The first ever micrometric screw was invented by William Gascoigne in the 17th century, as an enhancement of the vernier; it was used in a telescope to measure angular distances between stars and the relative sizes of celestial objects. Henry Maudslay built a bench micrometer in the early 19th century that was jocularly nicknamed "the Lord Chancellor" among his staff because it was the final judge on measurement accuracy and precision in the firm's work. In 1844, details of Whitworth's workshop micrometer were published.
ไมโครมิเตอร์ถูกประดิษฐ์ครั้งแรกโดยวิลเลียม กาสคอยน์ นักดาราศาสตร์ชาวอังกฤษ โดยดัดแปลงมาตรวัดเวอร์เนียร์ที่ทําได้เพียงขยับตามความกว้างยาวของวัตถุ ให้สามารถวัดได้ละเอียดโดยการหมุน ในครั้งนั้นไมโครมิเตอร์ถูกใช้สําหรับวัดระยะทางเชิงมุมระหว่างดาวและขนาดปรากฏของวัตถุท้องฟ้า ต่อมาเฮนรี มอดสลีย์ (Henry Maudsley) วิศวกรชาวอังกฤษได้ประดิษฐ์ไมโครมิเตอร์ตั้งโต๊ะ (bench micrometer) ซึ่งเป็นเครื่องมือรุ่นแรกที่ใช้วัดได้ผลละเอียดดีมาก จนเขาได้สมญานามว่า "รัฐมนตรียุติธรรม" (the Lord Chancellor)