Low-pressure discharge
ಅನಿಲ-ವಿಸರ್ಜನೆ ದೀಪಗಳಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಗಳು ಇರುತ್ತವೆ. ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ವಿದ್ಯುತ್ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಅನಿಲದ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಕೆಲವು ಮಿಲಿಟೋರ್ಗಳಿಂದ ವಾತಾವರಣಕ್ಕಿಂತ ಸ್ವಲ್ಪ ಕಡಿಮೆಯವರೆಗೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿವರಣೆ ಅವುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿಮಾಣ-ಸಂಯೋಜನೆಯ ದರಗಳು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿರುವುದರಿಂದ ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ವಿಸರ್ಜನೆಯನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಡಿಮೆ ಶಕ್ತಿಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ವಿಸರ್ಜನೆಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು ಸಹ ಸುಲಭ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಕೆಳಕ್ಕೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಾದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಮಾತ್ರ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಚೇಂಬರ್ಗೆ ಹಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆರ್ಗಾನ್ ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಹಿನ್ನೆಲೆ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಕಡಿಮೆ ಅಯಾನೀಕರಣ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಆದ್ದರಿಂದ ಅದನ್ನು ಒಡೆಯಲು ಮತ್ತು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿಸರ್ಜನೆಗಳು ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಸಹ ನೋಡಿ ಉಲ್ಲೇಖಗಳು ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆ ದೀಪಗಳು