Patterning by etching at the nanoscale
ಪ್ಯಾಟರ್ನಿಂಗ್ ಬೈ ಎಚಿಂಗ್ ಅಟ್ ದಿ ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ (ಪಿ. ಇ. ಎನ್. ಗಳು) ಒಂದು ಮೃದು ಶಿಲಾಮುದ್ರಣ ತಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಡೈಮೆಥೈಲ್ಸಿಲೋಕ್ಸೇನ್ (ಪಿ. ಡಿ. ಎಂ. ಎಸ್.) ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ನಲ್ಲಿನ ಬಂಧಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದಾದ ಎಚ್ ಪಿ. ಡಿ. ಎಂ. ಎಸ್. (ಅಂದರೆ. ಕರಗಿಸಿ) ಒಂದು ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ಮಾದರಿಯ ಪಿಡಿಎಂಎಸ್ ಸ್ಟಾಂಪ್ನೊಂದಿಗೆ ರೂಪುಗೊಂಡ ಪಿಡಿಎಂಎಸ್ ಚಾನೆಲ್ನ ಹೊರಭಾಗದಲ್ಲಿ ನಿಧಾನಗತಿಯಲ್ಲಿ. ಅಂಚೆಚೀಟಿಯಲ್ಲಿರುವ ಮಾರ್ಗವನ್ನು ಹತ್ತಾರು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ಗಳ ಕ್ರಮದಲ್ಲಿ ಹಲವಾರು ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್ಗಳವರೆಗೆ ವಿಸ್ತರಿಸಬಹುದು. ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದಾದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಹೊಸ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಒಡ್ಡುವುದು. ಸಾರಾಂಶ ಪಿಡಿಎಂಎಸ್ ಸಿಲಿಕಾನ್-ಆಮ್ಲಜನಕ ಬಂಧಗಳ ಪಾಲಿಮರ್ ಸರಪಳಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಈ ಬಂಧಗಳನ್ನು ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರಭೇದಗಳಿಂದ ಮುರಿಯಬಹುದು, ಅದೇ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ಅಮೋನಿಯಂ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಸಂಯುಕ್ತಗಳೊಂದಿಗೆ ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಬಾಹ್ಯವಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ತುಂಬಬಹುದಾದ ಚಾನೆಲ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪಿಡಿಎಂಎಸ್ ಅಂಚೆಚೀಟಿಯನ್ನು ಇರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಆ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಚಾನೆಲ್ನ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಅಷ್ಟು ಹೊತ್ತಿಗೆ ಕಾಲುವೆಯ ಮೂಲಕ ಎಚ್ಚಣೆಯ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಚಲಾಯಿಸುವುದರಿಂದ, ಪಿ. ಡಿ. ಎಂ. ಎಸ್ನ ಭಾಗವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮೇಲ್ಮೈಯ ಹೊಸ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಒಡ್ಡುವುದು. ನಂತರ ಸೂಕ್ತವಾದ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರದಿಂದ ಇದನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯದ ಅಗಲವನ್ನು ಎಟ್ಚಾಂಟ್ ಮತ್ತು ಸಮಯದಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಣ್ಣ ಮಾದರಿಯ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಈ ತಂತ್ರವನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸಲು, ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಕಾಲುವೆಯಿಂದ ಒಡ್ಡಲ್ಪಟ್ಟ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು, ನಂತರ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಹೊಸದಾಗಿ ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಸಂಭವಿಸುವ ದೂರದಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು. ಪೆರಿಂಗ್ ಎಮ್., ಮಿಚೆಲ್, ಎಮ್., ಕೆನಿಸ್ ಪಿ. ಜೆ. ಎ., ಬೌಡೆನ್ ಎನ್. ಬಿ., ಚೆಮ್. ಮ್ಯಾಟ್ 2007 19 (11), 2903 ನ್ಯಾನೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್