Journal of Vacuum Science and Technology
ಜರ್ನಲ್ ಆಫ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸೈನ್ಸ್ ಅಂಡ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿಯು ಅಮೆರಿಕನ್ ಇನ್ಸ್ಟಿಟ್ಯೂಟ್ ಆಫ್ ಫಿಸಿಕ್ಸ್ನಿಂದ ಅಮೆರಿಕನ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸೊಸೈಟಿಯ ಪರವಾಗಿ ಎ ಮತ್ತು ಬಿ ಎಂಬ ಎರಡು ಭಾಗಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಕಟವಾದ ಪೀರ್-ರಿವ್ಯೂಡ್ ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಜರ್ನಲ್ ಆಗಿದೆ. ಇದನ್ನು 1964ರಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ಇದರ ಮುಖ್ಯ ಸಂಪಾದಕರು ಎರೇ ಐಡಿಲ್ (ಮಿನ್ನೇಸೋಟ ವಿಶ್ವವಿದ್ಯಾಲಯ). ಹಿಸ್ಟರಿ 1964-1982 ಜರ್ನಲ್ ಆಫ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸೈನ್ಸ್ ಅಂಡ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ 1983-ಪ್ರಸ್ತುತ ಜರ್ನಲ್ ಆಫ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸೈನ್ಸ್ & ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಎಃ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್, ಸರ್ಫೇಸ್ಗಳು, ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ಸ್ ಜರ್ನಲ್ ಆಫ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸೈನ್ಸ್ & ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಬಿಃ ಮೈಕ್ರೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯಮಾನ 1991-ಪ್ರಸ್ತುತ ಜರ್ನಲ್ ಆಫ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸೈನ್ಸ್ & ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಬಿಃ ಮೈಕ್ರೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಸ್ಟ್ರಕ್ಚರ್ಸ್ ಪಾರ್ಟ್ ಎ ಭಾಗ ಎ ಅನ್ವಯಿಕ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಜ್ಞಾನ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಸಮ್ಮಿಳನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಜ್ಞಾನ, ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳು, ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ ಮತ್ತು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಜರ್ನಲ್ ಸೈಟೇಶನ್ ರಿಪೋರ್ಟ್ಸ್ ಪ್ರಕಾರ, ಜರ್ನಲ್ 2015ರ 1.724 ಪರಿಣಾಮದ ಅಂಶವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಪಾರ್ಟ್ ಬಿ ಪಾರ್ಟ್ ಬಿ ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳ ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಅವುಗಳ ರಚನಾತ್ಮಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಮೈಕ್ರೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮತ್ತು ಸಬ್ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ರಚನೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳ ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರ ಮತ್ತು ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಜರ್ನಲ್ ಸೈಟೇಶನ್ ರಿಪೋರ್ಟ್ಸ್ ಪ್ರಕಾರ, ಜರ್ನಲ್ 2014 ರ 1.398 ಪರಿಣಾಮದ ಅಂಶವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಬಾಹ್ಯ ಕೊಂಡಿಗಳು ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರದ ನಿಯತಕಾಲಿಕಗಳು ಇಂಗ್ಲಿಷ್ ಭಾಷೆಯ ನಿಯತಕಾಲಿಕಗಳು 1964 ರಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾದ ಶೈಕ್ಷಣಿಕ ನಿಯತಕಾಲಿಕಗಳು ಅಮೇರಿಕನ್ ಇನ್ಸ್ಟಿಟ್ಯೂಟ್ ಆಫ್ ಫಿಸಿಕ್ಸ್ ಶೈಕ್ಷಣಿಕ ನಿಯತಕಾಲಿಕಗಳು