Ion layer gas reaction
ಅಯಾನ್ ಲೇಯರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ರಿಯಾಕ್ಷನ್ (ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್®) ಎಂಬುದು ನಿರ್ವಾತವಲ್ಲದ, ತೆಳುವಾದ-ಪದರದ ಶೇಖರಣೆಯ ತಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ಜರ್ಮನಿಯ ಬರ್ಲಿನ್ನಲ್ಲಿರುವ ಹೆಲ್ಮ್ಹೋಲ್ಟ್ಜ್-ಜೆಂಟ್ರಂ ಬರ್ಲಿನ್ನಲ್ಲಿ ಪ್ರೊಫೆಸರ್ ಡಾ. ಕ್ರಿಶ್ಚಿಯನ್-ಹರ್ಬರ್ಟ್ ಫಿಶರ್ ಅವರ ಗುಂಪು ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಗಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದೆ ಮತ್ತು ಪೇಟೆಂಟ್ ಪಡೆದಿದೆ. ಇದು ಅನುಕ್ರಮ ಮತ್ತು ಆವರ್ತಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ತೆಳುವಾದ ಪದರಗಳ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುತೀಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಚಾಲ್ಕೊಪೈರೈಟ್ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರಗಳು ಮತ್ತು ಬಫರ್ ಪದರಗಳಿಗೆ (ಸೀಮಿತವಾಗಿಲ್ಲದಿದ್ದರೂ). ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ತಂತ್ರವನ್ನು ಜರ್ಮನ್ ಹೈಟೆಕ್ ಚಾಂಪಿಯನ್ 2011 ಎಂದು ಫ್ರೌನ್ಹೊಫರ್ ಸೊಸೈಟಿಯಿಂದ ನೀಡಲಾಯಿತು. ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ಒಂದು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಬಳಸದೆಯೇ ಪದರಗಳನ್ನು ಏಕರೂಪದ, ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಸ್ಥಿರವಾದ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಶೇಖರಣೆ ಮಾಡಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಅನುಕ್ರಮ ಮತ್ತು ಆವರ್ತಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಮತ್ತು ಅಳೆಯಬಹುದು. ಇದು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆಃ ಮುಳುಗಿಸುವ ಮೂಲಕ (ಡಿಪ್-ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್) ಅಥವಾ ಸಿಂಪಡಿಸುವ ಮೂಲಕ (ಸ್ಪ್ರೇ ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್) ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪೂರ್ವಸೂಚಕ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುವುದು. ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಚಾಲ್ಕೊಜೆನೈಡ್ ಅನಿಲದೊಂದಿಗೆ ಒಣ ಘನ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಪದರದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ. ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಪದರದ ದಪ್ಪವನ್ನು ಪಡೆಯುವವರೆಗೆ ಈ ಹಂತಗಳನ್ನು ಪುನರಾವರ್ತಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಪ್ರೇ-ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ನ ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿ, ಅಯಾನಿಕ್ ಪದರದ ಸ್ಪ್ರೇ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡದ ಏರೋಸಾಲ್ ನೆರವಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ ಅಥವಾ ಸ್ಪ್ರೇ ಪೈರೋಲಿಸಿಸ್ಗೆ ಹೋಲುವ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಪ್ರೇ ಪೈರೋಲಿಸಿಸ್ ಅನ್ನು ಸ್ಪ್ರೇ ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸರಳೀಕೃತ ಆವೃತ್ತಿಯೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಬಹುದು, ಅಲ್ಲಿ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಪದರವು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲದೊಂದಿಗೆ ಯಾವುದೇ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದಿಲ್ಲ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಆವರ್ತಕ ಸ್ವರೂಪವು ಇದನ್ನು ಪರಮಾಣು ಪದರ ಶೇಖರಣೆಗೆ (ಎಎಲ್ಡಿ) ಹೋಲುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಬಫರ್ ಪದರ ಶೇಖರಣೆಗೂ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಲ್ಮ್ಹೋಲ್ಟ್ಜ್-ಜೆಂಟ್ರಮ್ ಬರ್ಲಿನ್ನಲ್ಲಿನ ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ಮತ್ತು ಸ್ಪ್ರೇ-ಪೈರೋಲಿಸಿಸ್ ತಂತ್ರಗಳ ಅನ್ವಯಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಚಾಲ್ಕೊಪೈರೈಟ್ ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಸೌರ ಕೋಶಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿವೆ, ಆದಾಗ್ಯೂ ಈ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ತೆಳುವಾದ ಪದರಗಳೊಂದಿಗೆ ತಲಾಧಾರದ ಲೇಪನವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಇತರ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಬಳಸಬಹುದು. ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪಟ್ಟಿಯು ಈ ತಂತ್ರಗಳ ಅನ್ವಯಗಳನ್ನು ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆಃ ಚಾಲ್ಕೊಪೈರೈಟ್-ಆಧಾರಿತ ತೆಳುವಾದ-ಪದರದ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಬಫರ್ ಪದರಗಳುಃ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಸಿ. ಡಿ. ಎಸ್. ಅನ್ನು ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚು ಅನುಕೂಲಕರವಾದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಬದಲಾಯಿಸುವುದು (ಇನ್2ಎಸ್3, ಇತ್ಯಾದಿ). ವಿವಿಧ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲೆ ಸ್ಪ್ರೇ-ಇಲ್ಗರ್ ಬಳಸಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗಿದೆ. ನ್ಯಾನೊ-ಚುಕ್ಕೆಗಳ ಪಾಸಿವೇಶನ್ ಪದರಗಳುಃ ಸ್ಪ್ರೇ ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ತಂತ್ರವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನ್ಯಾನೊಡಾಟ್ಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿತ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಬಹುದು. ZnS ನ್ಯಾನೊಡಾಟ್ಗಳನ್ನು ಚಾಲ್ಕೊಪೈರೈಟ್ ಆಧಾರಿತ ತೆಳುವಾದ-ಪದರದ ಸೌರ ಕೋಶಗಳಲ್ಲಿ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಪದರಗಳು-ಬಿಂದು ಸಂಪರ್ಕ ಬಫರ್ ಪದರಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಚುಕ್ಕೆಗಳು (ವ್ಯಾಸದಲ್ಲಿ 5-10 nm) ಅಬ್ಸಾರ್ಬರ್-ಬಫರ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನಲ್ಲಿ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಪದರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಕೆಲವು ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ 2 ಪ್ರತಿಶತದಷ್ಟು ಸಂಪೂರ್ಣ ದಕ್ಷತೆಯ ಲಾಭಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಆಲ್2ಒ3 ತಡೆಗೋಡೆ ಪದರಗಳುಃ ಉಕ್ಕಿನ ಫಾಯಿಲ್ನಂತಹ ಲೋಹದ ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲೆ ತೆಳುವಾದ-ಪದರದ ಸೌರ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ಗಳಿಗೆ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನಕ್ಕಾಗಿ ಮತ್ತು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯೊಳಗೆ ಹಾನಿಕಾರಕ ಕಬ್ಬಿಣದ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ತಡೆಯಲು ತಲಾಧಾರ ಮತ್ತು ಎಂಒ ಬ್ಯಾಕ್-ಸಂಪರ್ಕದ ನಡುವೆ ತಡೆಗೋಡೆ ಪದರದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಪ್ರಮಾಣದ ಸೋಡಿಯಂನೊಂದಿಗೆ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದಾರ್ಥವನ್ನು ಉದ್ದೇಶಪೂರ್ವಕವಾಗಿ ಡೋಪ್ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ಗಾಜಿನ ತಲಾಧಾರದಿಂದ ಅನಿಯಂತ್ರಿತ ಸೋಡಿಯಂ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ತಡೆಗೋಡೆಯಿಂದ ನಿಲ್ಲಿಸಬಹುದು. ಸ್ಪ್ರೇ-ಪೈರೋಲಿಸಿಸ್ನಿಂದ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾದ ಆಲ್2ಒ3 ಪದರಗಳು ಝೆಡ್ಎನ್ಒ ವಿಂಡೋ ಪದರಗಳ ಮೇಲೆ ಹೇಳಲಾದ ಪ್ರಕರಣಗಳಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ತಡೆ ಪದರಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತವೆಃ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಐ-ಝೆಡ್ಎನ್ಒ ವಿಂಡೋ ಪದರಗಳನ್ನು ಸ್ಪ್ರೇ ಪೈರೋಲಿಸಿಸ್ನಿಂದ ಬೆಳೆಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಸ್ಪಟರ್ಡ್ ಐ-ಝೆಡ್ಎನ್ಒ ಪದರಗಳ ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಬದಲಿಯನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಚಾಲ್ಕೋಪೈರೈಟ್ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರಗಳುಃ ಸ್ಪ್ರೇ-ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದ ತಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಕ್ಯುಐಎನ್ಎಸ್2 ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಲ್ಕೋಪೈರೈಟ್ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ಶಕ್ತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಸೌರ ಕೋಶಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಪ್ರೇ-ಇಲ್ಗರ್ ಕ್ಯೂಇನ್ಸ್2 ಪದರಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಧನಗಳಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು. ಮೇಲ್ಮೈ ಲೇಪನಃ ವೇಗವರ್ಧಕ ಉದ್ದೇಶಗಳಿಗಾಗಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, ಲೋಹ, ಗಾಜು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು-ವಿರೋಧಿ, ಆಂಟಿಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಅಥವಾ ಯಾಂತ್ರಿಕ ರಕ್ಷಣೆಯು ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ತಂತ್ರವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾಗಿದೆ. ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ನಾನದ ಶೇಖರಣೆಗೆ ಬದಲಿಯಾಗಿ ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ನಾನದ ಶೇಖರಣೆಗೆ (ಸಿಬಿಡಿ) ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ನ ಪ್ರಯೋಜನವೆಂದರೆ, ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಪದರಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಅವುಗಳನ್ನು ಚಾಲ್ಕೊಜೆನೈಡ್ ತೆಳುವಾದ ಪದರಗಳನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವುದಕ್ಕಿಂತ ಚಾಲ್ಕೊಜೆನೈಡ್ ಆಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುವುದು ಸುಲಭ. ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳು ಅಥವಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವ ಮೂಲಕ ಶ್ರೇಣೀಕೃತ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಅಥವಾ ಸಂಯೋಜನೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಸಲು ಸಹ ಸಾಧ್ಯವಿದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಐಎಲ್ಜಿಎಆರ್ ಒಂದು ಇನ್-ಲೈನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ನಾನದ ಶೇಖರಣೆಯು ಆಂತರಿಕವಾಗಿ ಒಂದು ಬ್ಯಾಚ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ. ಉಲ್ಲೇಖಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ ಲೇಪನಗಳು