In 1813, the Prussians had already managed to wrest lands from Luxembourg, to strengthen the Prussian-possessed Duchy of Julich. The Bourbons of France held a strong claim to Luxembourg, whereas the Emperor of Austria, on the other hand, had controlled the duchy until the revolutionary forces had joined it to the French republic (he reportedly was not enthusiastic about regaining Luxembourg and the Low Countries, being more interested in the Balkans). Prussia and the Netherlands, both claiming Luxembourg, made an exchange deal: Prussia received the Principality of Orange-Nassau, the ancestral Principality of the Prince of Orange in Central Germany and the Prince of Orange, in turn received Luxembourg.
ลักเซมเบิร์กดํารงตัวเป็นอาณาจักรอิสระของจักรวรรดิโรมันอันศักดิ์สิทธิ์มาจนถึง ค.ศ. 1354 เมื่อจักรพรรดิคาร์ลที่ 4 แห่งโรมันอันศักดิ์สิทธิ์ยกฐานะลักเซมเบิร์กขึ้นเป็นดัชชีให้แก่พระอนุชาเวนสเลาสที่ 1 ดยุกแห่งลักเซมเบิร์ก ดัชชีลักเซมเบิร์กได้รับการก่อตั้งขึ้นในปี ค.ศ. 1353 โดยการรวมเคาน์ตีลักเซมเบิร์กเข้ากับอาณาจักรมาร์กราฟแห่งอาร์ลอง เคาน์ตีเดอร์บีย์และลาโรชอองอาร์แดนน์ และรวมทั้งดิสตริกต์ทิออนวิลล์ บิทบูร์ก และ มาร์วิลล์, เมิซ เคาน์ตีแห่งไวอังเดิงก็อาจจะนับได้ว่าเป็นส่วนหนึ่งด้วยเมื่อกลายมาเป็นเมืองขึ้นของเคานต์และดยุกแห่งลักเซมเบิร์กเมื่อราวเดือนกรกฎาคม ค.ศ. 1264. ต่อมาดัชชีลักเซมเบิร์กก็ตกไปเป็นของดยุกแห่งเบอร์กันดีของราชวงศ์วาลัวส์ และของอาร์ชดยุกแห่งออสเตรียแห่งราชวงศ์ฮับส์บูร์ก