Microelectromechanical system oscillator
ಮೈಕ್ರೊಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು (ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು) ಸಮಯವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾದ ಉಲ್ಲೇಖ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಸಾಧನಗಳಾಗಿವೆ (ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಅನುಕ್ರಮಗೊಳಿಸಲು, ದತ್ತಾಂಶ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು, ರೇಡಿಯೋ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲು ಮತ್ತು ಕಳೆದುಹೋದ ಸಮಯವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ). ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಪ್ರಮುಖ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು 1960ರ ದಶಕದ ಮಧ್ಯಭಾಗದಿಂದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿವೆ, ಆದರೆ 2006ರಿಂದ ವಾಣಿಜ್ಯ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಮಾತ್ರ ಸಾಕಷ್ಟು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಗೊಂಡಿವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಅನುರಣಕಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತವೆ, ಅವು ಸ್ಥಿರ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸುವ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ರಚನೆಗಳಾಗಿವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಗಡಿಯಾರ ಉತ್ಪಾದಕಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಸಮಯದ ಸಾಧನಗಳಾಗಿದ್ದು, ಒಂದೇ ಉಲ್ಲೇಖ ಆವರ್ತನಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಅನೇಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಹಳೆಯ, ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಾಪಿತವಾದ ಸ್ಫಟಿಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಆಂದೋಲಕಗಳಿಗೆ ಮಾನ್ಯವಾದ ಪರ್ಯಾಯವಾಗಿದ್ದು, ಕಂಪನ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಆಘಾತದ ವಿರುದ್ಧ ಉತ್ತಮ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕತ್ವವನ್ನು ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ವ್ಯತ್ಯಾಸಕ್ಕೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದಂತೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಸಮಯದ ಸಾಧನಗಳು ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನಗಳಲ್ಲಿ ಕಂಪಿಸುವ ಸಣ್ಣ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ ರಚನೆಗಳಾಗಿವೆ. ಅವುಗಳನ್ನು ಸಮಯದ ಉಲ್ಲೇಖಗಳು, ಸಿಗ್ನಲ್ ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್, ಮಾಸ್ ಸೆನ್ಸಿಂಗ್, ಬಯೋಲಾಜಿಕಲ್ ಸೆನ್ಸಿಂಗ್, ಮೋಷನ್ ಸೆನ್ಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇತರ ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಲೇಖನವು ಆವರ್ತನ ಮತ್ತು ಸಮಯದ ಉಲ್ಲೇಖಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಅನ್ವಯಕ್ಕೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ. ಆವರ್ತನ ಮತ್ತು ಸಮಯದ ಉಲ್ಲೇಖಗಳಿಗಾಗಿ, ಎಮ್ಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳಿಗೆ ಲಗತ್ತಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳನ್ನು ನಿರಂತರ ಚಲನೆಯಲ್ಲಿ ಓಡಿಸಲು ಅವುಗಳನ್ನು ಸಸ್ಟೈನಿಂಗ್ ಆಂಪ್ಲಿಫೈಯರ್ಗಳು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ ಈ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಬಳಿ ಮತ್ತು ಒಂದೇ ಭೌತಿಕ ಪ್ಯಾಕೇಜಿನಲ್ಲಿರುತ್ತವೆ. ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಚಾಲನೆ ಮಾಡುವುದರ ಜೊತೆಗೆ, ಈ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು ಡೌನ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ಗಾಗಿ ಔಟ್ಪುಟ್ ಸಿಗ್ನಲ್ಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕವಾಗಿ, ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು ಎಂಬ ಪದವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಏಕ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳನ್ನು (ಐಸಿ) ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳಲ್ಲಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಅನುರಣಕಗಳು, ಸಮರ್ಥನೀಯ ಆಂಪಿಯರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಲು ಅಥವಾ ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ಗಳು ಸೇರಿವೆ. ಈ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಫೇಸ್ ಲಾಕ್ ಲೂಪ್ಗಳನ್ನು (ಪಿಎಲ್ಎಲ್ಗಳು) ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ಅಪ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಉಲ್ಲೇಖ ಆವರ್ತನಗಳಿಂದ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದಾದ ಅಥವಾ ಪ್ರೊಗ್ರಾಮೆಬಲ್ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಎಮ್ಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 4-ಅಥವಾ 6-ಪಿನ್ ಐಸಿಗಳಾಗಿ ಲಭ್ಯವಿವೆ, ಅವು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಆಂದೋಲಕಗಳಿಗೆ ಈ ಹಿಂದೆ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಲಾದ ಮುದ್ರಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೋರ್ಡ್ (ಪಿಸಿಬಿ) ಬೆಸುಗೆ ಹೆಜ್ಜೆಗುರುತುಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಗಡಿಯಾರ ಜನರೇಟರ್ ಎಂಬ ಪದವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಹು ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸಮಯದ ಐ. ಸಿ. ಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಪದ್ಧತಿಯನ್ನು ಅನುಸರಿಸಿ, ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಗಡಿಯಾರ ಜನರೇಟರ್ಗಳು ಬಹು-ಔಟ್ಪುಟ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಸಮಯ ಸಾಧನಗಳಾಗಿವೆ. ಬಹು ಆವರ್ತನಗಳು ಅಥವಾ ಗಡಿಯಾರ ಹಂತಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸಂಕೀರ್ಣ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಮಯದ ಸಂಕೇತಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಇವುಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಂಪ್ಯೂಟರ್ಗಳಿಗೆ ಪ್ರೊಸೆಸರ್ ಟೈಮಿಂಗ್, ಡಿಸ್ಕ್ ಐ/ಒ, ಸೀರಿಯಲ್ ಐ/ಒ, ವಿಡಿಯೋ ಜನರೇಷನ್, ಈಥರ್ನೆಟ್ ಐ/ಒ, ಆಡಿಯೋ ಪರಿವರ್ತನೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಕಾರ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ ಸ್ವತಂತ್ರ ಗಡಿಯಾರಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಗಡಿಯಾರ ಜನರೇಟರ್ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆವರ್ತನಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆ, ವಿವಿಧ ಸಹಾಯಕ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜ್ ಸಂರಚನೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಅವುಗಳ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಅವು ಅನೇಕ ವೇಳೆ ಬಹು ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳು ಅಥವಾ ಹಂತಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಬಹು ಪಿಎಲ್ಎಲ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ರಿಯಲ್-ಟೈಮ್ ಗಡಿಯಾರಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರಿಯಲ್-ಟೈಮ್ ಗಡಿಯಾರಗಳು (ಆರ್ಟಿಸಿಗಳು) ದಿನ ಮತ್ತು ದಿನಾಂಕದ ಸಮಯವನ್ನು ಟ್ರ್ಯಾಕ್ ಮಾಡುವ ಐಸಿಗಳಾಗಿವೆ. ಅವು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು, ಸಮರ್ಥನೀಯ ಆಂಪ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸಮಯದೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಾಗುವ ರೆಜಿಸ್ಟರ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ದಿನಗಳು, ಗಂಟೆಗಳು, ನಿಮಿಷಗಳು ಮತ್ತು ಸೆಕೆಂಡುಗಳನ್ನು ಎಣಿಸುವುದು. ಅವು ಅಲಾರ್ಮ್ ಔಟ್ಪುಟ್ಗಳು ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಟರಿ ನಿರ್ವಹಣೆಯಂತಹ ಸಹಾಯಕ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ಸಹ ಒಳಗೊಂಡಿವೆ. ಕಳೆದ ಸಮಯದ ಮೇಲೆ ನಿಗಾ ಇಡಲು ಆರ್ಟಿಸಿಗಳು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು. ಇದನ್ನು ಮಾಡಲು ಅವು ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ ಸಣ್ಣ ಬ್ಯಾಟರಿಗಳಿಂದ ಚಲಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆದ್ದರಿಂದ ಬಹಳ ಕಡಿಮೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಅವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮಧ್ಯಮ ಗಾತ್ರದ ಐಸಿಗಳಾಗಿದ್ದು, ವಿದ್ಯುತ್, ಬ್ಯಾಟರಿ ಬ್ಯಾಕ್ಅಪ್, ಡಿಜಿಟಲ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಹಲವಾರು ಕಾರ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ 20 ಪಿನ್ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಎಮ್ಇಎಂಎಸ್ ಸಮಯದ ಸಾಧನಗಳ ಇತಿಹಾಸ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಆಂದೋಲಕಗಳ ನ್ಯೂನತೆಗಳಿಂದ ಪ್ರೇರೇಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಮೊದಲ ಪ್ರದರ್ಶನ, ಸಂಶೋಧಕರು 1965ರಿಂದ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರಚನೆಗಳ ಅನುರಣನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತಿದ್ದಾರೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಇತ್ತೀಚಿನವರೆಗೂ ಸೀಲಿಂಗ್, ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ರೆಸೊನೇಟರ್ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ವಿವಿಧ ನಿಖರತೆ, ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ವಾಣಿಜ್ಯ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತಿದ್ದವು. ಐದು ತಾಂತ್ರಿಕ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಜಯಿಸಬೇಕಾಗಿತ್ತುಃ ಮೊದಲ ಪ್ರದರ್ಶನಗಳು ಸ್ಥಿರವಾದ ಮತ್ತು ಊಹಿಸಬಹುದಾದ ರೆಸೊನೇಟರ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುವುದು, ಸಾಕಷ್ಟು ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಹರ್ಮೆಟಿಕ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುವುದು, ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸರಿದೂಗಿಸುವುದು, ರೆಸೊನೇಟರ್ ಅಂಶಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅಂಶವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಸಿಗ್ನಲ್ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು. ಮೊದಲ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಲೋಹದ ರೆಸೊನೇಟರ್ ಅಂಶಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಯಿತು. ಈ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಆಡಿಯೋ ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳಾಗಿ ಕಲ್ಪಿಸಲಾಗಿತ್ತು ಮತ್ತು 500 ರ ಮಧ್ಯಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅಂಶಗಳು (ಕ್ಯೂಎಸ್) ಮತ್ತು 1 ಕಿಲೋಹರ್ಟ್ಝ್ ನಿಂದ 100 ಕಿಲೋಹರ್ಟ್ಝ್ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದವು. ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು, ಈಗ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನದ ರೇಡಿಯೋಗಾಗಿ, ಇನ್ನೂ ಮುಖ್ಯವಾಗಿವೆ ಮತ್ತು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ವಾಣಿಜ್ಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಿಗೆ ಸಕ್ರಿಯ ಕ್ಷೇತ್ರವಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಆರಂಭಿಕ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಸಮಯದ ಉಲ್ಲೇಖಗಳು ಅಥವಾ ಗಡಿಯಾರ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಬಳಸಲು ಸಾಕಷ್ಟು ಸ್ಥಿರವಾದ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರಲಿಲ್ಲ. ಲೋಹದ ಅನುರಣಕ ಅಂಶಗಳು ಸಮಯದೊಂದಿಗೆ ಆವರ್ತನವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತವೆ (ಅವು ವಯಸ್ಸಾದವು) ಮತ್ತು ಬಳಕೆಯೊಂದಿಗೆ (ಅವು ದಣಿದವು). ತಾಪಮಾನದ ವ್ಯತ್ಯಾಸದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಅವು ದೊಡ್ಡ ಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಊಹಿಸಬಹುದಾದ ಆವರ್ತನ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತಿದ್ದವು (ಅವು ದೊಡ್ಡ ತಾಪಮಾನದ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದವು) ಮತ್ತು ಅವು ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸೈಕಲ್ ಮಾಡಿದಾಗ ಅವು ವಿಭಿನ್ನ ಆವರ್ತನಗಳಿಗೆ ಮರಳಲು ಒಲವು ತೋರಿದವು (ಅವು ಹಿಸ್ಟೆರೆಟಿಕ್ ಆಗಿದ್ದವು). 1970ರ ದಶಕದಿಂದ 1990ರ ದಶಕದವರೆಗಿನ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಡೆವಲಪ್ಮೆಂಟ್ ವರ್ಕ್ ಸಾಕಷ್ಟು ಸ್ಥಿರವಾದ ರೆಸೊನೇಟರ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸಿದೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ, ಏಕ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಶೂನ್ಯ ವಯಸ್ಸಾದ, ಆಯಾಸ ಮತ್ತು ಹಿಸ್ಟರೆಸಿಸ್ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯಮ ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದನೆಯೊಂದಿಗೆ ಆವರ್ತನ ಉಲ್ಲೇಖಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವೆಂದು ಕಂಡುಬಂದಿದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ ಸಂಶೋಧನೆಯಲ್ಲಿ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಡೆವಲಪ್ಮೆಂಟ್ ಇನ್ನೂ ನಡೆಯುತ್ತಿದೆ. ಅದರ ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್-ಜರ್ಮೇನಿಯಂನಲ್ಲಿ (ಸಿಜಿಇ) ಮತ್ತು ಅದರ ಪೀಜೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಡಕ್ಷನ್ಗಾಗಿ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ನಲ್ಲಿ (ಎಎಲ್ಎನ್) ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಯತ್ನವನ್ನು ಹೂಡಿಕೆ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ಮೈಕ್ರೋ ಮೆಷಿನ್ಡ್ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ನ ಕೆಲಸ ಮುಂದುವರೆದಿದೆ, ಆದರೆ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈನ್ ವಜ್ರವನ್ನು ಅದರ ಅಸಾಧಾರಣ ಬಿಗಿತದಿಂದ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ಅನುಪಾತಕ್ಕಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಅನುರಣಕಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗಿದೆ. ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳಿಗೆ ಅವು ಮುಕ್ತವಾಗಿ ಚಲಿಸಬಹುದಾದ ಕುಳಿಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆವರ್ತನ ಉಲ್ಲೇಖಗಳಿಗಾಗಿ ಈ ಕುಳಿಗಳನ್ನು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಬೇಕು. ಆರಂಭಿಕ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಯಿತು, ಆದರೆ ಪ್ರತ್ಯೇಕ ರೆಸೊನೇಟರ್ ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿ ಅಗತ್ಯವಾಗಿತ್ತು. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಸಮುದಾಯವು ಇತರ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಸುತ್ತುವರಿಯಲು ಬಾಂಡೆಡ್ ಕವರ್ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡಿತ್ತು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕಗಳು, ಅಕ್ಸೆಲೆರೊಮೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಗೈರೊಸ್ಕೋಪ್ಗಳು, ಮತ್ತು ಈ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಅನುರಣಕಗಳಿಗೆ ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲಾಯಿತು. ಈ ವಿಧಾನದಲ್ಲಿ, ಕವರ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಸಣ್ಣ ಕುಳಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಮೈಕ್ರೋ ಮೆಷಿನ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ರೆಸೊನೇಟರ್ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಬಂಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಸಣ್ಣ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಿದ ಕುಳಿಗಳಲ್ಲಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಸುತ್ತುವರೆದಿರುತ್ತದೆ. ಆರಂಭದಲ್ಲಿ ಈ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಗ್ಲಾಸ್ ಫ್ರಿಟ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುವ ಕಡಿಮೆ ಕರಗುವ ತಾಪಮಾನದ ಗಾಜಿನೊಂದಿಗೆ ಬಂಧಿಸಲಾಗಿತ್ತು, ಆದರೆ ಇತ್ತೀಚೆಗೆ ಮೆಟಾಲಿಕ್ ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಮತ್ತು ಮೆಟಾಲಿಕ್ ಅಮಾಲ್ಗಮ್ಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಇತರ ಬಂಧ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಗ್ಲಾಸ್ ಫ್ರಿಟ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಿವೆ. ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ಕವರ್ಗಳನ್ನು ಬಂಧಿಸುವ ಬದಲು ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಕವರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸುವ ಮೂಲಕ ಸುತ್ತುವರಿದ ಕುಳಿಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಯಿತು. ಈ ತಂತ್ರಗಳು ಸೀಲಿಂಗ್ ರಚನೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಡೈ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಬಳಸುವುದಿಲ್ಲ ಎಂಬ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದವು, ಕವರ್ಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಅವುಗಳಿಗೆ ಎರಡನೇ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿರಲಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಸಾಧನದ ವೇಫರ್ಗಳು ತೆಳ್ಳಗಿರುತ್ತಿದ್ದವು. ಆವರ್ತನ ಉಲ್ಲೇಖಗಳಿಗೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿ ದಶಲಕ್ಷಕ್ಕೆ 100 ಭಾಗಗಳು (ಪಿಪಿಎಂ) ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಸ್ಥಿರತೆಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಆರಂಭಿಕ ಕವರ್ ಮತ್ತು ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಕುಳಿಗಳಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಮಾಣದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಿದವು. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ಮತ್ತು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅವು ಸಣ್ಣ ಪರಿಮಾಣದಿಂದ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದರಿಂದ, ಅವು ಸಾಮೂಹಿಕ ಲೋಡಿಂಗ್ಗೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ನೀರು ಅಥವಾ ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್ಗಳಂತಹ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳ ಏಕ-ಪರಮಾಣು ಪದರಗಳು ಸಹ ಅನುರಣಕದ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯ ಹೊರಗೆ ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು. ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ವಯಸ್ಸಾದಾಗ ಅಥವಾ ತಾಪಮಾನವು ಆವರ್ತಿಸಿದಾಗ, ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಚಲಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ಅಥವಾ ಹೊರಗೆ ವರ್ಗಾವಣೆಯಾಗಬಹುದು. ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಯು ಸಾವಿರಾರು ಪಿಪಿಎಂನ ಹಿಸ್ಟರೆಸಿಸ್ ಅನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಇದು ವಾಸ್ತವಿಕವಾಗಿ ಎಲ್ಲಾ ಆವರ್ತನ ಉಲ್ಲೇಖ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸ್ವೀಕಾರಾರ್ಹವಲ್ಲ. ಸೀಲಿಂಗ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ನಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಹೊರಹೊಮ್ಮಿದ ಕಾರಣ ಗಾಜಿನ ಫ್ರಿಟ್ ಸೀಲುಗಳೊಂದಿಗೆ ಆರಂಭಿಕ ಮುಚ್ಚಿದ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಅಸ್ಥಿರವಾಗಿದ್ದವು. ಇದನ್ನು ನಿವಾರಿಸಲು, ಕುಳಿಗಳೊಳಗೆ ಗೇಟರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲಾಯಿತು. ಗೆಟ್ಟರ್ಗಳು ಕುಳಿಗಳನ್ನು ಮುಚ್ಚಿದ ನಂತರ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗೆಟ್ಟರ್ಗಳು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಸಹ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ದುಬಾರಿಯಾಗಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ ಈ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ನಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಕ್ಲೀನರ್ ಕವರ್ ಬಾಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಪರವಾಗಿ ನಿಲ್ಲಿಸಲಾಗುತ್ತಿದೆ. ಅಂತೆಯೇ, ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಆವರಣವು ಕುಹರಗಳಲ್ಲಿ ತಯಾರಿಕೆಯ ಉಪಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಬಲೆಗೆ ಬೀಳಿಸಬಹುದು. ಇದನ್ನು ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಆಧರಿಸಿದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ಅನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಯಿತು. ಈ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಸೀಲಿಂಗ್ (ಎಪಿಸಿಯಲ್) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅಸಾಧಾರಣವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಕಂಡುಬಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಅನುರಣಕಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಆವರ್ತನ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್ ಆರಂಭಿಕ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿ, ಸಂಶೋಧಕರು ಗುರಿ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಆವರ್ತನಗಳಲ್ಲಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲು ಮತ್ತು ಆ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ತಾಪಮಾನಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಪ್ರಯತ್ನಿಸಿದರು. ಈ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಪರಿಹರಿಸುವ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಸ್ಫಟಿಕಕ್ಕೆ ಬಳಸುವ ವಿಧಾನಗಳಿಗೆ ಹೋಲುವ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಸರಿದೂಗಿಸುವ ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಸೇರಿವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಈ ತಂತ್ರಗಳು ತಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಸೀಮಿತ ಮತ್ತು ದುಬಾರಿ ಎಂದು ಕಂಡುಬಂದಿದೆ. ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ವಿದ್ಯುನ್ಮಾನವಾಗಿ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳಿಗೆ ಬದಲಾಯಿಸುವುದು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪರಿಹಾರವಾಗಿತ್ತು. ಇದು ಅನುರಣಕಗಳನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ ಎಂಬ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ಹೊಂದಿತ್ತು; ಬದಲಿಗೆ ಅವುಗಳ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಅಳೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಆಂದೋಲಕ ಐಸಿಗಳಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ತ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್ ಗುಣಾಂಕಗಳನ್ನು ದಾಖಲಿಸಬಹುದು. ಇದಲ್ಲದೆ, ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ವಿದ್ಯುನ್ಮಾನವಾಗಿ ಅಳೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಮೇಲೆ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಆವರ್ತನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಸರಿದೂಗಿಸಲು ಆವರ್ತನ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು. ಸಿಗ್ನಲ್ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು ವಿವಿಧ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಸಿಗ್ನಲ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವಿಶೇಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಗಡಿಯಾರಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಇವುಗಳಲ್ಲಿ, ಪ್ರಮುಖ ವಿಶೇಷಣಗಳೆಂದರೆ ಹಂತದ ಶಬ್ದ ಮತ್ತು ಆವರ್ತನ ಸ್ಥಿರತೆ. ರೆಸೊನೇಟರ್ನ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು (ಎಫ್) ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅಂಶಗಳನ್ನು (ಕ್ಯೂ) ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಮೂಲಕ ಹಂತದ ಶಬ್ದವನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಡ್ರೈವ್ ಅನ್ನು ನಿಲ್ಲಿಸಿದ ನಂತರ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಎಷ್ಟು ಸಮಯದವರೆಗೆ ರಿಂಗ್ ಆಗುತ್ತವೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಕ್ಯೂ ನಿರ್ದಿಷ್ಟಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಅಥವಾ ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳಾಗಿ ನೋಡಿದಾಗ ಅವುಗಳ ಪಾಸ್-ಬ್ಯಾಂಡ್ಗಳು ಎಷ್ಟು ಕಿರಿದಾಗಿವೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಕ್ಯೂ ಟೈಮ್ಸ್ ಎಫ್, ಅಥವಾ ಕ್ಯೂಎಫ್ ಉತ್ಪನ್ನವು ಹತ್ತಿರದ ವಾಹಕ ಹಂತದ ಶಬ್ದವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ. ಆರಂಭಿಕ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಉಲ್ಲೇಖಕ್ಕಾಗಿ ಸ್ವೀಕಾರಾರ್ಹವಲ್ಲದ ಕಡಿಮೆ ಕ್ಯೂಎಫ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ತೋರಿಸಿದವು. ಗಮನಾರ್ಹ ಸೈದ್ಧಾಂತಿಕ ಕೆಲಸವು ಆಧಾರವಾಗಿರುವ ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರವನ್ನು ಸ್ಪಷ್ಟಪಡಿಸಿದರೆ, ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಕೆಲಸವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕ್ಯೂಎಫ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿತು. ಪ್ರಸ್ತುತ ಲಭ್ಯವಿರುವ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಕ್ಯೂಎಫ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ವಾಸ್ತವಿಕವಾಗಿ ಎಲ್ಲಾ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ರೆಸೊನೇಟರ್ ರಚನಾತ್ಮಕ ವಿನ್ಯಾಸ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮೋಡ್ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಲಂಗರು ಹಾಕುವ ವಿಧಾನಗಳು, ಕಿರಿದಾದ-ಅಂತರದ ಸಂಜ್ಞಾಪರಿವರ್ತಕಗಳು, ರೇಖೀಯತೆ ಮತ್ತು ಶ್ರೇಣಿಯ ರಚನೆಗಳು ಗಮನಾರ್ಹ ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಯತ್ನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡವು. ಅಗತ್ಯವಾದ ಆವರ್ತನ ನಿಖರತೆಗಳು ಪ್ರೊಸೆಸರ್ ಗಡಿಯಾರಕ್ಕೆ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸಡಿಲವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 50 ರಿಂದ 100 ಪಿಪಿಎಂ ವರೆಗೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಡೇಟಾ ಗಡಿಯಾರಕ್ಕೆ ನಿಖರವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 2.5 ಪಿಪಿಎಂ ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಈ ಹಂತಗಳೊಳಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಬಹುದು ಎಂದು ಸಂಶೋಧನೆ ತೋರಿಸಿದೆ. ವಾಣಿಜ್ಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಈಗ 0.05 ಪಿಪಿಎಂಗೆ ಲಭ್ಯವಿವೆ, ಇದು ಬಹುಪಾಲು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ಆವರ್ತನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಬೆಂಬಲ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಯನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುವ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಪ್ರಮುಖ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಮತ್ತು ಪಿಎಲ್ಎಲ್ ವಿನ್ಯಾಸದಲ್ಲಿದ್ದವು. ಇತ್ತೀಚಿನ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಗಳು ಸಬ್-ಪಿಕೋಸೆಕೆಂಡ್ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಜಿಟ್ಟರ್ ಹೊಂದಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಸೀರಿಯಲ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಿವೆ. ಯು. ಎಸ್. ಡಿಫೆನ್ಸ್ ಅಡ್ವಾನ್ಸ್ಡ್ ರಿಸರ್ಚ್ ಪ್ರಾಜೆಕ್ಟ್ಸ್ ಏಜೆನ್ಸಿ (ಡಿಎಆರ್ಪಿಎ) ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಸಂಶೋಧನೆಗೆ ಧನಸಹಾಯ ನೀಡಿತು, ಅದು ಮೇಲೆ ವಿವರಿಸಿದ ಬೆಳವಣಿಗೆಗಳಿಗೆ ಮೂಲ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಿತು. 2001 ಮತ್ತು 2002ರಲ್ಲಿ, ಡಿಎಆರ್ಪಿಎ ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಹೈ ಸ್ಟೆಬಿಲಿಟಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ನ್ಯಾನೋ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಅರೇ ಸಿಗ್ನಲ್ ಪ್ರೊಸೆಸರ್ಗಳು (ಎನ್ಎಂಎಎಸ್ಪಿ) ಮತ್ತು ಹರ್ಷ್ ಎನ್ವಿರಾನ್ಮೆಂಟ್ ರೋಬಸ್ಟ್ ಮೈಕ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ (ಎಚ್ಇಆರ್ಎಂಐಟಿ) ಕಾರ್ಯಕ್ರಮಗಳನ್ನು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿತು. ಈ ಕೆಲಸವು ಫಲಪ್ರದವಾಗಿತ್ತು ಮತ್ತು ಸಾಹಸೋದ್ಯಮ ಬಂಡವಾಳದಿಂದ ಧನಸಹಾಯ ಪಡೆದ ನವೋದ್ಯಮಗಳು ವಾಣಿಜ್ಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುವ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿತು. ಈ ನವೋದ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿ 2001ರಲ್ಲಿ ಡಿಸೆರಾ, 2004ರಲ್ಲಿ ಸಿಟೈಮ್, 2006ರಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕ್ಲಾಕ್ಸ್ ಮತ್ತು 2006ರಲ್ಲಿ ಹಾರ್ಮೋನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳು ಸೇರಿದ್ದವು. ಸಿಟೈಮ್ 2006ರಲ್ಲಿ ಮೊದಲ ಉತ್ಪಾದನಾ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ ಅನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿತು, ನಂತರ 2007ರಲ್ಲಿ ಡಿಸೆರಾವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿತು. ಹಾರ್ಮೋನಿಕ್ ಡಿವೈಸಸ್ ತನ್ನ ಗಮನವನ್ನು ಸಂವೇದಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಿಗೆ ಬದಲಾಯಿಸಿತು ಮತ್ತು ಇದನ್ನು 2010 ರಲ್ಲಿ ಕ್ವಾಲ್ಕಾಮ್ ಖರೀದಿಸಿತು. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಗಡಿಯಾರಗಳು ಎಂದಿಗೂ ವಾಣಿಜ್ಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಲಿಲ್ಲ ಮತ್ತು 2010ರಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಲ್ಯಾಬ್ಸ್ ಇದನ್ನು ಖರೀದಿಸಿತು. ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸ್ಪರ್ಧಿಗಳು ಸ್ಯಾಂಡ್ 9 ಮತ್ತು ವಿಟಿಐ ಟೆಕ್ನಾಲಜೀಸ್ ಸೇರಿದಂತೆ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ತಮ್ಮ ಉದ್ದೇಶವನ್ನು ಘೋಷಿಸಿದ್ದಾರೆ. ಮಾರಾಟದ ಪ್ರಮಾಣದಿಂದ, ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ಅವರೋಹಣ ಕ್ರಮದಲ್ಲಿ ಸಿಟೈಂ ಮತ್ತು ಡಿಸೆರಾ ಎಂದು ಸ್ಥಾನ ಪಡೆದಿದ್ದಾರೆ. ಹಲವಾರು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಮರುಮಾರಾಟ ಮಾಡುತ್ತಾರೆ. 2011ರ ಮಧ್ಯದ ವೇಳೆಗೆ ಒಟ್ಟು 50 ದಶಲಕ್ಷ ಘಟಕಗಳನ್ನು ರವಾನಿಸಿರುವುದಾಗಿ ಸಿಟೈಮ್ ಘೋಷಿಸಿತು. ಇತರರು ಮಾರಾಟದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಿಲ್ಲ. ಆಪರೇಷನ್ ಒನ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನಗಳಲ್ಲಿ ಮೊಳಗುವ ಸಣ್ಣ ಗಂಟೆಗಳೆಂದು ಭಾವಿಸಬಹುದು. ಸಣ್ಣ ಗಂಟೆಗಳು ದೊಡ್ಡ ಗಂಟೆಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನಗಳಲ್ಲಿ ಮೊಳಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರುವುದರಿಂದ ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನಗಳಲ್ಲಿ ಮೊಳಗುತ್ತವೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ಗಂಟೆಗಳು ಮೀಟರ್ಗಳಿಂದ ಸೆಂಟಿಮೀಟರ್ಗಳವರೆಗೆ ಅಡ್ಡಲಾಗಿ ಮತ್ತು ನೂರಾರು ಹರ್ಟ್ಜ್ಗಳಿಂದ ಕಿಲೋಹರ್ಟ್ಜ್ವರೆಗೆ ರಿಂಗ್ ಆಗುತ್ತವೆ; ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಮಿಲಿಮೀಟರ್ನ ಹತ್ತನೇ ಒಂದು ಭಾಗಕ್ಕೆ ಅಡ್ಡಲಾಗಿ ಮತ್ತು ಹತ್ತಾರು ಕಿಲೋಹರ್ಟ್ಜ್ವರೆಗೆ ನೂರಾರು ಮೆಗಾಹರ್ಟ್ಜ್ವರೆಗೆ ರಿಂಗ್ ಆಗುತ್ತವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಗಿಗಾಹರ್ಟ್ಜ್ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ಗಂಟೆಗಳನ್ನು ಯಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಹೊಡೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ವಿದ್ಯುತ್ ಚಾಲಿತವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲು ಎರಡು ಮೂಲ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅದು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಚಲನೆಯಿಂದ ವಿದ್ಯುತ್ ಡ್ರೈವ್ ಮತ್ತು ಇಂದ್ರಿಯ ಸಂಕೇತಗಳನ್ನು ಹೇಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಎಂಬುದರಲ್ಲಿ ಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ. ಇವು ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಮತ್ತು ಪೀಜೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಆಗಿವೆ. ಎಲ್ಲಾ ವಾಣಿಜ್ಯ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಶೋಧಕಗಳು ಪೀಜೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಪೀಜೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಆವರ್ತನ ಉಲ್ಲೇಖ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸಾಕಷ್ಟು ಆವರ್ತನ ಸ್ಥಿರತೆ ಅಥವಾ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅಂಶವನ್ನು (ಕ್ಯೂ) ತೋರಿಸಿಲ್ಲ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಸ್ಟೈನಿಂಗ್ ಆಂಪ್ಸ್ ನಿರಂತರ ಆಂದೋಲನದಲ್ಲಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಓಡಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಆಂಪ್ಲಿಫೈಯರ್ಗಳು ರೆಸೊನೇಟರ್ ಚಲನೆಯನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಓಡಿಸುತ್ತವೆ. ಸೂಕ್ತವಾದ ವೈಶಾಲ್ಯಗಳಲ್ಲಿ ಅನುರಣಕಗಳ ಚಲನೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಶಬ್ದ ಔಟ್ಪುಟ್ ಗಡಿಯಾರ ಸಂಕೇತಗಳನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಲು ಅವುಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಫ್ರ್ಯಾಕ್ಷನಲ್-ಎನ್ ಫೇಸ್ ಲಾಕ್ ಲೂಪ್ಗಳು (ಎಫ್ಆರ್ಸಿ-ಎನ್ ಪಿಎಲ್ಎಲ್ಗಳು) ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು ಅನುರಣಕದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಆಂದೋಲಕದ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳಿಗೆ ಗುಣಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಅತ್ಯಂತ ವಿಶೇಷವಾದ ಪಿಎಲ್ಎಲ್ಗಳು ಡಿಜಿಟಲ್ ಸ್ಟೇಟ್ ಯಂತ್ರಗಳ ನಿಯಂತ್ರಣದಲ್ಲಿ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸುತ್ತವೆ. ಸ್ಟೇಟ್ ಯಂತ್ರಗಳನ್ನು ಅಸ್ಥಿರವಲ್ಲದ ಸ್ಮರಣೆಯಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾದ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ಪ್ರೋಗ್ರಾಂ ಡೇಟಾದಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಸರಿದೂಗಿಸಲು ಪಿಎಲ್ಎಲ್ ಸಂರಚನೆಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಬಳಕೆದಾರ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ರಾಜ್ಯ ಯಂತ್ರಗಳನ್ನು ಸಹ ನಿರ್ಮಿಸಬಹುದು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಸ್ಪ್ರೆಡ್-ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಮ್ ಕ್ಲಾಕಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವೋಲ್ಟೇಜ್ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಆವರ್ತನ ಟ್ರಿಮ್ಮಿಂಗ್. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಗಡಿಯಾರ ಜನರೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಮಧ್ಯಭಾಗದಲ್ಲಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆರ್ಟಿಸಿಗಳು ಆಂದೋಲಕಗಳಂತೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಆದರೆ ಕಡಿಮೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ದಿನಾಂಕ ಮತ್ತು ಸಮಯವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಸಹಾಯಕ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ಕಡಿಮೆ ಶಕ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅವುಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಆವರ್ತನದ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ಅಗತ್ಯವಾದ ಸಮಯದ ನಿಖರತೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುವಾಗ ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ವಿನ್ಯಾಸದಲ್ಲಿ ಕಾಳಜಿಯನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ. ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ತಯಾರಿಕೆ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಪ್ರಕಾರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ, ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ವಿಶೇಷ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಫ್ಯಾಬ್ ಅಥವಾ ಸಿಎಮ್ಒಎಸ್ ಫೌಂಡರಿಯಲ್ಲಿ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ರೆಸೊನೇಟರ್ ಮತ್ತು ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ವಿನ್ಯಾಸದೊಂದಿಗೆ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ ರಚನೆಗಳು ಶಿಲಾಮುದ್ರಣ ಮಾದರಿಯಲ್ಲಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಅದರ ಮೇಲೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ-ಕೆತ್ತಲಾಗಿದೆ. ಎಲ್ಲಾ ವಾಣಿಜ್ಯ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಪಾಲಿ ಅಥವಾ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ನಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಟ್ಯಾಟಿಕ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಡ್ಯೂಸ್ಡ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳಲ್ಲಿ ಕಿರಿದಾದ ಮತ್ತು ಚೆನ್ನಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಡ್ರೈವ್ ಮತ್ತು ಸೆನ್ಸ್ ಕೆಪಾಸಿಟರ್ ಅಂತರಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುವುದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ. ಇವುಗಳು ಉದಾಹರಣೆಗೆ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಪಾರ್ಶ್ವವಾಗಿರಬಹುದು ಅಥವಾ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಪಕ್ಕದಲ್ಲಿ ಲಂಬವಾಗಿರಬಹುದು. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಆಯ್ಕೆಯು ತನ್ನದೇ ಆದ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಎರಡನ್ನೂ ವಾಣಿಜ್ಯಿಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ರೆಸೊನೇಟರ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ಕವರ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಬಂಧಿಸುವ ಮೂಲಕ ಅಥವಾ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಆವರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇಲ್ಲಿ ಮತ್ತೆ, ಎರಡೂ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ವಾಣಿಜ್ಯಿಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಬಾಂಡೆಡ್ ಕವರ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸಬೇಕು. ಎರಡು ಆಯ್ಕೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಗ್ಲಾಸ್ ಫ್ರಿಟ್ ಬಾಂಡ್ ರಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಮೆಟಾಲಿಕ್ ಬಾಂಡ್ ರಿಂಗ್. ಗಾಜಿನ ಫ್ರಿಟ್ ಹೆಚ್ಚು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆದ್ದರಿಂದ ಚಲಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಕಂಡುಬಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಇದನ್ನು ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಎನ್ಕ್ಯಾಪ್ಸುಲೇಷನ್ಗಾಗಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳ ರಚನೆಗಳನ್ನು ಆಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ಪದರಗಳಿಂದ ಮುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ, ನಂತರ ಸುತ್ತಮುತ್ತಲಿನ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದು ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ನಿಂತಿರುವ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುವ ಮೂಲಕ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಶೇಖರಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಮುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿ ಸುಸ್ಥಿರ ಆಂಪಿಯರ್ಗಳು, ಪಿಎಲ್ಎಲ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಹಾಯಕ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳನ್ನು ಸಿಎಮ್ಓಎಸ್ ಫೌಂಡರಿಗಳಲ್ಲಿ ತಯಾರಿಸಲಾದ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಮಿಶ್ರ-ಸಿಗ್ನಲ್ ಸಿಎಮ್ಓಎಸ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ಅದೇ ಐಸಿ ಡೈನಲ್ಲಿ ಸಿಎಮ್ಓಎಸ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿತ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸಲಾಗಿದೆ ಆದರೆ ಇಲ್ಲಿಯವರೆಗೆ ಈ ಏಕರೂಪದ ಏಕೀಕರಣವು ವಾಣಿಜ್ಯಿಕವಾಗಿ ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾಗಿಲ್ಲ. ಬದಲಾಗಿ, ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಎಮ್ಒಎಸ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಯನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕ ಡೈನಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಅವುಗಳನ್ನು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಸಂಯೋಜಿಸುವುದು ಪ್ರಯೋಜನಕಾರಿಯಾಗಿದೆ. ಈ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಒಂದೇ ಪ್ಯಾಕೇಜಿನಲ್ಲಿ ಅನೇಕ ಡೈಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವುದನ್ನು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಏಕೀಕರಣ ಅಥವಾ ಸರಳವಾಗಿ ಡೈ ಸ್ಟ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಸಣ್ಣ ಚಿಪ್-ಮಟ್ಟದ ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಸುತ್ತುವರಿದಿರುವ ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳಿಂದ ಕತ್ತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ರೆಸೊನೇಟರ್ ಡೈ ಅನ್ನು ಸಿಎಮ್ಓಎಸ್ ಡೈ ಮೇಲೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ಗಳಾಗಿ ಅಚ್ಚು ಮಾಡಿ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಅದೇ ಕಾರ್ಖಾನೆಗಳಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಐಸಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ಗೆ ಬಳಸುವ ಅದೇ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕಸ್ಟಮ್-ನಿರ್ಮಿತ ಕಾರ್ಖಾನೆಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸಲಾದ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಇದು ಅವುಗಳ ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಗೆ ಗಮನಾರ್ಹ ಕೊಡುಗೆಯಾಗಿದೆ. ಪ್ಯಾಕೇಜ್ ಆಯಾಮಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಡ್ ಆಕಾರಗಳು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವುದರಿಂದ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಬೋರ್ಡ್ ಮಾರ್ಪಾಡು ಅಥವಾ ಮರು-ವಿನ್ಯಾಸದ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದೇ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಪಿಸಿಬಿಗಳಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಬಹುದು. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಎಮ್ಒಎಸ್ ಐಸಿಗಳು ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತಿವೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಟ್ರಿಮ್ ಮಾಡುತ್ತಿವೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಲು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರೀಕ್ಷೆಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಎಮ್ಒಎಸ್ ಐಸಿಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಿಸುತ್ತವೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಅನೇಕ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಪರೀಕ್ಷಾ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಂರಚಿಸಬಹುದಾದ ಪ್ರೊಗ್ರಾಮೆಬಲ್ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಸಹಜವಾಗಿ, ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ವಿಶೇಷ CMOS ಮತ್ತು MEMS ಡೈಗಳಿಂದ ಸಂರಚಿಸಲಾಗಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಕಡಿಮೆ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಒಂದೇ ಡೈನಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಆಂದೋಲಕಗಳಿಗೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ನಿಖರತೆಯ ಆಂದೋಲಕಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಐಸಿಗಳಂತೆಯೇ ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನಂತೆಯೇ, ಇದನ್ನು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಐಸಿ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸಾಧನಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಐಸಿ ಕಾರ್ಖಾನೆಗಳಲ್ಲಿ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್ ಐಸಿ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷಾ ಸೌಲಭ್ಯಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು (ಐಸಿ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಬ್ಕಾನ್ಗಳು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ) ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸ್ಕೇಲೆಬಿಲಿಟಿಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಈ ಸೌಲಭ್ಯಗಳು ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ದಿನಕ್ಕೆ ನೂರಾರು ಮಿಲಿಯನ್ ಐಸಿಗಳು. ಈ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಅನೇಕ ಐಸಿ ಕಂಪನಿಗಳಲ್ಲಿ ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಐಸಿಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು, ಅಥವಾ ಈ ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು, ಪ್ರಮಾಣಿತ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಹಂಚುವ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ವಿರುದ್ಧವಾಗಿ, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಆಂದೋಲಕ ಕಾರ್ಖಾನೆಗಳು ಪ್ರಕೃತಿಯಲ್ಲಿ ಏಕ-ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ರಾಂಪಿಂಗ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಕಸ್ಟಮ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ನಿಗದಿಪಡಿಸುವುದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ದುಬಾರಿ ಮತ್ತು ಸಮಯ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಮತ್ತು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸಿದಾಗ, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ಮಾರಾಟ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳನ್ನು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಎಂಜಿನಿಯರ್ಗಳು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತಾರೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸುವ ಆಧಾರರೇಖೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ. ಇತ್ತೀಚಿನ ಬೆಳವಣಿಗೆಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್-ಆಧಾರಿತ ಸಮಯದ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಹೋಲುವ ಮತ್ತು ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ ಉತ್ತಮವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ನೀಡಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಟ್ಟಿವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕ ಸಂಕೇತದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಹಂತದ ಶಬ್ದದಿಂದ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಈಗ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸಾಕಾಗುತ್ತದೆ. 10 MHz ನಿಂದ 10 kHz ನಲ್ಲಿ −150 dBc ಹಂತದ ಶಬ್ದವು ಈಗ ಲಭ್ಯವಿದೆ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ರೇಡಿಯೋ ಆವರ್ತನ (RF) ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಮಾತ್ರ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಮಟ್ಟವಾಗಿದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು ಈಗ 1 ಪಿಕೋಸೆಕೆಂಡ್ನ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಸಂಯೋಜಿತ ಜಿಟ್ಟರ್ನೊಂದಿಗೆ ಲಭ್ಯವಿವೆ, ಇದನ್ನು 12 ಕಿಲೋಹರ್ಟ್ಝ್ನಿಂದ 20 ಮೆಗಾಹರ್ಟ್ಝ್ಗೆ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎಸ್ಒಎನ್ಇಟಿ ಮತ್ತು ಸಿಂಕ್ನಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಸೀರಿಯಲ್ ಡೇಟಾ ಲಿಂಕ್ಗಳಿಗೆ ಮತ್ತು ಕೆಲವು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಅಲ್ಪಾವಧಿಯ ಸ್ಥಿರತೆ, ಆರಂಭಿಕ ಸಮಯ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆಯು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ನಂತೆಯೇ ಇರುತ್ತದೆ. ಕೆಲವು ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ, ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ತಾಪಮಾನ-ಪರಿಹಾರ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು (ಟಿಸಿಎಕ್ಸ್ಒಗಳು) ಇತ್ತೀಚೆಗೆ ತಾಪಮಾನಕ್ಕಿಂತ ± 0.1 ಪಿಪಿಎಂ ಆವರ್ತನ ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಘೋಷಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದು ಅತ್ಯಂತ ಉನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟಿಸಿಎಕ್ಸ್ಒಗಳು ಮತ್ತು ಓವನ್-ನಿಯಂತ್ರಿತ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು (ಒಸಿಎಕ್ಸ್ಒಗಳು) ಹೊರತುಪಡಿಸಿ ಎಲ್ಲರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಮೀರಿಸುತ್ತದೆ. ಎಂ. ಇ. ಎಂ. ಎಸ್. ಟಿ. ಸಿ. ಎಕ್ಸ್. ಓ. ಗಳು ಈಗ 100 ಮೆಗಾಹರ್ಟ್ಝ್ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳೊಂದಿಗೆ ಲಭ್ಯವಿವೆ, ಈ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಕೆಲವು ವಿಶೇಷವಾದ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು (ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ತಲೆಕೆಳಗಾದ ಮೆಸಾ) ಮಾತ್ರ ಒದಗಿಸಬಲ್ಲವು. ಆರ್. ಟಿ. ಸಿ. ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಎಂ. ಇ. ಎಂ. ಎಸ್. ಆಂದೋಲಕಗಳು ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಬೆಸುಗೆ-ಕೆಳ ಶಿಫ್ಟ್ ಗಿಂತ ಆವರ್ತನ ಸ್ಥಿರತೆಯ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟ್ಯೂನಿಂಗ್ ಫೋರ್ಕ್ಗಳಿಗಿಂತ ಸ್ವಲ್ಪ ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತಿವೆ, ಆದರೆ ಕಡಿಮೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಇನ್ನೂ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ. ಬಳಕೆದಾರರಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವಿವಿಧ ವಿಶೇಷಣಗಳಿಗೆ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಸಂಗ್ರಹಿಸುವುದು ಕಷ್ಟ. ವಿವಿಧ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಆವರ್ತನಗಳು, ನಿಖರತೆಯ ಮಟ್ಟಗಳು, ಸಿಗ್ನಲ್ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮಟ್ಟಗಳು, ಪ್ಯಾಕೇಜ್ ಗಾತ್ರಗಳು, ಪೂರೈಕೆ ವೋಲ್ಟೇಜ್ಗಳು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಇವುಗಳ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಭಾಗ ಸಂಖ್ಯೆಗಳ ಪ್ರಸರಣಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಸ್ಟಾಕಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಅಪ್ರಾಯೋಗಿಕವಾಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘ ಉತ್ಪಾದನಾ ಲೀಡ್ ಟೈಮ್ಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಎಮ್ಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಸದುಪಯೋಗಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ ವೈವಿಧ್ಯತೆಯ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಪರಿಹರಿಸುತ್ತಾರೆ. ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಯಸಿದ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಗಳಲ್ಲಿ ಚಾಲಿತವಾದ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಸ್ಫಟಿಕಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗುತ್ತದೆಯಾದರೂ, ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಒಂದು ಆವರ್ತನದಲ್ಲಿ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಓಡಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಇದನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ ಔಟ್ಪುಟ್ ಆವರ್ತನಕ್ಕೆ ಗುಣಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ, ಎಂಇಎಂಎಸ್ ರೆಸೊನೇಟರ್ಗಳು ಅಥವಾ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳನ್ನು ಮರುವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸದೆ ನೂರಾರು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಆವರ್ತನಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಂದರ್ಭಿಕ ಕಸ್ಟಮ್ ಆವರ್ತನವನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು. ವಿವಿಧ ವರ್ಗದ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ರೆಸೊನೇಟರ್, ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು ಅಥವಾ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದಲ್ಲಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿವೆ, ಆದರೆ ಈ ವರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ ಆವರ್ತನ ಅನುವಾದ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಡವಾಗಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರೋಗ್ರಾಮ್ ಮಾಡಬಹುದು. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಡವಾಗುವವರೆಗೆ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಲಾಗದ ಕಾರಣ, ಪ್ರಮುಖ ಸಮಯವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರಬಹುದು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಲವು ವಾರಗಳು. ತಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ, ಎಮ್ಇಎಮ್ಎಸ್ನಲ್ಲಿ ಬಳಸುವಂತಹ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್-ಕೇಂದ್ರಿತ ಪ್ರೊಗ್ರಾಮೆಬಲ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು, ಆದರೆ ಐತಿಹಾಸಿಕವಾಗಿ ಅಲ್ಪ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಮಾತ್ರ ಈ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಆಘಾತ ಮತ್ತು ಕಂಪನಗಳಿಗೆ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದವುಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತೋರಿಸಿವೆ. ಸೂಕ್ತವಾದ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಫಟಿಕದ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸೆಲ್ ಫೋನ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಸೆಟ್ಗಳಿಗಾಗಿ ವೋಲ್ಟೇಜ್-ನಿಯಂತ್ರಿತ ಟಿಸಿಎಕ್ಸ್ಒಗಳು (ವಿಸಿಟಿಸಿಎಕ್ಸ್ಒಗಳು) ಆ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಈ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾದ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಇದಕ್ಕಾಗಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಹೊಂದುವಂತೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯ ಅತ್ಯಂತ ಎತ್ತರದ ತುದಿಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಇವುಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿ ಶತಕೋಟಿಗೆ ಕೆಲವು ಭಾಗಗಳಲ್ಲಿ (ಪಿಪಿಬಿ) ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲ ಒಸಿಎಕ್ಸ್ಒಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನಗಳಲ್ಲಿ 100 ಫೆಮ್ಟೊಸೆಕೆಂಡ್ಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಜಿಟ್ಟರ್ ಅನ್ನು ತಲುಪಿಸಬಲ್ಲ ಮೇಲ್ಮೈ ಅಕೌಸ್ಟಿಕ್ ತರಂಗ (ಎಸ್ಎಡಬ್ಲ್ಯೂ) ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು ಸೇರಿವೆ. ಇತ್ತೀಚಿನವರೆಗೂ, ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು ಟಿಸಿಎಕ್ಸ್ಒ ಉತ್ಪನ್ನ ಶ್ರೇಣಿಯಲ್ಲಿ ಸ್ಪರ್ಧಿಸಲಿಲ್ಲ, ಆದರೆ ಹೊಸ ಉತ್ಪನ್ನ ಪರಿಚಯಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಆ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಗೆ ತಂದಿವೆ. ಗಡಿಯಾರ ಜನರೇಟರ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಇನ್ನೂ ಪ್ರಬಲವಾಗಿದೆ. ಈ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ವಿಶೇಷವಾದ ಔಟ್ಪುಟ್ ಸಂಯೋಜನೆಗಳು ಮತ್ತು ಕಸ್ಟಮ್ ಪ್ಯಾಕೇಜುಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಈ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯು ವಿಶೇಷವಾದದ್ದು ಮತ್ತು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕ ಪೂರೈಕೆದಾರರನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವುದಿಲ್ಲ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಕಂಪ್ಯೂಟಿಂಗ್, ಗ್ರಾಹಕ, ನೆಟ್ವರ್ಕಿಂಗ್, ಸಂವಹನ, ವಾಹನ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಬದಲಿಸುತ್ತಿವೆ. ಪಿಸಿಐ-ಎಕ್ಸ್ಪ್ರೆಸ್, ಎಸ್ಎಟಿಎ, ಎಸ್ಎಎಸ್, ಪಿಸಿಐ, ಯುಎಸ್ಬಿ, ಗಿಗಾಬಿಟ್ ಎಥರ್ನೆಟ್, ಎಂಪಿಇಜಿ ವಿಡಿಯೋ ಮತ್ತು ಕೇಬಲ್ ಮೋಡೆಮ್ಗಳಂತಹ ಸ್ಥಿರ-ಆವರ್ತನ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರೊಗ್ರಾಮೆಬಲ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ದತ್ತಾಂಶ ಸರ್ವರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಟೆಲಿಕಾಂ ಸ್ವಿಚ್ಗಳಂತಹ ಅನೇಕ ಆವರ್ತನಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸಂಕೀರ್ಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಗಡಿಯಾರ ಉತ್ಪಾದಕಗಳು ಉಪಯುಕ್ತವಾಗಿವೆ. ಎಂಇಎಂಎಸ್ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಗಡಿಯಾರಗಳನ್ನು ನಿಖರವಾದ ಸಮಯ ಮಾಪನಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅನಿಲ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ಗಾಗಿ ಸ್ಮಾರ್ಟ್ ಮೀಟರ್ಗಳು ಈ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ಬಳಸುತ್ತಿವೆ ಎಂಬುದಕ್ಕೆ ಉದಾಹರಣೆಯಾಗಿದೆ. ಆಸಿಲೇಟರ್ ಪ್ರಕಾರಗಳ ಹೆಸರುಗಳಲ್ಲಿನ "X" ಅನ್ನು ಮೂಲತಃ "ಸ್ಫಟಿಕ" ಎಂದು ಸೂಚಿಸಲಾಗುತ್ತಿತ್ತು. ಕೆಲವು ತಯಾರಕರು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸಲು ಈ ಸಂಪ್ರದಾಯವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದ್ದಾರೆ. ಇತರರು ಎಂಇಎಂಎಸ್-ಆಧಾರಿತ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ-ಆಧಾರಿತ ಆಂದೋಲಕಗಳಿಂದ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಲು "ಎಕ್ಸ್" ಗೆ ("ವಿಸಿಎಂಒ" ಮತ್ತು "ವಿಸಿಎಕ್ಸ್ಒ" ನಲ್ಲಿರುವಂತೆ) "ಎಂ" ಅನ್ನು ಬದಲಿಸುತ್ತಿದ್ದಾರೆ. ಮಿತಿಗಳು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳು ಹೀಲಿಯಂನಿಂದ ಹಾನಿಕರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು. ಆಸ್ಪತ್ರೆಯಲ್ಲಿ ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆಯು 2018 ರಲ್ಲಿ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಸಾಧನಗಳ ಸಾಮೂಹಿಕ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಯಿತು. 2 ಪ್ರತಿಶತದಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಹೀಲಿಯಂ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಆಂದೋಲಕದ ಸಂಪೂರ್ಣ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳ ಉಲ್ಲೇಖಗಳನ್ನು ಸಹ ನೋಡಿ ಅಮೇರಿಕನ್ ಆವಿಷ್ಕಾರಗಳು ಆಸಿಲೇಟರ್ಗಳು ಮೈಕ್ರೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೊಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು