179593 128671 640065 306398 930034 0 65474 115331 139064 2297964 1667404 8320445 4010493 12825358 153184 922567 1521980 1809509 3035 536 70186 359 68801 7135 37341 14372 6161 7520 6320 82778 69882 151674 7221 37619 14912 7436 97057 66729 424742 855649 1293439 0 81884 93191 79271 1723417 1114670 6989609 10822835 19134168 151389 1225929 1501519 1418219 2483 329 46229 168 44552 4703 23482 8970 4382 4957 2415 51865 16291 66074 4736 23569 9226 5048 81403 38172 288406 291454 589873 0 50477 58418 56625 1320331 557715 4282350 3612886 8247327 100056 700917 801090 858142 620 133 10515 122 10691 1326 5409 2045 1021 1019 634 11530 25227 38134 1364 5420 2062 1113 20901 18955 77547 2401614 2444538 0 11735 13286 13403 296062 269645 1038440 32619911 36559197 26256 143020 159555 175302 4636 736 108639 295 106594 12421 57458 21335 9735 9069 4448 119010 13559 131246 12451 57631 21870 11207 141776 60791 587407 208637 828824 0 123006 138179 124719 2295313 913513 8710356 3148170 13033156 256562 1691298 1907483 1955521 3041 620 35246 379 35752 4918 16886 6125 3811 4076 1591 37622 5726 43566 4932 16922 6202 4023 97634 72440 297457 217974 540045 0 34256 40072 49600 2555190 2006990 7595376 6632583 16089022 287931 731282 964200 1298062 302 124 2438 136 2607 414 1020 329 262 471 516 3016 2332 5285 414 1021 331 277 12009 18475 38016 522010 582838 0 1988 2173 3457 393431 651545 1314374 21276844 24414357 20692 75647 74359 111592 218 101 1341 72 1465 232 462 202 182 245 270 1541 370 1950 232 462 203 188 8569 15241 28779 43975 71844 0 960 1334 2434 324294 654759 1174424 1929327 3039510 15825 37870 49030 85792 8102 1354 96360 522 97478 14806 49849 13750 9035 9377 3385 99895 8099 108749 14818 49869 13798 9182 305938 201484 808177 518981 1384178 0 94390 90131 121913 8692147 6285740 22440003 18578634 43626168 485603 2082527 2153517 3178757 2218 434 14383 98 14202 1627 5798 2171 1787 2416 744 14917 1441 16254 1630 5801 2173 1812 89633 72334 212907 136471 370022 0 11061 14406 24598 1337175 1276590 3312941 2704646 6729332 73418 156537 182060 332072 20 14 143 74 218 16 55 21 13 55 59 228 2267 2550 16 55 21 16 710 1351 2493 46913 48149 0 106 124 178 40015 73461 136739 2711103 3032689 6600 3973 5616 9125 168 40 2252 23 2190 534 967 267 193 177 56 2282 71 2267 534 967 270 196 5978 5411 17502 5574 22877 0 1814 1763 2579 119569 115021 388077 123914 540702 18065 44067 41336 48977 2185 480 25300 286 25464 2697 11768 4928 3054 3173 2060 28394 3070 31392 2703 11812 5018 3348 78245 68464 243430 178329 440175 0 25397 32356 40430 2461018 2246619 7656621 6184854 14915625 150793 729904 930890 1227574 810 163 7559 41 7745 1170 3774 1036 749 967 406 7979 3744 11938 1170 3779 1036 764 31571 25969 81627 457940 578368 0 7128 6774 10007 590821 515165 1615723 13676533 16725960 43378 149502 142388 210342 760 284 4256 133 4496 442 1557 712 588 1098 808 5202 1516 6954 448 1558 726 650 27012 30942 73969 45531 128606 0 3390 4749 7773 741896 848677 2027019 1345705 3657871 32309 79453 123055 220757 3600 907 27233 493 26464 2660 10746 4635 3528 4048 2091 28979 4450 32377 2673 10761 4661 3577 140825 150518 397478 613632 1004697 0 22810 30603 47735 6079987 7502614 17489091 32275086 54516491 207354 792283 1061818 1888668 1115 191 18466 130 18497 4106 9057 2388 1516 1469 759 19520 3655 23102 4120 9075 2426 1585 39841 29210 120773 160940 293369 0 17071 15426 20254 1344666 1034897 5437139 4700358 10531411 559713 1199301 553774 785363 2402 556 16855 296 17628 2703 6135 2991 2527 3368 1980 19517 27723 50852 2743 6170 3034 2674 92340 93507 252505 1210196 1504242 0 12988 20068 34103 2986934 3819785 8818132 60863280 76010594 309973 416169 586084 968315 1290 334 11900 311 14851 3584 5634 2087 1390 1540 723 12610 4181 20179 3612 5636 2099 1440 47807 45307 132437 254063 432222 0 11553 13696 18600 1667007 2168292 5142251 12099352 29223860 584733 397530 447013 642552 0 0 0 12 17 4 0 1 0 0 0 0 41 46 4 0 1 0 0 0 0 21456 22329 [ a] 0 [ a] 0 0 0 0 963924 1018731 ( D) 0 ( D) 0 8650 2190 52974 747 54675 5749 22266 8555 6360 22676 20313 87370 85789 173807 5808 22365 8955 7897 365213 379923 930992 1757278 2780756 0 [ k] [ l] 86151 11766320 13415760 31535404 73507492 112584412 324303 ( D) ( D) 2783218 1882 609 40021 627 41333 7070 23737 4959 2363 2647 1469 42170 21708 66353 7089 23815 5123 2573 65199 62737 230857 493390 780061 0 44478 31638 30905 7319529 7132163 23018436 60427478 92945562 762610 2512022 2744514 3365014 4744 1016 127003 757 127411 10995 83943 18637 7232 7914 3866 135318 38340 176136 11045 84102 19271 8559 172110 155989 710417 1601977 2345952 0 171159 118512 94663 7532273 6640302 26059323 73278691 104816285 460900 4288158 3817974 3779494 55 42 954 58 1262 357 567 107 46 71 153 1089 591 1995 360 568 112 46 1821 4717 8369 15603 36076 [ a] [ g] [ f] 618 153620 316480 630364 587731 1880198 ( D) ( D) ( D) 38055 7253 1602 202783 826 205620 28448 130673 25503 11160 11895 6753 215774 11443 231337 28525 131020 26344 12794 258284 187328 988375 209157 1225995 0 244117 162796 145284 7108066 5492919 26760675 7631908 36593436 1033864 5777996 4124252 3996282 3055 617 36626 408 35392 4369 16058 6983 4070 6638 3512 44197 18912 64644 4451 16184 7240 4810 101927 63690 305441 287164 621916 0 34800 45578 53138 2564529 1755636 7253391 7094461 16041736 212262 704085 892577 1212629 147 68 1830 161 1952 250 923 245 162 165 87 1890 234 2099 253 928 254 169 4597 4200 14242 8349 25881 0 1804 1561 2081 214922 205277 685948 461659 1460088 36976 86163 70166 91337 32770 5240 639458 2163 654464 95185 369819 95545 51261 42080 14570 661395 26597 704779 95387 370136 96315 53285 1210239 840861 4011432 2040933 6432422 0 710573 622465 680510 59211329 42538851 179576659 98099909 311238501 5328055 25468046 23292034 29179029 5785 7577 19857 6562 26873 1394 3742 841 1149 6056 8616 21223 22458 46528 1398 3758 856 1162 66261 221967 304299 2399500 2788276 0 5783 4262 7538 2982466 10857683 14980488 160668169 192378035 422066 259826 291846 435004 24042 7345 285966 2796 285898 44663 134035 45563 27001 27609 13014 296347 37827 334101 44806 134122 45839 27783 959319 1320751 3199666 4287967 8079349 0 275588 298033 360422 21025156 25103924 68669163 85507355 173116039 2367419 6646107 6797883 8508087 1625 235 14050 112 13537 1388 5974 2570 1724 1836 562 14646 2314 16300 1390 5976 2579 1767 60881 32658 148617 138783 287174 0 12735 17032 23224 1915163 1155041 4543068 4987823 9984152 67803 300089 434642 663122 10587 2606 57542 926 59611 7030 21650 8872 7291 12102 4998 61810 3092 66492 7097 21679 8954 7509 441153 452343 1092787 1231030 2431718 0 44343 58873 99857 8369404 9801711 21937245 30350120 56871035 316878 946478 1020663 1769246 23845 3979 399271 1478 398121 31409 189569 102356 45272 34767 15340 427797 30599 455726 31696 190160 104025 48841 871017 629158 3186748 1295614 4466133 0 430617 668824 591849 36356653 19483828 125093204 39216771 169988142 2352549 17669251 24924494 25871779 464 1723 2401 1963 4323 125 84 38 45 477 1773 2470 4494 6969 127 84 39 45 31675 418325 450560 4560777 5000531 0 176 231 603 714715 11125819 12347076 148522036 163440600 120276 6785 14379 31460 8090 5631 31380 1069 32256 2401 7479 3864 3665 11047 16200 45093 14649 61557 2450 7498 3893 3798 395568 907025 1393791 1117413 2568012 0 16206 25885 50523 6159042 16546169 24225103 20394456 47466468 322418 246543 361243 728399 13927 3534 93734 631 93854 7352 35220 17045 15455 21438 16636 115132 9447 125594 7409 35342 17154 16040 516387 509770 1422456 331036 1830338 0 73885 114873 211124 7849899 7865187 21231606 4448126 28327950 201447 1068661 1596456 2938978 1766 512 32122 138 32397 7972 16346 3518 1977 1863 616 32398 372 32906 7987 16367 3539 2005 71282 91225 240651 71431 330381 0 29751 22985 26578 2347051 5537307 13320225 2483609 17380510 1092719 2692940 852186 826833 641 189 5255 29 5309 417 2535 846 593 738 366 5569 113 5714 417 2537 853 622 26312 33721 78385 18127 104607 0 5163 5560 8027 528668 774629 1623080 463248 2321151 7204 88512 96562 144149 9437 1349 58440 403 58409 10463 19620 9362 7805 10245 2362 60450 3968 64166 10480 19640 9398 7912 373872 206252 789168 386074 1205042 0 41701 62795 106291 5264420 2991771 11820223 6336409 19714194 402784 889531 999982 1500726 7583 1621 49152 547 49152 7362 17243 7210 7635 8612 2826 51666 7665 59278 7374 17273 7271 7840 284637 265066 734473 973555 1737734 0 35593 48126 104693 3589074 4072082 10408691 19629323 32200402 317569 580828 629250 1250890 63255 6352 367883 1109 362890 45797 113331 71190 61022 76352 29627 406540 78694 480298 46192 113540 71641 62575 2377333 1111073 5073679 2684953 7900273 0 265825 477422 833429 24199517 11071196 51621669 27935591 84724563 1726819 2896894 4423201 7868202 8277 990 219772 525 216535 20525 125183 42810 18142 12111 4134 228459 10281 234555 20622 125320 43187 19264 260920 91188 1128854 174254 1318467 0 266265 276338 234865 6638222 2586469 27170618 5646256 34369540 550894 5362209 6508036 6177022 7390 740 160161 201 159903 18884 87810 30010 14759 13627 6227 175155 19297 195107 18975 88229 30901 16642 255520 114974 945657 302194 1261383 0 182511 195026 193701 4449559 2027406 14972340 5558924 21587374 387896 2483028 2868585 3124178 22253 2319 278201 508 280545 13698 151563 59111 30197 24338 4683 283301 2875 288230 13710 151585 59243 30613 827237 350314 2275746 212012 2571614 0 323380 385338 402691 13890725 7702615 37913212 4751510 45996327 305171 4838241 5600697 6441782 22 4 337 21 381 81 180 51 23 24 6 342 76 431 81 181 51 24 [ f] [ e] [ g] [ g] 3258 0 353 329 281 ( D) ( D) ( D) ( D) 121920 2133 8612 9447 10023 8 3 145 7 185 53 76 26 11 8 3 145 76 252 53 76 26 11 [ e] [ b] [ f] [ f] 1380 0 163 170 156 ( D) ( D) ( D) ( D) 49617 1533 3877 4176 2942 570 35 13496 34 12931 1522 6237 2981 1561 587 39 13521 95 13011 1522 6237 2985 1563 17211 2077 73463 5901 79195 0 13492 19535 20242 472853 78669 1808187 262004 2084891 44190 288731 427989 496102 56 10 2104 8 2174 815 1085 134 62 58 11 2108 12 2181 815 1085 135 62 1904 [ f] [ i] [ g] 7611 0 1719 850 790 62214 ( D) ( D) ( D) 263683 27933 48801 28020 22545 13 3 344 1 360 84 184 47 22 13 3 344 1 360 84 184 47 22 [ e] [ f] [ g] [ a] 2375 0 320 318 287 ( D) ( D) ( D) ( D) 68870 1538 5843 5303 5619 446 136 5482 50 5582 1063 2520 875 483 489 202 5599 273 5929 1068 2522 876 490 17518 19201 53981 10587 67441 0 5205 5718 6350 367025 345403 1188455 318450 1577196 43151 129525 154840 165794 110 21 3191 7 3222 494 1936 466 196 115 57 3232 14 3269 494 1936 466 196 3880 [ g] [ j] [ f] 16747 0 3631 3031 2587 78315 ( D) ( D) ( D) 326691 14518 55695 49935 45814 111 15 1413 11 1456 293 740 182 104 130 24 1441 13 1493 293 740 182 104 [ h] [ g] [ j] [ h] 14148 0 1437 1164 1397 ( D) ( D) ( D) ( D) 319781 8081 38278 30169 34022 365 83 6622 101 6345 679 3803 904 458 482 234 6948 979 7556 679 3814 916 498 12773 11504 45215 51824 90012 0 7350 5854 5959 651692 676301 2068496 3247809 5377469 29378 216267 213914 260708 317 71 974 48 948 92 181 118 147 345 129 1064 378 1336 92 183 118 147 13022 11050 27638 53634 76381 0 399 782 2027 457117 476258 1057005 2931672 3697834 22611 14086 23240 58631 33 23 377 34 409 92 151 51 35 42 48 413 123 529 92 151 51 37 1349 3769 6230 37673 39928 0 298 319 454 55263 157246 260007 1778188 1844895 3532 11674 14173 19461 640 188 3386 134 3501 318 1056 623 557 842 503 3920 1411 5415 318 1058 625 572 21378 15699 51852 48282 99640 0 2340 4163 7536 765211 634789 1887392 2098676 4082446 23003 74499 128368 261715 985 157 8191 108 7771 817 3877 1171 873 1213 317 8775 648 8863 818 3909 1233 975 37685 21839 88262 87239 150684 0 7677 7565 11352 1127866 810320 2743804 3868867 5973318 55860 205795 216146 346464 687 200 1520 146 1682 94 271 132 163 1101 749 2505 5800 8811 98 273 134 177 32231 35244 71149 475547 533214 0 577 855 2308 1325023 1651816 3158911 28488417 32442619 151568 26878 37710 104619 55 36 526 104 610 47 222 98 62 101 154 707 2016 2851 47 222 100 70 1890 5620 9477 90485 96953 0 464 660 773 99422 241408 466639 4815586 5657570 10866 19833 27523 36962 128 39 4334 54 4452 326 2844 779 271 191 136 4521 346 4916 326 2845 780 294 4006 4473 22884 12685 36895 0 6292 4897 3362 129847 205040 627521 540153 1254801 10222 98648 106766 98686 388 95 11101 91 12189 3071 6224 1442 744 413 138 11179 190 12383 3072 6226 1443 750 13051 9385 50019 6307 68024 0 11962 9235 9842 461744 346824 1943829 318996 2814520 172339 437132 343608 354722 3976 330 160957 111 159525 26190 92574 25576 10215 4007 475 161149 503 160178 26190 92576 25577 10229 133929 45405 644890 43605 741588 0 189379 163911 133330 4232614 1745098 18389421 1956265 23225796 848303 4774735 4144357 3741959 6363 845 42918 232 43058 4869 15841 8035 6605 6415 1010 43150 722 43794 4869 15842 8037 6614 239205 131188 547634 141883 728467 0 34557 53469 89993 9387703 5688617 21352136 6317485 29843476 258988 1132967 1804322 3331772 2385 489 11659 89 11457 1354 3240 1962 1832 2414 573 11781 412 11911 1354 3242 1962 1837 96692 76315 220054 47088 284368 0 7205 13327 25119 4315729 3597181 10285198 2240564 13469410 96812 381461 608089 1216038 4317 634 27153 213 27112 2800 9798 5087 4122 4362 739 27317 581 27645 2800 9798 5091 4129 164883 101423 377068 159734 564005 0 21354 33836 56024 6441823 3959372 14373985 6446755 22338456 214706 691165 1135872 2060507 7343 703 87546 107 88195 9037 41718 17549 11196 7415 809 87737 805 89125 9042 41719 17551 11206 269298 114766 733563 83734 862013 0 89977 115345 149653 9915896 4760536 24763099 3748498 31044940 346678 2236736 3202938 4822837 1681 88 39420 9 39728 7104 21221 6324 3186 1692 104 39449 26 39767 7104 21221 6324 3187 59649 13564 194391 4409 212050 0 43066 41120 42210 1772168 442661 5129233 98443 5684254 171999 933652 930600 1064253 6214 769 64973 120 65567 6732 29974 12975 8252 6271 916 65193 510 66220 6732 29978 12977 8260 233620 128970 617619 74984 742538 0 64771 85353 111084 8779206 5454176 21868700 3476473 28361458 362116 1673032 2431662 3646996 4871 543 52141 59 52303 7213 23998 9570 5818 4904 622 52256 288 52704 7213 23998 9572 5820 187678 89261 466066 31534 538933 0 51315 63021 78261 5656680 2906174 13380978 1027882 15995317 271932 1221035 1490228 2121069 2197 241 57070 31 57525 8857 32533 9246 4173 2229 283 57147 206 57801 8858 32533 9247 4177 79281 [ k] [ m] [ j] 327772 0 65274 59685 55271 2409075 ( D) ( D) ( D) 9104443 267582 1394779 1404254 1479248 2657 209 30858 19 30665 4402 14353 5555 3349 2692 257 30950 30 30767 4402 14354 5555 3349 99188 29475 239778 6700 257629 0 30195 36524 44938 3063448 997789 6863714 223656 7614393 135528 692200 873856 1216176 2390 222 29441 33 29763 5327 11690 6131 3690 2399 242 29472 103 29870 5327 11690 6132 3691 85766 34136 232915 11638 269232 0 26263 40474 49050 2717258 1174471 7305688 414186 8718107 250685 832359 1105339 1392816 124 8 3753 3 3718 310 2095 863 299 131 18 3771 59 3789 310 2095 863 299 3720 [ f] [ j] [ g] 20494 0 4569 5623 3897 137384 ( D) ( D) ( D) 636779 10236 106840 151414 121709 4813 487 66781 113 71434 12948 31822 12857 7809 4910 566 66988 1044 72587 12948 31824 12858 7819 172393 68122 484192 55326 584513 0 67389 84493 104181 5978062 2601200 15638005 2315552 20235739 529782 1759223 2314912 3197128 236 67 1016 67 1106 75 239 223 193 272 165 1151 561 1711 75 239 223 196 8445 7265 20507 28577 50384 0 572 1473 2555 261762 236074 632614 987444 1724796 9647 11647 35257 74756 108 57 473 61 544 35 123 90 63 121 99 528 362 897 35 123 90 63 4313 8623 14702 44596 60672 0 299 599 885 132587 295716 476255 1893973 2431798 2404 6440 12786 24142 252 99 1574 45 1541 124 466 305 254 289 131 1661 154 1735 125 467 306 267 9543 18828 35106 51185 85230 0 1077 2048 3313 206108 530483 833173 1882444 2767259 3718 13798 25839 43359 335 181 1285 116 1398 122 298 193 174 343 250 1363 445 1805 122 299 194 174 14776 34308 53508 116969 171503 0 658 1302 2415 422231 959933 1492355 3551222 5248746 24986 12223 28027 58226 325 138 1198 110 1272 105 241 180 184 344 183 1263 576 1806 105 241 180 185 13849 22108 40352 91129 132111 0 550 1190 2532 376123 713779 1211862 3094016 4555632 16579 10703 23565 66977 602 257 3361 151 3503 312 1078 619 482 628 326 3457 687 4129 312 1078 619 483 25985 47361 86861 382068 483137 0 2522 4071 6470 666426 1231658 2162396 8551124 11431098 43655 39101 63664 128856 193 61 685 33 729 84 153 110 94 210 90 731 108 842 84 153 110 94 8758 9953 21060 22749 42534 0 342 734 1234 189777 232932 499044 457356 988801 7414 14924 17732 30142 1456 289 10781 156 10075 947 3675 2055 1638 1631 429 11141 697 10876 949 3678 2063 1659 52085 40103 141428 162621 287277 0 8524 13687 21990 899354 1077218 2597995 5313545 7936750 51191 109762 180386 285597 602 212 2344 151 2556 232 595 367 374 630 290 2450 426 2933 232 595 367 374 25329 31418 66041 84980 151506 0 1387 2461 5163 707526 906599 1838333 2733987 4773079 28054 31379 50542 126143 424 134 2048 89 2196 265 659 347 291 437 180 2110 491 2671 265 659 347 293 16630 21306 45505 94751 142139 0 1493 2302 3927 425831 729801 1342706 4001220 5478404 39137 32661 52928 95290 20 10 80 15 87 11 22 7 5 20 12 82 46 118 11 22 7 5 977 1341 2519 30117 30210 0 52 44 64 39518 41226 84055 1449504 1513158 944 1038 728 900 83 57 299 60 373 34 63 51 35 85 73 317 286 613 34 63 51 35 3855 11453 16236 68629 81028 0 150 370 485 106824 274356 403929 1659088 1953154 5165 4452 7949 9919 349 186 1615 151 1740 105 455 251 248 359 237 1676 424 2072 105 455 251 248 15580 33057 54729 153300 199782 0 1011 1674 3278 383564 861841 1413170 4129577 5361165 18218 23322 37678 76791 358 164 1755 90 1771 145 539 312 208 373 201 1811 180 1902 145 539 313 215 15784 27022 48865 43696 81476 0 1212 2029 2727 481714 767401 1460501 1155374 2380049 16260 33904 64466 95670 337 132 2909 61 2864 196 1316 543 261 372 181 3007 209 3105 197 1317 546 269 14075 24325 48649 74635 123376 0 2781 3524 3551 293270 516087 1004078 1888966 2989174 15288 46927 65225 76112 673 160 3653 90 3907 278 1223 744 653 692 196 3708 172 4047 278 1223 744 653 26764 21352 63840 30231 98595 0 2767 5038 8965 588712 480474 1412077 775541 2324281 13589 51454 104739 192813 379 120 1141 47 1127 102 231 128 168 385 145 1173 119 1230 102 232 128 169 16611 23044 43665 50363 88154 0 530 874 2333 300741 422913 821945 1086040 1865251 12431 12338 18772 50232 3312 687 12695 190 12425 2145 2788 1942 1916 3368 882 12948 737 13100 2145 2791 1950 1917 137175 123763 312338 208003 436374 0 6307 13159 26548 2139398 2335723 5345436 3976294 8290488 155832 131243 202406 404379 392 101 2331 42 2305 310 888 349 260 413 147 2403 73 2391 310 890 349 262 16243 14691 38673 18199 50380 0 1857 2285 3519 306143 283773 739400 396948 1049905 21214 32197 38544 61097 55 13 274 16 329 41 103 50 42 57 14 277 38 354 41 103 50 42 2499 1719 5209 8218 14891 0 235 324 537 63787 48794 134987 249211 426501 7564 4558 7317 14684 71 44 331 31 351 38 108 37 30 72 51 339 78 400 38 108 37 30 3298 8801 13146 25061 33648 0 246 238 405 62817 178078 261577 512871 726291 3868 4909 4668 9158 193 52 1019 23 1026 111 375 174 109 197 71 1042 27 1053 112 375 174 109 8060 9170 20989 6702 25427 0 865 1174 1474 159807 201703 428889 185529 585141 4146 13727 18752 28023 973 236 4315 75 4361 323 1123 823 837 1017 381 4505 354 4839 323 1123 823 840 39527 34450 93330 37043 131916 0 2549 5574 11469 963097 986274 2329617 1232402 3750507 51378 44474 98581 231590 520 181 1448 73 1496 85 197 172 260 531 245 1526 367 1886 85 197 173 261 22793 26886 55208 58210 117542 0 456 1180 3634 597548 730689 1469750 1889093 3625681 9852 12743 26712 87910 2113 485 9907 182 9917 835 2842 1706 1788 2201 700 10215 689 10748 835 2842 1707 1795 82519 71124 196133 140410 345718 0 6365 11487 24346 1864575 1695237 4468702 4050632 8996711 58011 129857 234811 542182 44 74 164 90 267 17 22 11 9 44 86 176 405 592 17 22 11 9 2336 14126 16636 171005 185198 0 46 81 130 97738 664747 770098 8745024 9742648 2535 1334 2435 4293 1317 459 3408 223 3556 151 477 422 543 1379 709 3721 1625 5291 153 477 422 543 59055 72930 143944 236306 373822 0 1136 2894 7588 1815002 2533595 4714680 8455929 13484075 92556 35956 77721 221779 5853 1060 39871 350 38780 2238 15135 8671 5648 6128 1512 40644 1489 40671 2240 15145 8680 5683 233054 167573 575256 269808 833649 0 35058 57385 76098 7745939 5849605 18091990 9380765 27940066 171208 783201 1408829 2185766 258 130 1045 132 1144 57 245 181 152 338 335 1336 885 2226 57 245 182 156 9221 10626 23734 87266 109104 0 551 1215 1983 414996 467145 1102434 4894765 6058224 4974 24315 60966 89736 267 145 994 222 1182 66 220 136 144 297 240 1121 1342 2442 66 220 136 147 10330 17405 30901 175962 196954 0 513 898 1950 451635 883060 1481538 9620986 10773332 3154 19158 33481 85028 127 56 374 118 516 49 74 43 60 130 85 406 414 851 49 74 43 60 5486 7773 14417 99780 113667 0 163 281 794 204720 302069 552538 5042948 5802492 7663 3875 9879 27367 126 54 656 65 700 46 202 130 80 137 97 710 238 940 48 202 130 80 4550 5724 12896 25356 37349 0 474 871 1065 134815 209712 435298 1245264 1687815 4868 13233 27718 33140 328 157 1332 135 1481 82 364 217 189 339 201 1388 424 1830 82 364 217 190 14505 25578 44883 172228 218804 0 817 1464 2560 568405 1115363 1893168 10697208 13009695 34797 34149 57411 99530 339 109 1546 102 1651 93 434 282 289 383 196 1677 433 2119 95 434 282 289 12978 13651 33688 41215 75082 0 1008 1847 3870 490343 535158 1273983 1823122 3215611 17588 33014 62412 136607 416 147 2163 136 2231 142 661 425 332 442 196 2239 289 2462 142 661 426 333 16705 25008 50521 77675 125204 0 1509 2874 4550 608799 808896 1709733 3200448 4903968 14485 44418 87241 153104 483 164 2055 195 2223 147 499 373 350 526 306 2244 672 2890 147 500 373 353 18461 18053 45426 75758 119294 0 1139 2552 4813 673991 690708 1679399 3467894 5345360 26184 37336 84134 177517 3541 1219 10843 610 11291 581 2053 1548 1773 3664 1762 11511 2455 13892 586 2053 1549 1776 156983 205142 402530 421325 838372 0 4745 10506 24679 4338252 5787979 11302540 13165032 25866543 78888 140988 296812 702117 541 216 2082 161 2169 103 548 294 321 581 331 2241 545 2754 103 548 295 323 20959 32025 60888 145642 208563 0 1226 1986 4362 614580 921203 1738608 5357146 7484065 9241 28675 49288 120328 293 114 1600 82 1651 130 592 264 168 302 161 1658 282 1910 130 594 264 168 12784 18098 36279 40986 75672 0 1223 1748 2322 336421 489415 937054 1345207 2345990 6898 21207 34034 53603 281 83 1881 95 2074 217 813 367 233 290 103 1910 348 2370 217 813 367 235 11403 13157 31589 103037 129810 0 1792 2421 3176 307848 369785 855320 3887880 4763912 17179 39882 55471 83818 1620 309 5709 117 5725 271 1266 994 1130 2193 1369 7381 1809 9308 272 1269 1000 1155 60671 45381 132137 63217 206235 0 2966 6781 15522 2100425 1651230 4561344 2375815 7546304 21779 90408 186209 507463 45 17 206 27 218 9 55 35 32 50 34 228 144 364 9 55 35 32 1612 2641 5109 14469 20313 0 106 236 449 47156 96490 165461 584751 793620 266 2308 5828 12216 488 117 2173 115 2145 138 536 405 398 528 229 2328 386 2589 138 536 407 400 18128 14796 42726 38723 78286 0 1313 2751 5465 549138 480923 1302333 1575736 2822756 13088 34908 70265 160486 34 44 237 81 601 247 96 43 36 35 48 242 168 702 247 96 43 36 1420 8224 10155 138814 144194 0 211 284 529 56361 386478 467028 7248769 7542991 50079 8088 8300 15905 125 104 473 90 613 76 95 65 53 135 146 526 243 824 76 95 65 53 5790 16818 23827 42006 64799 0 220 446 708 201481 592778 846739 1596347 2471127 13985 7708 12988 23967 87 59 312 74 408 37 70 41 45 88 75 329 222 573 37 70 41 46 3779 9590 14307 71057 85636 0 168 269 606 135379 334662 499638 2938616 3447399 4546 4992 7895 17294 183 87 647 110 767 52 157 106 86 198 111 687 254 958 52 158 106 86 8262 12074 22422 61228 79290 0 338 696 1166 300981 464946 834070 2452366 3189006 4349 11876 22335 42130 791 324 2335 173 2513 124 427 335 378 807 385 2414 412 2843 124 428 336 378 35252 56267 99923 131438 223704 0 981 2260 5328 1027253 1737070 3003494 4940412 8115114 18297 26868 58885 143284 995 351 2857 189 3039 113 484 415 513 1015 424 2950 335 3297 113 484 415 513 43221 54260 108639 57455 166422 0 1120 2831 7146 1460920 1918749 3769764 2143767 6059584 8514 34922 94057 244897 341 112 1478 74 1534 92 403 281 232 360 148 1533 167 1687 92 403 281 232 13625 15848 35609 43796 79988 0 921 1855 3158 447996 536820 1161577 1495802 2697225 7590 23358 52308 96036 3241 636 11393 262 11351 467 2515 2048 2197 3326 845 11693 799 12249 467 2516 2050 2202 131508 88128 271069 119530 404156 0 5986 13840 30407 4359898 2813754 8806030 3823974 13364260 32865 159166 403936 986420 485 163 1400 105 1468 58 266 188 215 499 205 1456 400 1805 58 266 188 215 20552 20631 46161 54315 95093 0 618 1302 2859 690570 723305 1570587 2180954 3617821 5661 18167 36001 87673 233 94 819 75 877 46 197 119 121 235 109 836 156 981 46 197 119 121 10116 12871 26019 47143 73601 0 475 795 1641 307139 401418 792799 1548791 2431543 10423 12212 21091 48656 421 137 1619 78 1682 81 413 265 288 439 200 1700 188 1877 81 413 265 290 18685 20599 46031 25463 70823 0 936 1802 4010 550896 638778 1386648 714004 2149590 18952 25430 48196 117242 4746 642 27078 200 26403 1470 9216 5631 4817 4827 803 27324 366 26858 1470 9218 5631 4822 179810 85952 393123 49408 420646 0 20942 37885 65084 6238613 3018804 13023143 1917507 14721239 71383 529872 1069125 2090496 1613 304 5742 140 5724 246 1367 1019 1125 1700 499 6031 370 6278 246 1368 1019 1125 64456 40188 130528 28573 155081 0 3198 6916 15498 1866058 1247258 3844807 944876 4864728 15883 86930 196097 450953 1340 412 6272 301 6614 524 1764 1196 1103 1373 488 6382 780 7210 526 1764 1196 1105 52933 58002 137964 195397 322674 0 3971 8078 15097 1727961 2002861 4568595 7236424 11697767 44135 110273 232925 465040 705 235 2715 156 2781 163 638 462 474 725 286 2786 395 3110 163 638 462 475 29723 35962 76974 143964 207328 0 1481 3084 6467 949853 1181158 2445109 5712854 7597656 17770 36757 80119 181903 1085 343 4179 204 4410 301 1093 684 739 1119 403 4278 371 4674 302 1093 686 740 44454 49937 111685 86211 181012 0 2540 4559 10219 1678249 2137214 4442324 4025820 8217769 56217 78299 148217 360448 561 185 2281 155 2399 140 683 368 327 577 218 2330 248 2550 140 685 368 328 22805 25340 56909 71670 130751 0 1559 2456 4467 805715 931501 2051247 2952527 5121364 17754 50106 79118 155152 397 167 1415 143 1495 73 300 233 204 411 207 1470 398 1819 73 300 234 204 17104 26011 48293 122570 177520 0 690 1612 2757 543642 853911 1564214 4055787 5932320 3752 20942 42072 87386 2290 431 9944 197 9776 398 2705 1970 1920 2356 537 10119 420 10168 401 2705 1970 1923 88695 58365 194044 61307 239484 0 6247 13353 26220 3660476 2466670 7828826 2682635 10034737 37075 194863 458991 995850 210 78 705 96 815 35 168 101 129 217 98 732 228 971 35 168 101 129 8349 11469 22555 90371 112560 0 366 689 1810 314809 438037 850438 3959034 4958749 3823 13351 21919 60518 1562 504 6065 318 6195 311 1469 1082 1015 1607 620 6229 825 6885 312 1469 1082 1020 64287 74763 163996 193903 349571 0 3411 7303 14010 2390589 2871839 6096179 7865824 14011523 25342 106904 225639 489446 357 133 1797 141 1922 253 512 283 264 370 136 1813 237 2042 253 514 284 264 14243 20793 41785 201379 224815 0 1155 1853 3563 636739 913480 1874368 10754080 12340294 22485 47814 70812 158153 503 225 1882 200 2021 144 443 275 267 514 270 1939 388 2266 144 443 275 267 21442 36900 65084 211845 270392 0 1008 1856 3617 1008462 1736216 3052614 13097151 17225663 62998 42076 68935 155456 97 45 506 25 506 57 143 79 74 101 54 519 53 539 57 143 79 74 4145 7597 13589 19240 28188 0 325 540 1034 120742 238929 415888 603201 977934 12339 9397 15830 33809 1516 594 5194 357 5458 351 1189 783 769 1556 711 5355 889 6181 352 1189 785 771 67741 106397 192844 395195 562211 0 2645 5262 10637 2135918 3713790 6540025 17041312 25696028 73543 98123 188476 374443 1133 387 4560 347 4709 276 1229 739 698 1155 475 4675 866 5351 276 1231 740 700 46979 59460 124236 364546 482482 0 2829 4895 9600 1952757 2628528 5303176 19078778 25793672 72642 102612 191252 386725 125 63 784 40 835 108 266 126 111 129 88 817 81 900 108 266 126 112 4871 10529 18407 32706 47089 0 595 819 1473 174213 403419 695352 1229362 1808394 22348 22010 27958 66621 308 111 1193 45 1218 86 308 189 182 314 128 1216 139 1333 86 308 189 182 12902 17608 35152 39382 74351 0 684 1304 2537 366090 522033 1020059 1279231 2370483 13530 17424 33775 66226 49 24 228 62 305 30 77 31 35 49 27 232 138 381 30 78 31 35 2286 4631 7756 95028 99833 0 169 212 485 58093 139909 288998 2952906 3149107 1849 3972 5660 14791 559 199 2336 176 2438 118 617 434 355 580 250 2411 553 2882 118 617 434 359 22238 28874 60807 149459 200255 0 1458 2932 4817 790120 950892 2069554 5142456 7206029 11721 45465 97524 177188 554 245 1829 215 2084 172 425 259 255 565 292 1889 575 2508 173 425 259 255 23444 36577 66024 148792 211982 0 945 1732 3491 775938 1128338 2109928 5366427 7874016 19952 32276 54543 114107 50 20 305 37 352 48 114 43 43 51 21 308 103 418 48 114 43 43 2349 3438 6786 228697 233917 0 238 279 574 69780 117710 216400 12800754 15105608 6231 5409 6547 15620 517 155 1838 81 1893 136 397 305 302 530 190 1886 230 2103 136 397 305 302 22005 27367 56571 72116 141610 0 899 2050 4132 596757 818472 1588470 2227528 4346749 29319 20066 46828 102996 1122 542 4400 371 4637 241 1165 677 570 1166 669 4573 1360 5816 246 1167 678 572 48434 103258 166849 634612 794523 0 2667 4495 7821 1437882 3125012 5000469 27723871 35429395 34911 73472 121220 228512 372 132 1405 116 1516 111 350 233 217 379 149 1429 398 1845 112 350 233 217 16112 21851 43284 475597 509571 0 788 1553 2950 610773 888506 1703986 25168808 27718051 23314 27651 50447 98156 49 26 147 29 174 11 23 17 26 52 34 158 79 241 11 23 17 26 2111 3648 6208 31468 38815 0 54 118 352 77741 138741 231856 1290377 1612483 1036 1598 3557 13971 352 124 1671 56 1664 179 481 268 249 356 145 1697 138 1779 179 481 268 251 15612 23223 45274 97410 145065 0 1052 1798 3396 429990 700790 1312224 3449628 4804405 16151 27118 43289 100174 160 45 760 40 803 83 216 138 119 172 48 775 68 840 83 216 138 119 6648 6176 15877 30597 42715 0 486 923 1625 202091 173209 459612 1204753 1592291 5332 10656 21639 43471 1806 444 14528 146 14423 1233 5861 2860 1993 1884 538 14722 529 14977 1233 5865 2866 2004 73560 79070 212068 174250 403601 0 12912 18963 26848 1748030 1936194 5023690 4328995 10124265 71243 259430 400063 636707 1141 249 3920 83 3928 225 870 668 701 1158 299 3988 218 4141 225 870 668 702 48584 37271 102495 70618 174589 0 2023 4500 9683 1461471 1100143 3021093 2561247 5769328 15196 51872 113514 279257 266 64 1027 21 1028 55 292 178 144 274 94 1066 100 1148 57 293 178 144 11680 9873 25560 18870 44963 0 686 1182 1908 292266 258264 635994 511272 1234240 7578 15488 22380 41926 1175 288 11660 180 11662 784 5787 2185 1251 1228 423 11858 616 12327 784 5787 2189 1257 47090 44310 135141 160782 302227 0 12274 14230 16755 1585524 1572451 4397998 6432805 11570561 61634 311371 392827 520941 2777 663 18424 254 18528 1866 7195 3390 2417 2856 837 18695 578 19143 1868 7197 3394 2427 112975 106314 290611 150934 432015 0 15710 22484 33083 3105795 3012616 7840492 4603187 12783327 108416 334575 522126 838978 2666 584 23369 286 23156 2028 10371 4397 2808 3802 1702 25890 2821 28328 2038 10392 4449 2983 95968 67239 253729 130476 391849 0 22221 28956 36856 3044995 2184684 7766025 4891764 13568355 104165 593492 808828 1060302 1436 290 13526 126 13639 1449 6658 2197 1472 1851 568 14334 687 15008 1449 6671 2224 1541 51641 34470 134021 23194 161687 0 13652 14411 19614 1796437 1263348 4712214 1012296 6123814 63974 487138 484212 676295 1312 392 11107 232 11629 1349 4857 2010 1363 1650 1189 12342 2222 14901 1351 4868 2033 1429 43435 31343 115084 42500 169013 0 10304 13243 18218 1519080 1116089 4069703 1718816 6502996 88043 378762 460887 655461 4131 776 36572 516 36503 3920 15741 6722 4659 5444 2155 39626 6055 45157 3929 15785 6813 4892 152412 97974 392627 334156 751200 0 33662 44460 62345 6582426 4856228 16969445 21140657 41807488 318845 1256916 1679686 2564788 1355 349 9513 227 9534 736 3973 1713 1255 1830 1013 10763 1710 12326 742 3985 1746 1315 48699 35635 121373 49555 169728 0 8475 11293 16687 1917553 1405923 4902613 2130779 7152802 46516 386162 487195 693678 2994 592 27191 420 27093 2376 11657 5387 3724 4484 1740 30543 8103 38512 2389 11711 5610 4142 106186 62985 281010 218816 507297 0 25681 35585 49946 4666154 2826161 12357227 12978172 29223491 161828 1042741 1513465 2310537 1928 364 14864 205 14716 973 6073 3013 2224 3300 1756 17966 3498 21472 974 6105 3084 2439 68242 41756 173320 52082 237954 0 13418 19902 29718 2678806 1536167 6644819 2088420 9550548 44036 486422 764031 1185925 7181 1280 59158 645 58621 4302 25005 11841 8552 11401 5223 68490 7592 75423 4336 25087 12082 9422 247745 140010 640852 157526 803332 0 54654 78604 114751 9781730 5749681 24854467 7191555 33161822 235003 1979115 2828589 4337355 2991 471 35619 267 36391 5096 18276 5851 3537 3608 960 37008 1449 38926 5106 18309 5920 3728 105150 53063 284334 62053 335853 0 37404 38126 47328 3295572 1867499 9026483 2444538 11692182 204257 1120058 1181475 1497034 1345 241 12128 147 11957 850 5632 2222 1505 1735 756 13186 2686 15368 853 5641 2251 1605 48008 24921 121383 106138 228588 0 11902 14667 20186 1795712 1109075 4682963 3621426 8331851 51208 439522 526494 766854 706 194 6210 172 6115 671 2757 975 651 785 349 6469 1655 7510 672 2758 981 664 26407 25298 73288 121576 199759 0 5655 6409 8606 1007456 1088959 2932772 6387349 10054870 57924 218172 236311 355451 1700 371 19133 206 18998 2459 9486 3030 1816 1973 710 19835 826 20284 2472 9500 3054 1868 60870 40873 166366 42935 208649 0 19414 19735 24036 2197449 1587252 6029531 2236109 8360952 129899 669763 656094 834994 4619 971 34343 453 33829 3192 14413 5838 4396 5236 1839 36064 5384 40568 3201 14437 5896 4557 177279 132814 441175 414601 876175 0 29972 38565 59455 5284383 4144373 13398502 14926976 30070803 175672 919279 1194773 1801922 1193 126 6766 69 6606 523 2343 1373 1016 2175 719 8677 1367 9760 527 2356 1446 1260 39253 10357 79012 16382 92219 0 5298 9040 13354 770851 314007 1799282 577847 2395925 23952 142241 230056 297853 1186 260 11339 279 11310 895 5441 1905 1347 1722 865 12650 3140 15410 900 5462 1945 1451 39246 19979 101881 62546 159824 0 11279 12430 18023 1675937 808430 4335745 3224839 7697921 56030 504034 528212 800066 1680 449 7685 182 7685 351 2280 1518 1266 2271 907 8936 2315 11160 353 2291 1565 1395 44190 24330 100445 33619 134052 0 5210 9994 15640 1321174 774581 3088929 1668574 4918105 19940 161465 301527 504372 1144 306 3782 55 3789 266 976 493 584 1355 603 4340 455 4720 272 981 497 611 49843 51475 115338 35670 152969 0 2097 3330 8114 1809803 2054809 4337771 1602363 6329881 32199 69395 105005 290011 2652 660 29640 383 30217 4159 14665 4826 2850 3578 1684 31811 3092 35197 4162 14690 4864 3005 90081 67047 254615 131552 391874 0 29436 31447 37185 2569600 2068352 7467741 4705741 13053792 157592 840151 873001 1082788 13064 2043 46523 116 46573 4478 16815 5594 4650 13938 3162 48699 1194 50115 4505 16835 5644 4765 592379 319327 1050595 100802 1175181 0 35016 36616 64714 21159597 12576202 37434354 4001196 45181287 452303 761974 905014 1854664 1129 77 12965 16 13118 1405 5194 2978 2196 1437 195 13544 330 14081 1406 5202 3008 2301 34750 7450 102367 4706 114827 0 11737 19668 29195 1102094 249901 2875651 94832 3394498 60078 265630 476272 827002 2807 405 36352 122 35636 2580 15052 9296 5403 6039 3338 43548 16104 59659 2605 15112 9512 6148 89787 43657 305027 193751 513657 0 35320 61397 69793 2277319 1177511 7090027 4056330 11641638 81482 669410 1289942 1599833 1903 262 21632 96 21591 1848 8781 5271 3331 3721 1782 25725 3998 29574 1869 8828 5429 3829 61541 31970 192679 74362 270455 0 20298 34920 43594 1615844 913043 4682354 1713518 6966887 62571 402672 745964 1054681 1389 167 26529 100 26484 2631 13493 5810 2827 2774 1093 29404 5318 34684 2639 13521 5925 3210 43313 14022 161673 81024 254887 0 29844 37769 36433 1137922 314064 3694377 1188220 5440836 70815 587291 821069 911689 1750 201 32256 133 32113 3904 15646 7000 3434 3139 998 35206 10029 45167 3937 15704 7165 3907 54654 18380 198176 163731 384264 0 34957 45648 44205 1654571 636382 5136017 3439196 9573004 151099 700382 1009950 1147220 6565 865 50756 255 50487 3414 18407 12159 8734 10704 4425 59391 12115 71238 3430 18436 12326 9442 225608 100055 570677 392897 1012190 0 42930 80959 116183 6589892 3004105 15429783 8826901 26376156 119018 956481 1899218 2990309 1631 213 17457 63 17253 1660 7255 3920 2455 2511 786 19200 2083 21055 1664 7267 3992 2661 49661 15614 139677 27949 171506 0 16430 25971 31811 1091979 364707 2995788 524422 3803613 45354 314726 519686 707275 8063 1469 67706 420 68687 8816 30644 11713 7854 9541 4438 72499 23761 97431 8834 30713 11795 8097 313671 233610 797297 1891779 2743237 0 65893 77455 105203 3963591 3275038 10140587 29608174 41868408 250722 782552 855701 1184673 1068 131 18967 58 20286 4173 9074 3675 2010 1717 752 20512 3135 25926 4204 9111 3751 2155 30801 9807 107468 18148 140858 0 19876 23996 25921 408663 144301 1418341 268937 2110471 89463 258971 286560 321396 721 91 24780 50 24945 2306 14261 5454 2043 1401 622 26385 1495 28149 2320 14288 5570 2265 20672 7455 120958 8171 130568 0 31635 35142 25582 325318 138815 1656566 164346 1941068 39269 424395 450899 346125 2945 271 43790 338 43583 3826 18422 11271 6465 5803 2089 50089 32660 82392 3972 18542 11670 7475 92593 27998 327621 612627 938245 0 42784 74652 84347 1822741 595291 6531117 9595228 17760222 168572 877555 1526842 1714445 5609 998 70186 225 68002 5399 27641 17382 10865 13461 13075 91620 32317 121095 5506 27776 17759 11962 179593 128671 640065 306398 930034 0 65474 115331 139064 2297964 1667404 8320445 4010493 12825358 153184 922567 1521980 1809509 2032 381 43014 285 41711 4669 22092 8503 3865 4598 3575 50122 42749 91039 4722 22279 8766 4556 63589 43110 265094 663851 943824 0 47947 55238 49637 1021032 656037 3896128 8221706 12973999 100955 634737 768791 776511 471 87 7229 60 7012 526 3470 1646 780 1480 1318 9873 19730 30042 546 3507 1751 1029 14677 10860 55497 140007 188875 0 8033 10682 9912 244423 168380 882783 1589722 2608531 10703 121953 166425 162839 589 100 20096 49 20249 1940 11788 4235 1560 1442 1427 22783 7403 30593 1953 11833 4395 1851 18791 12759 104151 51791 160740 0 25904 27271 19722 457962 290253 2210698 1011407 3551638 39731 469239 566303 478869 1786 190 34149 109 32981 3606 17276 6704 3280 3452 1219 37627 8188 44246 3622 17337 6875 3790 57231 21075 203453 174905 383103 0 37193 43755 42594 971680 322858 3138790 2251868 5660262 79743 537501 621008 672042 710 145 12104 64 11600 1097 6208 2268 1103 1505 1196 14238 8103 21828 1114 6232 2351 1258 24172 17097 84953 116549 206770 0 13284 14663 14031 348651 234857 1143560 1361018 2587065 20313 163416 180082 186100 15 24 117 50 141 65 1 1 0 18 29 125 10401 10538 65 1 1 0 [ f] [ h] 4722 1778834 1730991 0 [ a] [ a] 0 ( D) ( D) 62723 23431534 25321148 5101 ( D) ( D) 0 608 118 10410 100 10589 1262 5408 2044 1021 1001 605 11405 14826 27596 1299 5419 2061 1113 [ j] [ j] 72825 622780 713547 0 [ j] [ j] 13403 ( D) ( D) 975717 9188377 11238049 21155 ( D) ( D) 175302 706 42 24456 15 23658 2001 13053 5638 2214 1147 286 25479 155 24798 2004 13064 5716 2456 21722 4082 121562 1701 121783 0 29233 36382 28324 295887 59695 1442241 26786 1537594 30262 322758 413784 361737 1749 233 32871 133 31922 3730 16308 6572 3223 3698 1215 36471 7902 43582 3738 16373 6721 3708 53705 17102 190132 134080 338802 0 35280 42727 40998 738109 247399 2422222 1850122 4841680 75049 427231 489959 513547 569 273 14625 80 14379 1462 9066 2106 820 989 1477 16416 1804 18037 1466 9087 2156 913 17029 22630 80466 24891 110496 0 18070 13430 10204 239744 278211 1063595 323865 1524819 19983 230760 180185 156259 1677 211 36824 93 36791 5230 19041 7031 3507 3235 1470 40644 3698 44829 5243 19107 7277 4130 49320 16977 195247 47965 257743 0 40423 45640 45193 1021573 328208 3782298 947397 5129063 131268 710549 823555 923978 816 238 8739 217 9646 1845 4121 1506 886 929 301 8947 845 10634 1852 4127 1517 900 29542 34594 94985 134969 255296 0 8583 9858 11737 826889 1012985 2646575 4621078 8854120 194124 208232 267357 339592 420 90 5755 36 5651 645 3109 817 556 476 231 5968 421 6251 645 3109 819 569 15478 13587 47765 18565 66614 0 5936 5322 7490 348636 311846 1044506 383591 1479907 14637 105413 103427 163507 1808 297 20760 148 20485 2428 9656 3802 2369 2671 1059 22707 4460 26681 2435 9686 3866 2554 52614 24259 154707 64440 218135 0 19737 24892 30373 1379665 682159 3904295 1627914 5754995 79170 417637 593416 794963 117 70 715 69 760 118 225 80 76 233 420 1188 2189 3237 118 225 81 82 5458 13726 21049 499707 539994 0 476 536 1000 167985 472101 707175 20210183 22506160 5407 16553 17657 31449 195 58 1737 75 1871 296 795 249 188 238 96 1828 143 2048 296 796 250 195 6551 4749 16967 22303 42844 0 1512 1637 2457 225446 179444 607199 1066661 1908197 15285 59094 56702 80143 143 69 780 56 881 129 269 121 111 163 221 956 316 1307 129 269 122 117 5670 10030 18597 36083 52532 0 531 814 1507 228289 446282 804776 1578528 2312408 10265 22527 32103 57382 75 37 566 27 603 103 193 81 71 82 49 585 54 643 103 193 81 71 2899 5211 10182 7892 19312 0 429 520 927 96005 208477 369648 350799 727102 5560 15343 16927 28410 4063 839 41837 342 44781 8447 21826 5451 3743 4697 1960 43686 6209 52724 8457 21835 5475 3808 159275 129006 408206 432037 897609 0 39870 35955 50709 4619803 4019842 11751222 15498528 29343436 303242 870304 884511 1361114 4073 564 54616 236 52853 6359 28025 8301 5297 4680 1425 56209 1890 56025 6361 28034 8323 5374 146663 72478 399971 86944 486569 0 54520 54176 71204 4072344 2265898 10688781 3080106 14282732 182361 1212223 1269006 1817643 87 43 466 25 458 39 149 60 46 90 60 486 129 723 39 149 60 46 3550 6916 11963 20152 40124 [ a] [ e] 391 657 62743 205453 293273 688105 1226119 ( D) ( D) 6611 10144 40 31 221 8 236 32 73 28 25 55 67 272 143 440 32 73 28 29 1480 3218 5344 18030 21800 [ a] [ c] 182 310 28961 76219 114131 536703 654375 ( D) ( D) 2309 3833 589 61 6534 16 6526 950 3248 948 678 609 78 6580 51 6605 950 3249 950 685 21869 9152 52332 8152 63375 0 5826 6314 9273 362004 178605 838261 179904 1131230 28053 83748 83362 127517 788 201 3307 39 3263 175 1127 481 474 851 322 3497 903 4341 176 1127 481 481 33428 34356 79909 72712 161890 0 2293 3155 6615 397741 484715 1007185 943729 2178747 8998 22130 29206 71509 335 52 1367 15 1341 128 381 204 216 370 94 1447 85 1480 129 382 204 219 13022 6908 25413 6915 33589 0 789 1364 2963 223604 135612 444351 150037 651402 4458 12549 19502 44811 404 90 2562 28 2475 303 821 450 351 441 123 2635 130 2665 304 821 450 352 16284 11784 37946 10510 49244 0 1700 3000 4780 262122 195986 615740 206168 887459 14298 29850 41070 74258 5 2 19 35 49 4 7 0 1 8 12 34 324 327 4 7 0 1 [ c] [ e] 651 6682 7137 0 12 0 [ a] ( D) ( D) 35025 407014 453446 18 407 0 ( D)

11 8 98 43 139 7 41 17 9 24 13 116 1445 1683 7 41 17 9 379 [ e] 1019 34073 34511 0 79 102 125 26366 ( D) 59767 1934052 2205385 5865 3395 4877 6638 4 4 26 31 63 5 7 4 3 23 34 78 498 540 5 7 4 6 [ c] 596 823 6158 6501 0 15 22 [ b] ( D) 31121 41947 370037 373858 717 171 739 ( D)

56 18 418 13 420 73 163 51 49 60 25 429 43 458 73 163 51 49 2014 2412 [ i] [ h] 8704 [ a] 300 331 683 34639 50623 ( D) ( D) 188320 ( D) 5369 6427 11759 92 18 1677 11 1619 436 737 197 126 96 25 1692 26 1649 436 737 199 128 3214 2622 10098 2198 12262 0 1368 1300 1641 63388 50927 227153 46575 295530 15028 35164 31044 30149 20 4 157 2 155 25 67 19 18 21 6 161 2 160 25 67 20 19 750 377 [ g] [ b] 1911 [ a] 146 132 255 21542 13471 ( D) ( D) 56852 ( D) 3534 3865 7069 400 98 3347 75 3353 323 1388 642 410 443 266 3576 776 4305 323 1389 642 425 14652 14408 41850 72871 118838 0 2982 4242 5548 409389 390914 1139363 1937120 3454151 21252 77440 103856 155530 71 35 432 40 476 35 134 82 69 95 104 538 283 837 35 138 83 77 2513 4876 9175 9529 20972 0 273 574 892 65580 154029 275856 296629 672460 1244 6954 17230 22778 255 96 2072 77 2058 252 904 252 222 334 212 2309 375 2593 253 910 259 241 9649 13128 29103 43350 71443 0 1667 1704 3013 339835 470550 1072152 1951427 2995330 35940 74793 53493 102412 423 35 6404 24 6609 788 3014 1411 901 459 57 6569 181 6943 790 3017 1415 930 12858 2756 41801 4941 50543 0 6370 9224 11840 283050 72597 918308 122961 1148677 30133 119080 176158 250662 960 215 12103 101 11884 1014 5820 2390 1354 1751 1369 14390 1416 15464 1017 5850 2468 1573 35205 30366 112226 36168 157548 0 13021 15655 17818 1275518 1092884 4034806 1411102 5885937 43313 429627 562157 666306 85 28 980 11 1164 285 508 151 100 91 52 1012 39 1250 285 508 151 102 3368 2930 9275 11470 20831 0 1084 957 1319 87646 65645 216136 465615 759070 18911 22010 17996 29886 252 70 2435 29 2616 459 1209 355 223 318 196 2639 3457 6309 459 1214 355 230 9721 11564 28634 440354 508558 0 2325 2323 3001 200517 256370 627463 13301223 15289462 11504 52954 51699 67592 568 100 5142 18 5155 711 2565 681 527 649 210 5340 287 5629 711 2565 681 534 21850 14405 52993 17586 69810 0 4803 4451 7006 390304 258795 988260 375310 1436498 31874 96548 90689 142750 760 284 4256 133 4496 442 1557 712 588 1098 808 5202 1516 6954 448 1558 726 650 27012 30942 73969 45531 128606 0 3390 4749 7773 741896 848677 2027019 1345705 3657871 32309 79453 123055 220757 2262 573 18050 288 17540 1782 7232 3249 2300 2436 1207 18896 2839 21245 1792 7234 3255 2319 88081 96170 255099 472819 700034 0 15536 21464 31036 2776375 3298621 8088916 18059477 26820770 125505 420347 581050 914294 1339 341 9191 235 8961 878 3514 1386 1228 1612 884 10083 1611 11132 881 3527 1406 1258 52744 54348 142379 140813 304663 0 7274 9139 16699 3303612 4203993 9400175 14215609 27695721 81849 371936 480768 974374 982 167 15511 117 15434 3567 7316 1995 1305 1321 698 16504 3560 19889 3578 7334 2027 1369 35048 26628 105463 149776 270164 0 13726 12950 17469 1135884 926558 4813713 3615605 9174921 521459 1082350 474327 687647 134 25 2957 24 3077 539 1741 393 212 148 61 3016 95 3213 542 1741 399 216 4793 2582 15310 11164 23205 0 3345 2476 2785 208782 108339 623426 1084753 1356490 38254 116951 79447 97716 1202 222 6200 135 6146 630 1485 1227 1306 1546 683 7092 1426 8546 632 1494 1243 1354 43960 31559 106807 136174 250271 0 3331 8384 17741 1147598 1086162 2879754 7401707 11364268 87713 90258 166178 334666 210 93 1747 84 1855 201 772 316 200 346 390 2213 2742 5364 202 775 321 219 7927 15907 30002 148719 182119 0 1658 2086 2661 262786 657408 1132688 6138791 8059848 31358 49951 61577 90983 1013 265 8960 146 9749 1872 3878 1449 1026 1476 907 10212 23555 36942 1909 3901 1470 1101 40453 46041 115696 925303 1071852 0 7999 9598 13701 1576550 2076215 4805690 47322782 56586478 190902 275960 358329 542666 660 132 7351 134 10005 2874 3571 1473 940 842 306 7759 724 11265 2898 3572 1483 972 23441 17700 66572 52402 149238 0 7538 9685 12492 832517 1174138 2786980 3763781 16472632 531207 242458 299253 408673 633 204 4554 202 4879 710 2063 614 450 698 417 4851 3457 8914 714 2064 616 468 24366 27607 65865 201661 282984 0 4015 4011 6108 834490 994154 2355271 8335571 12751228 53526 155072 147760 233879 0 0 0 12 17 4 0 1 0 0 0 0 41 46 4 0 1 0 0 0 0 21456 22329 [ a] 0 [ a] 0 0 0 0 963924 1018731 ( D) 0 ( D) 0 6298 1633 18925 388 18883 289 4654 2586 3092 16889 15986 44908 60479 104045 312 4676 2695 3934 273819 293167 640561 1279874 1937191 0 [ j] [ j] 42842 7826663 9532666 19343627 51864010 75882131 50161 ( D) ( D) 1240031 1490 625 20114 514 21588 2896 10533 3485 1850 3465 3071 25199 22851 49611 2925 10582 3671 2265 52222 60168 175831 389698 644801 0 22866 22470 24206 2327327 2813022 7509192 18117291 29171861 143351 639606 721180 885605 1088 242 14509 204 15078 2564 7079 2491 1440 2322 1256 17263 2459 20151 2571 7107 2589 1698 39172 26588 114600 87706 198764 0 15323 16050 19103 1612330 1070072 4682585 3526191 7530420 130791 462679 507076 657582 828 274 12347 280 12488 1630 7107 1606 808 1284 906 13650 19216 34501 1636 7132 1659 916 30906 35369 100166 357277 491283 0 [ j] 10286 [ j] 3086777 3777186 9365781 47987704 63179015 232555 ( D) 812689 ( D)

4 5 58 10 104 43 30 8 4 4 13 66 16 118 43 32 8 4 192 1188 1458 5189 6952 0 [ b] 57 [ b] 10154 66779 108801 390188 507967 5342 ( D) 3276 ( D)