Inverse lithography
ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ವಿಲೋಮ ಶಿಲಾಮುದ್ರಣ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು (ಐ. ಎಲ್. ಟಿ.) ಫೋಟೊಮಾಸ್ಕ್ ವಿನ್ಯಾಸದ ಒಂದು ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ವಿಲೋಮ ಚಿತ್ರಣದ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಪರಿಹರಿಸುವ ಒಂದು ವಿಧಾನವಾಗಿದೆಃ ಫೋಟೊಮಾಸ್ಕ್ನಲ್ಲಿ ("ಮೂಲ") ತೆರೆಯುವಿಕೆಯ ಆಕಾರಗಳನ್ನು ಲೆಕ್ಕಹಾಕುವುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಹಾದುಹೋಗುವ ಬೆಳಕು ಪ್ರಕಾಶಮಾನವಾದ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲೆ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಮಾದರಿಯ ("ಗುರಿ") ಉತ್ತಮ ಅಂದಾಜು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್. ಅಂತೆಯೇ, ಇದನ್ನು ವಿಶೇಷ ರೀತಿಯ ಗಣಿತದ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಸಮಸ್ಯೆಯೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಪರಿಹಾರವು ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿಲ್ಲ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಾಮೀಪ್ಯ ತಿದ್ದುಪಡಿ (ಒಪಿಸಿ) ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ, ದೃಷ್ಟಾಂತದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ, "ಮೂಲ" ಕ್ಕೆ "ಮ್ಯಾನ್ಹ್ಯಾಟನ್ ಆಕಾರ" ವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಟ್ಯೂನ್ ಮಾಡಲಾದ ಆಯತಗಳೊಂದಿಗೆ "ಗುರಿ" ಆಕಾರವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಐ. ಎಲ್. ಟಿ ವಿಧಾನವು "ಮೂಲ" ಕ್ಕೆ ವಕ್ರರೇಖೆಯ ಆಕಾರಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು "ಗುರಿ" ಗೆ ಉತ್ತಮ ಅಂದಾಜುಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. 1980ರ ದಶಕದಲ್ಲಿ ಐ. ಎಲ್. ಟಿ. ಯನ್ನು ಪ್ರಸ್ತಾಪಿಸಲಾಯಿತು, ಆದರೆ ಆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಇದು ಅಗಾಧವಾದ ಅಗತ್ಯವಾದ ಗಣನೆಯ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಸಂಕೀರ್ಣವಾದ "ಮೂಲ" ಆಕಾರಗಳಿಂದಾಗಿ ಅಪ್ರಾಯೋಗಿಕವಾಗಿತ್ತು, ಇದು ಪರಿಶೀಲನೆ (ವಿನ್ಯಾಸ ನಿಯಮ ಪರಿಶೀಲನೆ) ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ತೊಂದರೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಿತು. ಆದಾಗ್ಯೂ, 2000ದ ದಶಕದ ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಗಣನೆಯ ಶಕ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಹೆಚ್ಚಳದಿಂದಾಗಿ ಅಭಿವರ್ಧಕರು ಐ. ಎಲ್. ಟಿ. ಯನ್ನು ಮರುಪರಿಶೀಲಿಸಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿದರು. ಉಲ್ಲೇಖಗಳು ಶಿಲಾಮುದ್ರಣ (ಮೈಕ್ರೋಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್) ವಿಲೋಮ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು