Thin-film thickness monitor
ಥಿನ್-ಫಿಲ್ಮ್ ಥಿಕ್ನೆಸ್ ಮಾನಿಟರ್ಗಳು, ಶೇಖರಣೆ ದರ ನಿಯಂತ್ರಕಗಳು ಮತ್ತು ಮುಂತಾದವುಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಒಂದು ಕುಟುಂಬವಾಗಿದೆ. ಅವರು ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ದಪ್ಪವನ್ನು ಅಳೆಯಬಹುದು, ಅದನ್ನು ತಯಾರಿಸಿದ ನಂತರ ಮಾತ್ರವಲ್ಲ, ಅದನ್ನು ಇನ್ನೂ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗುತ್ತಿರುವಾಗ, ಮತ್ತು ಕೆಲವರು ಪದರದ ಅಂತಿಮ ದಪ್ಪ, ಅದನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುವ ದರ ಅಥವಾ ಎರಡನ್ನೂ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು. ಆಶ್ಚರ್ಯವೇನಿಲ್ಲ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕೆಲವು ಅಂಶಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಕಗಳು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸರಳವಾಗಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಮಾನಿಟರ್ಗಳು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಪಕರಣಗಳು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಮತೋಲನವನ್ನು ಸಂವೇದಕವಾಗಿ ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ; ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಾಧನದ ಭಾಗವಾಗಿದ್ದರೆ ಇದು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ದಪ್ಪ ಮಾನಿಟರ್ ಅದರ ಸಂವೇದಕದಲ್ಲಿ ಎಷ್ಟು ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸಿದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಅಳೆಯುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶೇಖರಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಕನಿಷ್ಠ ಸ್ವಲ್ಪಮಟ್ಟಿಗೆ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿರುತ್ತವೆ. ಸಂವೇದಕ ಮತ್ತು ಮಾದರಿಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಶೇಖರಣೆಯ ಮೂಲದಿಂದ ಒಂದೇ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಇರಲು ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ (ಅವು ಇದ್ದರೆ, ಮೂಲಕ್ಕೆ ಹತ್ತಿರವಿರುವ ಒಂದು ಇನ್ನೊಂದನ್ನು ನೆರಳು ಮಾಡುತ್ತದೆ), ಮತ್ತು ಅದರಿಂದ ಒಂದೇ ದೂರದಲ್ಲಿರಬಾರದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಸಂವೇದಕದಲ್ಲಿ ವಸ್ತುವನ್ನು ಠೇವಣಿ ಇಡುವ ದರವು ಮಾದರಿಯಲ್ಲಿ ಅದನ್ನು ಠೇವಣಿ ಇಡುವ ದರಕ್ಕೆ ಸಮನಾಗಿರುವುದಿಲ್ಲ. ಎರಡು ದರಗಳ ಅನುಪಾತವನ್ನು ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ "ಟೂಲಿಂಗ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರ್" ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಕೆಲಸ ಮಾಡಲು, ವಾಸ್ತವವಾಗಿ ನಂತರ ಕೆಲವು ಮಾದರಿಗಳ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾದ ವಸ್ತುಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಅಳೆಯುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ದಪ್ಪ ಮಾನಿಟರ್ ಅಳೆಯುವದರೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸುವ ಮೂಲಕ ಟೂಲಿಂಗ್ ಅಂಶವನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಬೇಕು. ಇದನ್ನು ಮಾಡಲು ಫಿಜೋ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರೊಫೈಲರ್ಗಳು, ಎಲಿಪ್ಸೊಮೆಟ್ರಿ, ಡ್ಯುಯಲ್ ಪೋಲರೈಸೇಶನ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೊಮೆಟ್ರಿ ಮತ್ತು ಮಾದರಿಯ ಅಡ್ಡ-ವಿಭಾಗಗಳ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ ಸೇರಿದಂತೆ ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಅನೇಕ ಇತರ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಅನೇಕ ದಪ್ಪ ಮಾನಿಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಕಗಳು ಶೇಖರಣೆ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುವ ಮೊದಲು ಉಪಕರಣದ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಸಾಧನಕ್ಕೆ ಪ್ರವೇಶಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತವೆ. ಸರಿಯಾದ ಟೂಲಿಂಗ್ ಅಂಶವನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ಲೆಕ್ಕ ಹಾಕಬಹುದುಃ ಇಲ್ಲಿ ಫೈ ಆರಂಭಿಕ ಟೂಲಿಂಗ್ ಅಂಶವಾಗಿದೆ, ಟಿಐ ಎಂಬುದು ಉಪಕರಣದಿಂದ ಸೂಚಿಸಲಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಟಿಎಂ ಎಂಬುದು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಫಿಲ್ಮ್ನ ನಿಜವಾದ, ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಅಳೆಯಲಾದ ದಪ್ಪವಾಗಿದೆ. ಯಾವುದೇ ಟೂಲಿಂಗ್ ಅಂಶವನ್ನು ಮೊದಲೇ ಹೊಂದಿಸದಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಬಳಸದಿದ್ದರೆ, ಫೈ 1 ಕ್ಕೆ ಸಮನಾಗಿರುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಅಳೆಯುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಉಲ್ಲೇಖಗಳು