Frequency scanning interferometry
ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೊಮೆಟ್ರಿ (ಎಫ್ಎಸ್ಐ) ಒಂದು ಸಂಪೂರ್ಣ ದೂರ ಮಾಪನ ತಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಒಂದು ಜೋಡಿ ಬಿಂದುಗಳ ನಡುವಿನ ಅಂತರವನ್ನು ದೃಷ್ಟಿಯ ರೇಖೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಅಳೆಯುತ್ತದೆ. ಎಫ್ಎಸ್ಐ ತಂತ್ರದ ಶಕ್ತಿಯು ಅಂತಹ ಅನೇಕ ದೂರ ಮಾಪನಗಳನ್ನು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಮಾಡುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದಲ್ಲಿದೆ. ಪ್ರತಿ ದೂರವನ್ನು ಅಳೆಯಲು, ನೋಟಿನ ರೇಖೆಯ ಪ್ರತಿ ತುದಿಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗಿರುವ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅಳತೆ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ಪ್ರತಿ ಮಾಪನ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮಾರ್ಗವನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನಲ್ಲಿನ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮಾರ್ಗಕ್ಕೆ ಹೋಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಲೇಸರ್ ಆವರ್ತನವನ್ನು ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ (ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿನ ಎಲ್ಲಾ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ಗಳಿಗೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗಿದೆ) ಮತ್ತು ಪ್ರತಿ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನಿಂದ ಹಿಂತಿರುಗುವ ಸಂಕೇತಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಫ್ರಿಂಜ್ ಸೈಕಲ್ಗಳನ್ನು ಎಣಿಸುವ ಮೂಲಕ. ಪ್ರತಿ ಅಳತೆಯ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನ ಉದ್ದವನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖ ಉದ್ದದ ಘಟಕಗಳಲ್ಲಿ ಮಾಪನ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಮತ್ತು ಉಲ್ಲೇಖ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಅಂಚುಗಳ ಅನುಪಾತದಿಂದ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಒಂದು ಉದಾಹರಣೆಯನ್ನು ನೀಡಲುಃ ಆವರ್ತನ ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಪನ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನಲ್ಲಿ 100 ಫ್ರಿಂಜ್ ಸೈಕಲ್ಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಉಲ್ಲೇಖ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನಲ್ಲಿ 50 ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ ಅಳತೆ ಮಾಡಲಾದ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ರೆಫರೆನ್ಸ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನ ಎರಡು ಪಟ್ಟು ಉದ್ದವಾಗಿದೆ, ಮೊದಲ ಕ್ರಮಕ್ಕೆ (ವ್ಯವಸ್ಥಿತ ದೋಷಗಳನ್ನು ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸಿ-ಕೆಳಗೆ ನೋಡಿ). ಉಲ್ಲೇಖ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳು ಲೇಸರ್ ಆವರ್ತನ ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಂಭವಿಸುವ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪಥದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಪ್ರಬಲ ವ್ಯವಸ್ಥಿತ ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾದ ಉದ್ದದಲ್ಲಿ ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಉಲ್ಲೇಖ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಅನ್ನು ಹಿಡಿದಿಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಯಾವುದೇ ಸಂಖ್ಯೆಯ "ಮಾಪನ" ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ಗಳನ್ನು ಒಂದೇ ಉಲ್ಲೇಖದ ಉದ್ದಕ್ಕೆ ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಹೋಲಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಎಫ್ಎಸ್ಐ ತಂತ್ರದ ದೊಡ್ಡ ಶಕ್ತಿಯಾಗಿದೆ. ಆಕಾರ ಮಾಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಸಿಇಆರ್ಎನ್ನಲ್ಲಿರುವ ಎಟಿಎಲ್ಎಎಸ್ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ನಲ್ಲಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಟ್ರ್ಯಾಕರ್ನ (ಎಸ್ಸಿಟಿ) ಆಕಾರ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಎಫ್ಎಸ್ಐ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತಿದೆ. ನಿಖರತೆ ಮಾಪನದ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯು ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ಎಷ್ಟು ವೇಗವಾಗಿ ಟ್ಯೂನ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವ್ಯವಸ್ಥಿತ ದೋಷಗಳನ್ನು ಎಷ್ಟು ಚೆನ್ನಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಎಂಬುದರ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಿದ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ಗಳಲ್ಲಿ 6 ಮೀಟರ್ ಮಾರ್ಗದ ಮೇಲೆ ಕೆಲವು ಎನ್ಎಂನ ನಿಖರತೆಗಳು ಸಾಧ್ಯವಿದೆ. ಎ. ಟಿ. ಎಲ್. ಎ. ಎಸ್ ಪ್ರಯೋಗಕ್ಕಾಗಿ ನಿರ್ಮಿಸಲಾದ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ 1 ಮೀಟರ್ ದೂರದಲ್ಲಿ 1 ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್ ನಿಖರತೆಯ ಗುರಿಯನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಸಾಧಿಸುವ ನಿರೀಕ್ಷೆಯಿದೆ. ಉಲ್ಲೇಖಗಳು ಪಿ. ಎ. ಕೋ ಮತ್ತು ಇತರರು. 2004 ಮೀಸ್. ವಿಜ್ಞಾನ. ಟೆಕ್ನಿಕಲ್. 15 2175-2187 ಅಳತೆ