Microoptoelectromechanical systems
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಎಂದೂ ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಮೈಕ್ರೋಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ (ಎಂಒಇಎಂಎಸ್) ಗಳು ಯಾಂತ್ರಿಕ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಏಕೀಕರಣಗಳಾಗಿವೆ, ಅವು ಬಹಳ ಸಣ್ಣ ಗಾತ್ರದಲ್ಲಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಿಗ್ನಲ್ಗಳನ್ನು ಸಂವೇದನೆ ಅಥವಾ ಕುಶಲತೆಯಿಂದ ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ಎಂಒಇಎಂಎಸ್ ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸ್ವಿಚ್, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕ್ರಾಸ್-ಕನೆಕ್ಟ್, ಟ್ಯೂನ್ ಮಾಡಬಹುದಾದ ವಿಸಿಎಸ್ಇಎಲ್, ಮೈಕ್ರೋಬೋಲೋಮೀಟರ್ಗಳು. ಈ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಲಿಯಂ ಆರ್ಸೆನೈಡ್ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಮೈಕ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಮೈಕ್ರೋ ಮೆಷಿನಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಂ. ಓ. ಇ. ಎಂ. ಎಸ್. ವಿಲೀನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಎಂಬ ಎರಡು ಪ್ರಮುಖ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ. ಈ ಎರಡೂ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳಂತೆಯೇ ಬ್ಯಾಚ್ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೊಸೆನ್ಸರ್ನ ತಯಾರಿಕೆಯಂತೆಯೇ ಮೈಕ್ರೊ ಮೆಷಿನಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ ತೊಡಗಿಕೊಂಡಿವೆ. ಎಮ್. ಎಮ್. ಎಡ್ವರ್ಡ್ ಮೊಟಾಮೆಡಿ, ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಎರಡರಲ್ಲೂ ರಾಕ್ವೆಲ್ ಇಂಟರ್ನ್ಯಾಷನಲ್ನ ಮಾಜಿ ಆವಿಷ್ಕಾರಕ, ಆಂತರಿಕವಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ಗಾಗಿ ಎಂಒಇಎಂಎಸ್ನ ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ರೂಪವನ್ನು ಬಳಸಿದರು. ಇದು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಮತ್ತು ಎಂಒಇಎಂಎಸ್ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಗುರುತಿಸುವುದಾಗಿತ್ತು, ಅಲ್ಲಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಬೃಹತ್ ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರಬಹುದು ಆದರೆ ಎಂಒಇಎಂಎಸ್ ನಿಜವಾಗಿಯೂ ಮೈಕ್ರೊಟೆಕ್ನಾಲಜಿಯನ್ನು ಆಧರಿಸಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಎಂಒಇಎಂಎಸ್ ಸಾಧನಗಳು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳಂತೆಯೇ ಬ್ಯಾಚ್-ಪ್ರೊಸೆಸ್ ಆಗಿರುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ಗೆ ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ ನಿಜವಲ್ಲ. 1993ರಲ್ಲಿ, ಸ್ಯಾನ್ ಡಿಯಾಗೋದಲ್ಲಿ ನಡೆದ ಎಸ್. ಪಿ. ಐ. ಇ. ಕ್ರಿಟಿಕಲ್ ರಿವ್ಯೂಸ್ ಆಫ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸೈನ್ಸ್ ಅಂಡ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಸಮ್ಮೇಳನದಲ್ಲಿ ಆಹ್ವಾನಿತ ಭಾಷಣದಲ್ಲಿ ಡಾ. ಮೊಟಾಮೆಡಿ ಮೊದಲ ಬಾರಿಗೆ ಎಂ. ಓ. ಇ. ಎಂ. ಎಸ್. ಅನ್ನು ಎಂ. ಇ. ಎಂ. ಎಸ್. ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ಗಳ ಪ್ರಬಲ ಸಂಯೋಜನೆಯಾಗಿ ಅಧಿಕೃತವಾಗಿ ಪರಿಚಯಿಸಿದರು. ಈ ಭಾಷಣದಲ್ಲಿ ಡಾ. ಮೋತಮೇದಿ ಎಂ. ಓ. ಇ. ಎಂ. ಎಸ್. ಮೂರು ಪ್ರಮುಖ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಪರಸ್ಪರ ಕ್ರಿಯೆ ಎಂದು ತೋರಿಸಿದ್ದಕ್ಕಾಗಿ ಕೆಳಗಿನ ಅಂಕಿ ಅಂಶವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿದರು; ಅವುಗಳೆಂದರೆ ಮೈಕ್ರೋ-ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್, ಮೈಕ್ರೋ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್. ನ್ಯಾನೊಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ ನ್ಯಾನೊಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ ಮೈಕ್ರೊಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಮೈಕ್ರೊಸ್ಕ್ಯಾನರ್ ರೆಫೆರೆನ್ಸ್ ಗ್ರಂಥಸೂಚಿ ಪಿ. ರಾಯ್-ಚೌಧುರಿ (ಸಂಪಾದಕ), ಎಂಇಎಂಎಸ್ ಮತ್ತು ಎಂಒಇಎಂಎಸ್ ಅನ್ನು ಸಹ ನೋಡಿ. ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಅನ್ವಯಗಳು, ಎಸ್. ಪಿ. ಐ. ಇ. ಪ್ರೆಸ್, ವಾಷಿಂಗ್ಟನ್, 2000. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಎಂಇಎಂಎಸ್ಃ ಮೈಕ್ರೋಮೈರರ್ಸ್ನಿಂದ ಸಂಕೀರ್ಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳವರೆಗೆ, ಐಇಇಇ ಜರ್ನಲ್ ಆಫ್ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೊಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ (2014) ಆಪ್ಟೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್